一种光刻机投影物镜的温度控制装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种光刻机投影物镜的温度控制装置，包括投影物镜本体，所述投影物镜本体的上表面边缘处设置有第一环形夹板，所述第一环形夹板的下表面一侧边缘处安装有第一胶垫，所述第一环形夹板的一侧外壁上安装有第一连接板，所述投影物镜本体的下表面边缘处设置有第二环形夹板，所述第二环形夹板的上表面边缘处设置有第二胶垫，所述第二环形夹板的一侧外壁上设置有第二连接板，所述第一连接板的外壁上设置有第二螺纹孔。本实用新型专利技术有效加强了投影物镜的稳定性，避免投影物镜因为外界因素导致偏移，便于安装拆卸，提高工作人员的便捷性，可以对投影物镜进行均匀的温度调节，保证成像质量。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻机投影物镜的温度控制装置
本技术涉及光刻机投影物镜
，具体为一种光刻机投影物镜的温度控制装置。
技术介绍
光刻机一般根据操作的简便性分为三种，手动、半自动、全自动，手动指的是对准的调节方式，是通过手调旋钮改变它的X轴，Y轴和角度来完成对准，对准精度可想而知不高了，半自动指的是对准可以通过电动轴根据CCD的进行定位调谐，自动指的是从基板的上载下载，曝光时长和循环都是通过程序控制，自动光刻机主要是满足工厂对于处理量的需要，而投影物镜是指将物体进行放大成像并投影在屏上的物镜，所以需要一种光刻机投影物镜的温度控制装置。目前现有的光刻机投影物镜的温度控制装置的缺陷是:1、现有的光刻机投影物镜的温度控制装置无法对投影物镜的稳定性有所保障，投影物镜容易因为外界因素导致晃动会位移，影响光刻质量。2、现有的光刻机投影物镜的温度控制装置的安装较为复杂，费时费力，工作人员安装起来十分缓慢，并且不方便维护。3、现有的光刻机投影物镜的温度控制装置对投影物镜的温度调节时不够均匀，容易导致曝光线条畸变或像散。技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光刻机投影物镜的温度控制装置，包括投影物镜本体(12)，其特征在于：所述投影物镜本体(12)的上表面边缘处设置有第一环形夹板(10)，所述第一环形夹板(10)的下表面一侧边缘处安装有第一胶垫(11)，所述第一环形夹板(10)的一侧外壁上安装有第一连接板(6)，所述投影物镜本体(12)的下表面边缘处设置有第二环形夹板(15)，所述第二环形夹板(15)的上表面边缘处设置有第二胶垫(13)，所述第二环形夹板(15)的一侧外壁上设置有第二连接板(7)，所述第一连接板(6)的外壁上设置有第二螺纹孔(9)，所述第二连接板(7)的外壁上设置有第一螺纹孔(8)，所述第一螺纹孔(8)的内部设置有螺纹杆(...

【技术特征摘要】
1.一种光刻机投影物镜的温度控制装置，包括投影物镜本体(12)，其特征在于：所述投影物镜本体(12)的上表面边缘处设置有第一环形夹板(10)，所述第一环形夹板(10)的下表面一侧边缘处安装有第一胶垫(11)，所述第一环形夹板(10)的一侧外壁上安装有第一连接板(6)，所述投影物镜本体(12)的下表面边缘处设置有第二环形夹板(15)，所述第二环形夹板(15)的上表面边缘处设置有第二胶垫(13)，所述第二环形夹板(15)的一侧外壁上设置有第二连接板(7)，所述第一连接板(6)的外壁上设置有第二螺纹孔(9)，所述第二连接板(7)的外壁上设置有第一螺纹孔(8)，所述第一螺纹孔(8)的内部设置有螺纹杆(5)，所述投影物镜本体(12)的外壁上设置有环形水套(16)。


2.根据权利要求1所述的一种光刻机投影物镜的温度控制装置，其特征在于：所述第一胶垫(11)的另一...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯艳，
申请(专利权)人：冯艳，
类型：新型
国别省市：安徽;34