【技术实现步骤摘要】
光学装置、曝光装置以及物品的制造方法
本专利技术涉及光学装置、曝光装置以及物品的制造方法。
技术介绍
以往，已知在光学装置中，光学元件吸收一部分光而发热，从而光学元件周围的气体的折射率发生温度变化，由此光学性能有可能发生变化。另外，还已知由于收纳有光学元件的镜筒因周围的热而发生变形、或者光学元件伴随着在装置的外部或内部产生的振动而振动，从而光学性能有可能发生变化。日本特开2015-95503号公报公开了如下的曝光装置：向收纳有光学元件的镜筒内供给温度调节气体，并且在镜筒的壁面设置肋构造，从而抑制光学性能的变化，并且提高了镜筒的刚度。如日本特开2015-95503号公报所公开的那样，若为了抑制光学性能的变化并且提高镜筒的刚度而在镜筒中分别设置温度调节气体的流路和肋构造，则会导致装置大型化。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于提供一种抑制光学性能的变化、提高镜筒的刚度、并且紧凑的光学装置。本专利技术的光学装置的特征在于，该光学装置包括：光学元件；以及镜筒，具有外壁、内壁以...
【技术保护点】
1.一种光学装置，具备：/n光学元件；以及/n镜筒，具有外壁、内壁以及肋，该肋设于该外壁与该内壁之间，并且与该外壁和该内壁中的至少一方结合，该镜筒用于收纳该光学元件，/n在所述镜筒内，在所述外壁与所述内壁之间划定有从气体供给部件供给的气体的流路，并且在所述内壁的内侧划定有收纳所述光学元件的光学元件收纳空间，/n所述气体通过所述流路和所述光学元件收纳空间。/n
【技术特征摘要】
20200212 JP 2020-0215371.一种光学装置，具备：
光学元件；以及
镜筒，具有外壁、内壁以及肋，该肋设于该外壁与该内壁之间，并且与该外壁和该内壁中的至少一方结合，该镜筒用于收纳该光学元件，
在所述镜筒内，在所述外壁与所述内壁之间划定有从气体供给部件供给的气体的流路，并且在所述内壁的内侧划定有收纳所述光学元件的光学元件收纳空间，
所述气体通过所述流路和所述光学元件收纳空间。
2.根据权利要求1所述的光学装置，其特征在于，
所述肋形成有供所述气体通过的开口。
3.根据权利要求2所述的光学装置，其特征在于，
在所述流路内配置有所述开口，以使得所述气体蜿蜒流动。
4.根据权利要求2所述的光学装置，其特征在于，
在所述流路设有将所述流路分割为长度互不相同的第1所述流路和第2所述流路的分割构件，
在所述第1流路与所述第2流路的合流地点设有以使所述气体在所述第1流路和所述第2流路中的一条流路行进的方式切换流路的切换部件，
所述光学装置具备用于检测所述镜筒的温度的温度传感器和基于该温度传感器的检测结果控制所述切换部件的控制部。
5.根据权利要求2所述的光学装置，其特征在于，
所述镜筒具有设于所述光学元件收纳空间与排气口之间的热交换用空间，
供给到所述镜筒的气体在依次通过所述流路、所述光学元件收纳空间以及所述热交换用空间之后，从所述排气口排出，
划定有所述流路的所述内壁的一部分划定有所述热交换用空间的一部分，
所述内壁的该一部分具有比所述内壁的其他部分高的传热性能。
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