温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及光学装置、曝光装置以及物品的制造方法。为了提供一种抑制光学性能的变化、提高镜筒的刚度、并且紧凑的光学装置，本发明的光学装置的特征在于，包括：光学元件(104a、104b)；以及镜筒(107)，具有外壁(201)、内壁(204)以及...
该专利属于佳能株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。