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本实用新型公开了一种光刻机投影物镜的温度控制装置，包括投影物镜本体，所述投影物镜本体的上表面边缘处设置有第一环形夹板，所述第一环形夹板的下表面一侧边缘处安装有第一胶垫，所述第一环形夹板的一侧外壁上安装有第一连接板，所述投影物镜本体的下表面边...
该专利属于冯艳所有，仅供学习研究参考，未经过冯艳授权不得商用。

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