一种镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种镀膜设备，包括工艺腔室、前缓冲腔室、后缓冲腔室、位于工艺腔室内的工艺传输机构和旋转靶材，工艺传输机构将载板从工艺腔室的前端输送到工艺腔室的后端，旋转靶材用于对载板上的工件进行镀膜；回传输送机构，包括输送方向与工艺传输机构的输送方向相反的底层传送带、在前缓冲腔室内将底层传送带输出的载板运送至工艺传输机构的前传送带、在后缓冲腔室内将工艺传输机构输出的载板运送至底层传送带上的后传送带。回传输送机构可以将镀膜后输出的载板回传到工艺传输机构的前端，实现载板上工件的多次镀膜，在满足膜层厚度和质量要求的前提下，可降低镀膜时的电源功率和工艺腔室内的环境温度，有利于提高电池的转化效率。

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜设备
本技术涉及太阳能电池生产设备
，具体涉及一种镀膜设备。
技术介绍
太阳能电池硅片的转化效率除了与太阳能光强和电池材料等因素相关，生产电池硅片的工艺起着至关重要的作用。目前，电池硅片一般在PVD设备内进行镀膜；PVD(PhysicalVaporDeposition)即物理气相沉积，是指在真空条件下，采用低电压、大电流的电弧放电技术，利用气体放电使阴极上的靶材以分子、原子或离子的形式脱离阴极而在物体表面沉积的过程。现有PVD设备的工艺腔室示意图如图1所示，工艺腔室100上方是旋转阴极200，工艺腔室100底部是电机400和传送带300，用于制作太阳能电池的基底硅片放置在载板500上，载板500在传送带300的运动下向前运动，旋转阴极200在直流电源的作用下，发生电离并沉积在硅片表面，形成膜层。但是，现有PVD设备生产电池硅片时都是进行单次镀膜，即放置硅片的载板在旋转阴极下方单次匀速通过，为了保证膜层厚度，需使用较高功率轰击旋转阴极。众所周知，电源功率越大，温度越高，而太阳能电池的转化效率随温度升高而降低。因此，需要设计一种可以降低电池硅片镀膜过程工艺温度的镀膜设备。
技术实现思路
因此，本技术要解决的技术问题在于克服现有技术中电池硅片在腔室内镀膜时，电源加载功率大、工艺腔室内温度高、影响电池硅片转化效率的缺陷，从而提供一种镀膜设备。为解决上述技术问题，本技术的技术方案如下：一种镀膜设备，包括工艺腔室以及配置在所述工艺腔室内的工艺传输机构和旋转靶材，所述工艺传输机构用于传输载板，所述旋转靶材用于对所述载板上的工件进行镀膜，其特征在于，还包括：设置于所述工艺腔室前端的前缓冲腔室，以及设置于所述工艺腔室后端的后缓冲腔室，所述工艺传输机构将所述载板从所述工艺腔室的前端输送到所述工艺腔室的后端；回传输送机构，包括配置在所述工艺腔室内且输送方向与所述工艺传输机构的输送方向相反的底层传送带、配置在所述前缓冲腔室内将所述底层传送带输出的所述载板运送至所述工艺传输机构前端的前传送带、以及配置在所述后缓冲腔室内将所述工艺传输机构输出的所述载板运送至所述底层传送带上的后传送带。进一步地，所述工艺传输机构为配置在所述工艺腔室内的顶层传送带，所述底层传送带位于所述顶层传送带的下方。进一步地，还包括后驱动电机和前驱动电机，所述后驱动电机用于驱动所述后传送带升降，所述前驱动电机用于驱动所述前传送带升降；其中，所述后传送带在所述后驱动电机的驱动下具有与所述顶层传送带的输出端对接以便所述载板从所述顶层传送带运送到所述后传送带上的第一位置、以及与所述底层传送带的输入端对接以便所述载板从所述后传送带运送到所述底层传送带的第二位置；所述前传送带在所述前驱动电机的驱动下具有与所述底层传送带的输出端对接以便所述载板从所述底层传送带运送到所述前传送带上的第三位置、以及与所述顶层传送带的输入端对接以便所述载板从所述前传送带运送到所述顶层传送带的第四位置。进一步地，还包括底层传送电机，用于驱动所述底层传送带水平运动；所述底层传送电机、所述后驱动电机和所述前驱动电机均设置于所述工艺腔室的外部，各传动轴通过密封件分别连接至对应的腔室。进一步地，所述顶层传送带和所述底层传送带之间设有遮挡板，所述遮挡板的面积不小于所述旋转靶材在所述工艺腔室的镀膜范围。进一步地，还包括第一位置传感器和第二位置传感器，其中：所述第一位置传感器，设置于所述后缓冲腔室内，用于检测所述顶层传送带上的所述载板的位置，以使得控制单元在其检测到所述载板运动到所述顶层传送带的输出端时向所述后驱动电机发送控制所述后传送带上升到所述第一位置的控制信号；所述第二位置传感器，设置于所述前缓冲腔室内，用于检测所述底层传送带上的所述载板的位置，以使得控制单元在其检测到所述载板运动到所述底层传送带的输出端时向所述前驱动电机发送控制所述前传送带下降到所述第三位置的控制信号。进一步地，所述前缓冲腔室内还设有用于检测所述前传送带上是否放置有所述载板的探测传感器，和/或，所述后缓冲腔室内还设有用于检测所述后传送带上是否放置有所述载板的探测传感器。进一步地，所述顶层传送带和所述底层传送带的传输速度相同。进一步地，所述顶层传送带由多个输送带模组依次拼接而成，和/或，所述底层传送带由多个输送带模组依次拼接而成。进一步地，所述镀膜设备还包括能预先输入镀膜次数的工艺编辑器，所述工艺腔室内设有用于对所述后传送带的升降次数进行计数的计数器，当所述计数器的计数次数达到所述工艺编辑器预先输入的镀膜次数时，所述工艺编辑器控制所述后驱动电机驱动所述后传送带运动到与所述顶层传送带对接的第一位置，所述顶层传送带输出的载板通过所述后传送带向外输出。本技术技术方案，具有如下优点：1.本技术提供的镀膜设备，工艺腔室的上方设有旋转靶材，工艺腔室内设有工艺传输机构，用于制作太阳能电池的工件放置在载板上，载板在工艺传输机构上从工艺腔室的前端运动到后端，旋转靶材在电源的作用下，发生电离并沉积在载板的工件表面完成一次镀膜；然后，工艺传输机构后端输出的载板依次通过回传输送机构的后传送带、底层传送带和前传送带重新返送至工艺传输机构的前端，载板上放置的工件在工艺传输机构上再次进行镀膜，如此往复，可以实现载板上工件多次镀膜的连续进行，工件上多次镀膜形成的膜层的致密性更好，在满足膜层厚度和质量要求的前提下，相对于单次镀膜工艺，可以降低镀膜时的电源功率，进而降低工艺腔室内的环境温度，降低温度对太阳能电池转换效率的影响，有利于提高太阳能电池的转化效率。2.本技术提供的镀膜设备，由底层传送带、后传送带和前传送带组成回传输送机构，可以实现载板上工件回传并进行二次及以上次数镀膜时的全自动传送，自动化程度高，有利于提高镀膜效率。3.本技术提供的镀膜设备，将底层传送带设置顶层传送带下方，这种双层传输结构的设计，可以减少镀膜设备的占地面积。4.本技术提供的镀膜设备，将底层传送带设置在工艺腔室内，将前传送带设置在前缓冲腔室内，将后传送带设置在后缓冲腔室内，使载板的回传过程全部在与工艺腔室内环境相同的环境下进行，载板不需要反复进出工艺腔室，避免了载板上工件因离开工艺腔室而受到普通空气中的各种气体影响而影响镀层性质、进而影响电池效率的问题。5.本技术提供的镀膜设备，顶层传送带和底层传送带之间设有遮挡板，可以为底层传送带的载板增加遮挡，使得载板回传过程和载板镀膜过程互不影响，甚至可以同时进行，有利于提高生产效率。6.本技术提供的镀膜设备，工艺腔室内第一位置传感器、第二位置传感器及探测传感器的设置，可以实现载板回传过程的全自动化，自动化程度更高。7.本技术提供的镀膜设备，由多个输送带模组依次拼接而成的顶层传送带，不仅可以实现长距离输送，而且与单一输送带模组构成的顶层传送相比，可以提高顶层传送带的传送精度；防止传送带因跑偏导致载板偏离输本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种镀膜设备，包括工艺腔室(1)以及配置在所述工艺腔室(1)内的工艺传输机构和旋转靶材(2)，所述工艺传输机构用于传输载板，所述旋转靶材(2)用于对所述载板上的工件进行镀膜，其特征在于，还包括：/n设置于所述工艺腔室(1)前端的前缓冲腔室(10)，以及设置于所述工艺腔室(1)后端的后缓冲腔室(11)，所述工艺传输机构将所述载板从所述工艺腔室(1)的前端输送到所述工艺腔室(1)的后端；/n回传输送机构，包括配置在所述工艺腔室(1)内且输送方向与所述工艺传输机构的输送方向相反的底层传送带(4)、配置在所述前缓冲腔室(10)内将所述底层传送带(4)输出的所述载板运送至所述工艺传输机构前端的前传送带(7)、以及配置在所述后缓冲腔室(11)内将所述工艺传输机构输出的所述载板运送至所述底层传送带(4)上的后传送带(5)。/n

【技术特征摘要】
1.一种镀膜设备，包括工艺腔室(1)以及配置在所述工艺腔室(1)内的工艺传输机构和旋转靶材(2)，所述工艺传输机构用于传输载板，所述旋转靶材(2)用于对所述载板上的工件进行镀膜，其特征在于，还包括：
设置于所述工艺腔室(1)前端的前缓冲腔室(10)，以及设置于所述工艺腔室(1)后端的后缓冲腔室(11)，所述工艺传输机构将所述载板从所述工艺腔室(1)的前端输送到所述工艺腔室(1)的后端；
回传输送机构，包括配置在所述工艺腔室(1)内且输送方向与所述工艺传输机构的输送方向相反的底层传送带(4)、配置在所述前缓冲腔室(10)内将所述底层传送带(4)输出的所述载板运送至所述工艺传输机构前端的前传送带(7)、以及配置在所述后缓冲腔室(11)内将所述工艺传输机构输出的所述载板运送至所述底层传送带(4)上的后传送带(5)。


2.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述工艺传输机构为配置在所述工艺腔室(1)内的顶层传送带(3)，所述底层传送带(4)位于所述顶层传送带(3)的下方。


3.根据权利要求2所述的镀膜设备，其特征在于，还包括后驱动电机(6)和前驱动电机(8)，所述后驱动电机(6)用于驱动所述后传送带(5)升降，所述前驱动电机(8)用于驱动所述前传送带(7)升降；其中，
所述后传送带(5)在所述后驱动电机(6)的驱动下具有与所述顶层传送带(3)的输出端对接以便所述载板从所述顶层传送带(3)运送到所述后传送带(5)上的第一位置、以及与所述底层传送带(4)的输入端对接以便所述载板从所述后传送带(5)运送到所述底层传送带(4)的第二位置；
所述前传送带(7)在所述前驱动电机(8)的驱动下具有与所述底层传送带(4)的输出端对接以便所述载板从所述底层传送带(4)运送到所述前传送带(7)上的第三位置、以及与所述顶层传送带(3)的输入端对接以便所述载板从所述前传送带(7)运送到所述顶层传送带(3)的第四位置。


4.根据权利要求3所述的镀膜设备，其特征在于，还包括底层传送电机(15)，用于驱动所述底层传送带水平运动；
所述底层传送电机(15)、所述后驱动电机(6)和所述前驱动电机(8)均设置于所述工艺腔室(1)的外部，...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业有限合伙，
类型：新型
国别省市：安徽;34