一种坩埚夹持工装及搬运设备制造技术

本实用新型专利技术公开一种坩埚夹持工装及搬运设备，涉及石英坩埚加工技术领域，以适用搬运尺寸不同的石英坩埚，并提高搬运过程的稳定性。该坩埚夹持工装包括：用于可绕悬臂偏转的安装架以及用于夹持石英坩埚的两个夹持机构。安装架设在悬臂上，两个夹持机构可移动的设在安装架上。每个夹持机构包括可翻转夹爪以及设在可翻转夹爪上的两个滚动件。可翻转夹爪位于两个滚动件之间的区域至少用于与石英坩埚配合。当安装架处于偏转状态时，在每个滚动件的配合下，石英坩埚的中心线与两个可翻转夹爪所形成的的中心对正。本实用新型专利技术还提供一种具有上述坩埚夹持工装的搬运设备。

【技术实现步骤摘要】
一种坩埚夹持工装及搬运设备
本技术涉及石英坩埚加工
，尤其涉及一种坩埚夹持工装及搬运设备。
技术介绍
拉制单晶硅的过程中，石英坩埚是一种消耗性器皿，每生产一炉单晶硅就需要用掉一只石英坩埚。石英坩埚在生产过程中，需要借助专门的工具对生产好的石英坩埚进行搬运、翻转。由于毛坯的石英坩埚的边角不规则，重量分布不均匀，导致石英坩埚无法直立摆放在平台上。现有的坩埚夹持工装在夹持毛坯的石英坩埚的过程中，由于坩埚夹持工装所具有的夹爪的中心与石英坩埚的中心线不一致，增加了石英坩埚由坩埚夹持工装上摔落的风险。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种坩埚夹持工装及搬运设备，以适用搬运尺寸不同的石英坩埚，并提高搬运过程的稳定性。第一方面，本技术提供一种坩埚夹持工装，应用于具有传送装置的搬运设备。传送装置具有用于与坩埚夹持工装配合的悬臂。该坩埚夹持工装包括：用于可绕悬臂偏转的安装架以及用于夹持石英坩埚的两个夹持机构。安装架设在悬臂上。两个夹持机构可移动的设在安装架上。每个夹持机构包括设在安装架上的夹持臂、可翻转夹爪以及设在可翻转夹爪上的两个滚动件。每个可翻转夹爪可活动的设在相应夹持臂的端部。该可翻转夹爪位于两个滚动件之间的区域至少用于与石英坩埚配合。当安装架处于偏转状态时，石英坩埚的中心线与两个可翻转夹爪所形成的中心对正。采用上述技术方案的情况下，在夹持石英坩埚的过程中，当两个夹持机构之间的距离较小时，两个夹持机构相互远离。当两个夹持机构之间的距离较大时，两个夹持机构相互靠近。当两个夹持机构之间的距离与石英坩埚的尺寸相匹配后，两个夹持机构可以相互配合用于夹持石英坩埚。此时，为了使两个夹持机构能够安装架可以围绕悬臂进行一定角度的偏转，以便使两个可翻转夹爪位于两个滚动件之间的区域与石英坩埚配合，能够有效的补偿石英坩埚与两个可翻转夹爪之间的中心误差。同时，设置在每个可翻转夹爪上的滚动件与石英坩埚之间产生相对位移，使石英坩埚的中心线与两个可翻转夹爪形成的中心趋于统一。由此可见，在可偏转的安装架及各个滚动件的配合下，可以使石英坩埚的中心线与两个可翻转夹爪之间形成的中心对正，可以避免在夹持过程中由于石英坩埚歪斜而导致石英坩埚由坩埚夹持工装上摔落的情况。由此可见，与现有技术相比，本技术提供的坩埚夹持工装可以适用搬运尺寸不同的石英坩埚，并提高搬运过程的稳定性。在一种可能实现的方式中，坩埚夹持工装还包括设在安装架上的至少一个连接件。安装架通过至少一个连接件连接在悬臂上。每个连接件用于向安装架提供偏转中心。在一种可能实现的方式中，至少一个连接件为活动连接件。活动连接件为铰接件或与悬臂活动连接的螺栓。在一种可能的实现方式中，至少一个连接件为柔性连接件。柔性连接件包括柔性钢绳或柔性吊带。在一种可能的实现方式中，为了提高在夹持石英坩埚的过程中的稳定性，防止石英坩埚由坩埚夹持工装上摔落，至少一个连接件设在安装架的中部。在一种可能的实现方式中，同一可翻转夹爪所设置的两个滚动件的中心轴平行。基于此，可以提高石英坩埚的中心线与两个可翻转夹爪之间所形成的中心趋于统一的过程的稳定性。在一种可能的实现方式中，每个可移动的夹持机构还包括直线驱动机构。直线驱动机构用于驱动夹持臂沿安装架运动，以调整两个可移动的夹持机构所包括的夹持臂之间的距离。在一种可能的实现方式中，可翻转夹爪包括夹爪本体及用于驱动夹爪本体翻转的旋转电机。夹爪本体设在夹持臂上。在一种可能的实现方式中，坩埚夹持工装还包括导轨。导轨设在安装架上，相应夹持臂与导轨滑动连接。在一种可能的实现方式中，坩埚夹持工装还包括传感器以及与传感器电连接的控制器，传感器设在安装架上。传感器用于检测两个夹持机构的夹持面之间的距离。控制器用于在两个夹持机构的夹持面之间的距离与石英坩埚匹配的情况下，控制两个夹持机构处在相对静止状态。在两个夹持机构的夹持面之间的距离与石英坩埚不匹配的情况下，控制两个夹持机构处在相对运动状态。第二方面，本技术提供一种搬运设备，包括第一方面或第一方面任一可能的实现方式所描述的坩埚夹持工装。本技术第二方面提供的搬运设备的有益效果与第一方面或第一方面任一可能的实现方式所描述的坩埚夹持工装的有益效果相同，此处不做赘述。附图说明此处所说明的附图用来提供对本技术的进一步理解，构成本技术的一部分，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：图1为处于歪斜状态的石英坩埚的摆放示意图；图2为处于理想状态的石英坩埚的摆放示意图；图3为现有技术中的坩埚夹持工装的结构示意图；图4为本技术实施例提供的坩埚夹持工装的结构示意图；图5为本技术实施例提供的可翻转夹爪的结构示意图；图6为本技术实施例中可翻转夹爪夹持石英坩埚时的受力示意图；图7为本技术实施例中石英坩埚的中心线与两个可翻转夹爪形成的中心对正的结构示意图。具体实施方式为了使本技术所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。“若干”的含义是一个或一个以上，除非另有明确具体的限定。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。图1示例出现有的毛坯的石英坩埚1的自然放置状态示意图。图2示例出处于理想状态的石英坩埚1的自然放置状态示意图。如图1所示，现有技术中，毛坯的石英坩埚1的边角不规则，重量分布不均匀，导致石英坩埚1的重心与石英坩埚1的中心不一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种坩埚夹持工装，其特征在于，应用于具有传送装置的搬运设备；所述传送装置具有用于与所述坩埚夹持工装配合的悬臂，所述坩埚夹持工装包括：/n用于可绕所述悬臂偏转的安装架，所述安装架设在所述悬臂上；/n以及用于夹持石英坩埚的两个夹持机构，两个所述夹持机构可移动的设在所述安装架上；每个所述夹持机构包括设在所述安装架上的夹持臂、可翻转夹爪以及设在所述可翻转夹爪上的两个滚动件；每个所述可翻转夹爪可活动的设在相应所述夹持臂的端部，所述可翻转夹爪位于两个所述滚动件之间的区域至少用于与所述石英坩埚配合；当所述安装架处于偏转状态时，在每个所述夹持机构所包括的两个滚动件的配合下，所述石英坩埚的中心线与所述两个可翻转夹爪所形成的中心对正。/n

【技术特征摘要】
1.一种坩埚夹持工装，其特征在于，应用于具有传送装置的搬运设备；所述传送装置具有用于与所述坩埚夹持工装配合的悬臂，所述坩埚夹持工装包括：
用于可绕所述悬臂偏转的安装架，所述安装架设在所述悬臂上；
以及用于夹持石英坩埚的两个夹持机构，两个所述夹持机构可移动的设在所述安装架上；每个所述夹持机构包括设在所述安装架上的夹持臂、可翻转夹爪以及设在所述可翻转夹爪上的两个滚动件；每个所述可翻转夹爪可活动的设在相应所述夹持臂的端部，所述可翻转夹爪位于两个所述滚动件之间的区域至少用于与所述石英坩埚配合；当所述安装架处于偏转状态时，在每个所述夹持机构所包括的两个滚动件的配合下，所述石英坩埚的中心线与所述两个可翻转夹爪所形成的中心对正。


2.根据权利要求1所述的坩埚夹持工装，其特征在于，所述坩埚夹持工装还包括设在所述安装架上的至少一个连接件，所述安装架通过所述至少一个连接件连接在所述悬臂上；每个所述连接件用于向所述安装架提供偏转中心。


3.根据权利要求2所述的坩埚夹持工装，其特征在于，至少一个所述连接件为活动连接件，所述活动连接件为铰接件或与所述悬臂活动连接的螺栓；或，
至少一个所述连接件为柔性连接件，所述柔性连接件包括柔性钢绳或柔性吊带。


4.根据权利要求2所述的坩埚夹持工装，其特征在于，所述至少一个连接件设在所述安装架的中部。


5.根据权利要求1-4任一项所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨林魁，邓书珍，李国满，陈新军，刘爱军，杨德华，胡新林，王国良，
申请(专利权)人：保山隆基硅材料有限公司，
类型：新型
国别省市：云南;53