【技术实现步骤摘要】
一种用于金属电极上多层绝缘膜定位贴合的工装夹具
本技术涉及半导体
，具体为一种用于金属电极上多层绝缘膜定位贴合的工装夹具。
技术介绍
夹具是指机械制造过程中用来固定加工对象，使之占有正确的位置，以接受施工或检测的装置，又称卡具。从广义上说，在工艺过程中的任何工序，用来迅速、方便、安全地安装工件的装置，都可称为夹具。夹具通常由定位元件、夹紧装置、连接元件以及夹具底座等组成。在半导体封装工艺过程中，金属电极上绝缘膜的粘贴，尤其是多层绝缘膜的粘贴，一直采用的都是人工手动粘贴的方式，粘贴精度比较差，导致产品不合格率高，浪费了材料，增加了成本的投入。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是针对以上不足，提供一种用于金属电极上多层绝缘膜定位贴合的工装夹具，能够对多层绝缘膜的粘贴位置进行精准定位，使多层绝缘膜的粘贴位置更加准确，以解决现有技术中粘贴精度比较差、产品不合格率高、生产成本高等问题。为解决以上技术问题，本技术采用以下技术方案：一种用于金属电极上多层绝缘膜定位贴合的工装夹具，包括金属电极固定卡...
【技术保护点】
1.一种用于金属电极上多层绝缘膜定位贴合的工装夹具，其特征在于：包括金属电极固定卡座（1）、矫正柱（2）和配重块（3），金属电极固定卡座（1）固定有金属电极（4），矫正柱（2）连接金属电极固定卡座（1）和金属电极（4），配重块（3）设置在金属电极固定卡座（1）的上方，金属电极（4）位于金属电极固定卡座（1）和配重块（3）之间。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于金属电极上多层绝缘膜定位贴合的工装夹具，其特征在于：包括金属电极固定卡座（1）、矫正柱（2）和配重块（3），金属电极固定卡座（1）固定有金属电极（4），矫正柱（2）连接金属电极固定卡座（1）和金属电极（4），配重块（3）设置在金属电极固定卡座（1）的上方，金属电极（4）位于金属电极固定卡座（1）和配重块（3）之间。
2.如权利要求1所述的一种用于金属电极上多层绝缘膜定位贴合的工装夹具，其特征在于：所述金属电极固定卡座（1）上开设有金属电极固定卡槽（101），金属电极（4）放置在金属电极固定卡槽（101）内。
3.如权利要求2所述的一种用于金属电极上多层绝缘膜定位贴合的工装夹具，其特征在于：所述金属电极（4）的下表面与金属电极固定卡槽（101）水平贴合，金属电极（4）上表面与配重块（3）下表面水平贴合。
4.如权利要求2所述的一种用于金属电极上多层绝缘膜定位贴合的工装夹具，其特征在于：所述金属电极固定卡槽（101）上设有卡座固定孔（102），金属电极（4）上设有电极固定孔（401），卡座固定孔（102）位置与电极固定孔（401）相适应，矫正柱（2）穿过电极固定孔（401）和卡座固定孔（102）对金属电极（4）进行固定。
5.如权利要求2所述的一种用于金属电极上多层绝缘膜定位贴合的工装夹具，其特征在于：所述金属电极固定卡槽（101）的槽宽与槽深与金属电极（4）...
【专利技术属性】
技术研发人员：周旭彦，单君柱，程仕聪，
申请(专利权)人：潍坊先进光电芯片研究院，中国科学院半导体研究所，
类型：新型
国别省市：山东;37
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