本发明专利技术涉及硅片技术领域，尤其是一种多功能硅片烘烤用储存装置，包括底板、若干硅片，底板一侧固定设有A隔热箱，A隔热箱一侧可滑动连接设有L型滑动架，L型滑动架与A隔热箱之间设有自动往返运动装置，L型滑动架一侧固定设有B隔热箱，B隔热箱一侧固定设有隔热盖板，B隔热箱一侧设有若干轴孔，轴孔内侧均可转动连接设有转动轴，L型滑动架一侧设有若干连接孔，转动轴均可转动连接在连接孔内侧。本发明专利技术，通过设置A隔热箱、L型滑动架、电动推杆、B隔热箱、转动轴、滑动杆、齿条、扇形齿轮、电动机、连杆、载物板、U型挡架、C型挡架，使其具有均匀烘烤、自动摇晃、快速安装、快速拆卸等功能。
【技术实现步骤摘要】
一种多功能硅片烘烤用储存装置
本专利技术涉及硅片
，尤其涉及一种多功能硅片烘烤用储存装置。
技术介绍
硅片，是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件，用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力，科学技术的发展不断推动着半导体的发展，自动化和计算机等技术发展，使硅片(集成电路)这种高技术产品的造价已降到十分低廉的程度，这使得硅片已广泛应用于航空航天、工业、农业和国防，甚至悄悄进入每一个家庭，硅片在生产过程中，需要使用烘烤设备对其进行烘烤处理。现有技术中硅片在进行烘烤处理时，需要将硅片储存固定在烘烤架上，而目前的烘烤架在安装和拆卸硅片时，往往需要操作众多繁琐的步骤，造成不易安装和拆卸，且烘烤架无自动摇晃功能，只能使硅片在烘烤过程中保持固定位置，从而容易造成硅片烘烤不均匀，造成烘烤效果不佳，为此，我们提出了一种多功能硅片烘烤用储存装置，用于解决上述问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在现有技术中硅片在进行烘烤处理时，需要将硅片储存固定在烘烤架上，而目前的烘烤架在安装和拆卸硅片时，往往需要操作众多繁琐的步骤，造成不易安装和拆卸，且烘烤架无自动摇晃功能，只能使硅片在烘烤过程中保持固定位置，从而容易造成硅片烘烤不均匀，造成烘烤效果不佳的缺点，而提出的一种多功能硅片烘烤用储存装置。为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：设计一种多功能硅片烘烤用储存装置，包括底板、若干硅片，所述底板一侧固定设有A隔热箱，所述A隔热箱一侧可滑动连接设有L型滑动架，所述L型滑动架与A隔热箱之间设有自动往返运动装置，所述L型滑动架一侧固定设有B隔热箱，所述B隔热箱一侧固定设有隔热盖板，所述B隔热箱一侧设有若干轴孔，所述轴孔内侧均可转动连接设有转动轴，所述L型滑动架一侧设有若干连接孔，所述转动轴均可转动连接在连接孔内侧，所述B隔热箱内一侧可滑动式连接设有滑动杆，所述滑动杆一侧固定设有齿条，所述转动轴外侧均固定设有扇形齿轮，所述扇形齿轮均通过啮合与齿条传动连接，所述B隔热箱内一侧固定设有安装架，所述安装架一侧固定设有电动机，所述电动机需通过导线外接电源和开关，所述电动机与滑动杆之间设有运动转换装置，所述转动轴一侧均设有若干载物板，所述硅片均设在载物板一侧，所述载物板一侧均固定设有连接座，所述连接座一侧均设有贯穿孔，所述转动轴均固定连接在贯穿孔内侧，所述载物板一侧均固定设有U型挡架，所述U型挡架一侧均设有C型挡架，所述载物板均可滑动连接在C型挡架内侧，所述C型挡架与载物板之间均设有快速调节装置，所述硅片均设在C型挡架与U型挡架之间。优选的，所述自动往返运动装置包括T型滑动块，所述A隔热箱一侧设有长导向孔，所述T型滑动块可滑动连接在长导向孔内侧，所述T型滑动块一侧固定连接在L型滑动架一侧上，所述底板一侧固定设有固定座，所述固定座一侧固定设有电动推杆，所述电动推杆需通过导线外接电源和开关，所述电动推杆的轴端固定连接在T型滑动块一侧上。优选的，所述滑动杆一侧设有T型槽，所述T型槽内侧滑动连接设有T型导向条，所述T型导向条一侧固定连接在B隔热箱内一侧上。优选的，所述运动转换装置包括连杆，所述电动机的轴端固定设有转动盘，所述转动盘一侧、滑动杆一侧均固定设有连接轴，所述连杆一侧设有两个通孔，所述连接轴均可转动连接在通孔内侧。优选的，所述载物板一侧均固定设有两个U型限位架，所述C型挡架均可滑动连接在U型限位架内侧。优选的，所述快速调节装置包括L型把手，所述L型把手一侧固定设有两个连接杆，所述C型挡架一侧设有两个安装孔，所述连接杆均可滑动连接在安装孔内侧，所述连接杆一端均固定连接设有锁紧片，所述锁紧片一侧与C型挡架一侧之间均固定设有弹簧，所述锁紧片一侧与载物板一侧均通过接触式可拆卸连接。优选的，所述载物板靠近U型挡架的一侧均固定设有若干均匀分布的撑起柱。优选的，所述A隔热箱一侧固定设有若干燕尾导向条，所述L型滑动架一侧设有若干燕尾槽，所述燕尾导向条均可滑动连接在燕尾槽内侧。本专利技术提出的一种多功能硅片烘烤用储存装置，有益效果在于：通过设置底板、A隔热箱、L型滑动架、T型滑动块、长导向孔、固定座、电动推杆，当电动推杆伸出或缩回时，即可使L型滑动架自动发生移动，从而可带动硅片一同移动，可使硅片在烘烤过程中自动改变所处位置，进而可防止烘烤不均匀，使其具有均匀烘烤功能，通过设置B隔热箱、隔热盖板、转动轴、滑动杆、齿条、扇形齿轮、安装架、电动机、载物板、连接座、连杆、转动盘、连接轴，当电动机转动时，可使滑动杆自动做直线往返运动，从而可带动齿条一同运动，齿条在运动过程中可使转动轴自动做往复旋转运动，从而可使载物板自动发生摇晃，从而可带动硅片一同摇晃，具有自动摇晃功能，可进一步确保硅片能够均匀烘烤，通过设置U型挡架、C型挡架、L型把手、连接杆、锁紧片、弹簧，当需要对硅片进行安装或拆卸时，只需提起L型把手，即可调节C型挡架的位置，从而可对硅片进行快速安装和拆卸，具有快速安装、快速拆卸功能，便于更换硅片，可节省时间，提高效率，通过设置撑起柱，可架空硅片，使热量能够到达硅片底部，可使硅片被均匀烘烤，具有均匀烘烤、自动摇晃、快速安装、快速拆卸等功能。附图说明图1为本专利技术提出的一种多功能硅片烘烤用储存装置的正面立体结构示意图；图2为本专利技术提出的一种多功能硅片烘烤用储存装置的背面剖切立体结构示意图；图3为本专利技术提出的一种多功能硅片烘烤用储存装置的侧面剖切立体结构示意图；图4为本专利技术提出的一种多功能硅片烘烤用储存装置的背面局部立体结构示意图；图5为本专利技术提出的一种多功能硅片烘烤用储存装置的侧面剖切立体结构示意图；图6为本专利技术提出的一种多功能硅片烘烤用储存装置的局部立体结构示意图；图7为本专利技术提出的一种多功能硅片烘烤用储存装置的局部剖切立体结构示意图。图中：1底板、2硅片、3A隔热箱、4L型滑动架、5B隔热箱、6隔热盖板、7转动轴、8滑动杆、9齿条、10扇形齿轮、11安装架、12电动机、13载物板、14连接座、15U型挡架、16C型挡架、17T型滑动块、18长导向孔、19固定座、20电动推杆、21T型导向条、22连杆、23转动盘、24连接轴、25U型限位架、26L型把手、27连接杆、28锁紧片、29弹簧、30撑起柱、31燕尾导向条。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。参照图1-7，一种多功能硅片烘烤用储存装置，包括底板1、若干硅片2，底板1一侧固定设有A隔热箱3，A隔热箱3一侧可滑动连接设有L型滑动架4，L型滑动架4与A隔热箱3之间设有自动往返运动装置，L型滑动架4一侧固定设有B隔热箱5，B隔热箱5一侧固定设有隔热盖板6，B隔热箱5一侧设有若干轴孔，轴孔内侧均可转动连接设有转动轴7，L型滑动架4一侧设有若干连接孔，转动轴7均可转动连接在连接孔本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种多功能硅片烘烤用储存装置，包括底板(1)、若干硅片(2)，其特征在于，所述底板(1)一侧固定设有A隔热箱(3)，所述A隔热箱(3)一侧可滑动连接设有L型滑动架(4)，所述L型滑动架(4)与A隔热箱(3)之间设有自动往返运动装置，所述L型滑动架(4)一侧固定设有B隔热箱(5)，所述B隔热箱(5)一侧固定设有隔热盖板(6)，所述B隔热箱(5)一侧设有若干轴孔，所述轴孔内侧均可转动连接设有转动轴(7)，所述L型滑动架(4)一侧设有若干连接孔，所述转动轴(7)均可转动连接在连接孔内侧，所述B隔热箱(5)内一侧可滑动式连接设有滑动杆(8)，所述滑动杆(8)一侧固定设有齿条(9)，所述转动轴(7)外侧均固定设有扇形齿轮(10)，所述扇形齿轮(10)均通过啮合与齿条(9)传动连接，所述B隔热箱(5)内一侧固定设有安装架(11)，所述安装架(11)一侧固定设有电动机(12)，所述电动机(12)需通过导线外接电源和开关，所述电动机(12)与滑动杆(8)之间设有运动转换装置，所述转动轴(7)一侧均设有若干载物板(13)，所述硅片(2)均设在载物板(13)一侧，所述载物板(13)一侧均固定设有连接座(14)，所述连接座(14)一侧均设有贯穿孔，所述转动轴(7)均固定连接在贯穿孔内侧，所述载物板(13)一侧均固定设有U型挡架(15)，所述U型挡架(15)一侧均设有C型挡架(16)，所述载物板(13)均可滑动连接在C型挡架(16)内侧，所述C型挡架(16)与载物板(13)之间均设有快速调节装置，所述硅片(2)均设在C型挡架(16)与U型挡架(15)之间。/n...
【技术特征摘要】
1.一种多功能硅片烘烤用储存装置，包括底板(1)、若干硅片(2)，其特征在于，所述底板(1)一侧固定设有A隔热箱(3)，所述A隔热箱(3)一侧可滑动连接设有L型滑动架(4)，所述L型滑动架(4)与A隔热箱(3)之间设有自动往返运动装置，所述L型滑动架(4)一侧固定设有B隔热箱(5)，所述B隔热箱(5)一侧固定设有隔热盖板(6)，所述B隔热箱(5)一侧设有若干轴孔，所述轴孔内侧均可转动连接设有转动轴(7)，所述L型滑动架(4)一侧设有若干连接孔，所述转动轴(7)均可转动连接在连接孔内侧，所述B隔热箱(5)内一侧可滑动式连接设有滑动杆(8)，所述滑动杆(8)一侧固定设有齿条(9)，所述转动轴(7)外侧均固定设有扇形齿轮(10)，所述扇形齿轮(10)均通过啮合与齿条(9)传动连接，所述B隔热箱(5)内一侧固定设有安装架(11)，所述安装架(11)一侧固定设有电动机(12)，所述电动机(12)需通过导线外接电源和开关，所述电动机(12)与滑动杆(8)之间设有运动转换装置，所述转动轴(7)一侧均设有若干载物板(13)，所述硅片(2)均设在载物板(13)一侧，所述载物板(13)一侧均固定设有连接座(14)，所述连接座(14)一侧均设有贯穿孔，所述转动轴(7)均固定连接在贯穿孔内侧，所述载物板(13)一侧均固定设有U型挡架(15)，所述U型挡架(15)一侧均设有C型挡架(16)，所述载物板(13)均可滑动连接在C型挡架(16)内侧，所述C型挡架(16)与载物板(13)之间均设有快速调节装置，所述硅片(2)均设在C型挡架(16)与U型挡架(15)之间。
2.根据权利要求1所述的一种多功能硅片烘烤用储存装置，其特征在于，所述自动往返运动装置包括T型滑动块(17)，所述A隔热箱(3)一侧设有长导向孔(18)，所述T型滑动块(17)可滑动连接在长导向孔(18)内侧，所述T型滑动块(17)一侧固定连接在L型滑动架(4)一侧上，所述底板(1)一侧固定设有固定座(19)，所述固定座(19)一侧固定设有电动...
【专利技术属性】
技术研发人员：李双玉，
申请(专利权)人：涌明科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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