一种除去液氨中杂质离子的方法技术

本发明专利技术涉及化工领域，本发明专利技术公开了一种除去液氨中杂质离子的方法，包括吸附络合和精馏除杂两个步骤；使用了两种不同的络合剂，除杂效果更佳；本方法首先将一种改性MCM‑41分子筛加入到了液氨中，利用改性MCM‑41分子筛上的有机含N基团与的杂元素钙或硼形成配位有机化合物，进一步的硼元素可以和多羟基化合物络合，形成硼合多羟基配合物，使杂元素的沸点增加，最后使用精馏的方式将其与氨气有效分离，获得超纯氨水。本发明专利技术的改性MCM‑41分子筛具有比表面积大，含N基团多的特点，用于液氨杂元素的络合具有较高的络合效率，而且固载的含N基团没有挥发的隐患，不会影响超纯氨水的质量。

【技术实现步骤摘要】
一种除去液氨中杂质离子的方法
本专利技术涉及化工领域，尤其是一种除去液氨中杂质离子的方法。
技术介绍
超纯氨水是一种重要的电子化工材料，消耗量位居IC行业第三，主要用于晶圆的清洗与蚀刻。CN101143728A涉及明一种超高纯氨水的生产工艺，包括以下工艺步骤：将液氨罐内的液氨输入缓冲罐；缓冲罐的氨气通入第一个清洗塔中；第一个清洗塔内的氨气进入第二个清洗塔内被去离子水吸收成氨水，并释放出比较纯的氨气；第二个清洗塔内的氨气进入第三个清洗塔内被去离子水吸收成氨水，并释放出纯度极高的氨气；第三个清洗塔纯度极高的氨气输入吸收塔后氨气被吸收塔内的去离子水大量的吸收；在超净环境内，用过滤器对出吸收塔的氨水进行过滤分装得到超高纯的氨水成品。该专利技术生产工艺简单、生产安全性好、产品纯度高、转换率高、生产成本低。CN106315618B涉及种超净高纯氨水连续生产系统,包括顺次布置的液氨原料储罐、预洗塔、两级洗涤塔、两级吸收塔、换热器和尾气吸收塔及冷水机;两级吸收塔下方配置有两台吸收槽,分别与两级吸收塔通过带阀门的管路连接,第吸收槽和第二吸收槽通过本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种除去液氨中杂质离子的方法，其方案为：/n步骤一、吸附络合，将50-80份的液氨中加入0.5-5份的改性MCM-41分子筛，搅拌混合均匀，混匀吸附2-5h，/n步骤二、精馏除杂，将吸附好的液氨导入到精馏塔中，精馏塔中的气化温度为23-26℃，压力为0.8-2MPa，精馏出的纯净氨气经由超纯水吸收后即可得到超纯氨水。/n

【技术特征摘要】
1.一种除去液氨中杂质离子的方法，其方案为：
步骤一、吸附络合，将50-80份的液氨中加入0.5-5份的改性MCM-41分子筛，搅拌混合均匀，混匀吸附2-5h，
步骤二、精馏除杂，将吸附好的液氨导入到精馏塔中，精馏塔中的气化温度为23-26℃，压力为0.8-2MPa，精馏出的纯净氨气经由超纯水吸收后即可得到超纯氨水。


2.根据权利要求1所述的一种除去液氨中杂质离子的方法，其特征在于：所述的改性MCM-41分子筛其制备方法为：
取100-120份MCM-41分子筛经300-400份硝酸在80-90℃条件下回流处理4-6h后，过滤，洗涤，干燥，得活性处理后的MCM-41分子筛；
将100-120份活性处理后的MCM-41分子筛置于500-1000份乙醇水溶液中，加入2-5份γ-巯丙基三甲氧基硅烷(KH590)，常温机械搅拌2-4h后，过滤，洗涤，干燥，得巯基化学修饰的MCM-41分子筛；
将100-12...

【专利技术属性】
技术研发人员：王海，周黎旸，童继红，陈刚，贺辉龙，张学良，程文海，周涛涛，卢振成，蒋梁疏，赵晓亚，
申请(专利权)人：浙江凯圣氟化学有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33