一种新型氨气纯化装置制造方法及图纸

一种新型氨气纯化装置，包括尘埃过滤器、活性炭过滤器、液氨汽化器、除氧器、冷却器以及干燥器，尘埃过滤器与活性炭过滤器相连通，活性炭过滤器与液氨汽化器连通，液氨汽化器通过管道与除氧器相连通，除氧器与冷却器相连通，冷却器与干燥器相连通，进氨输送管道以及再生输出管道上均设有两除氧控制阀，液氨汽化器与进氨输送管道之间连通的管道位于两除氧控制阀之间，再生输出管道上的两除氧控制阀之间连通有再生出口管道，纯氨输送管道以及再生输入管道上均设有两干燥控制阀，纯氨出口管道位于纯氨输送管道的两干燥控制阀之间，再生进口管道位于再生输入管道的两干燥控制阀之间。本实用新型专利技术纯化后的氨气纯度更高，能够得到更为广泛的应用。

【技术实现步骤摘要】
一种新型氨气纯化装置
本技术涉及氨气纯化
，具体涉及一种新型氨气纯化装置。
技术介绍
高纯氨(99.999％)是半导体技术发展引发的必然需求产品。应用领域包括半导体照明、液晶显示、太阳能电池以及大规模集成电路制造。生产高纯氨的基本原理是是以工业一等品液氨为原料，利用各种纯化净化手段生产高纯氨。采用的纯化方法视工业氨中所含杂质的种类、数量、性质和其最终所要达到的纯度而定。一般氨中杂质的种类和数量主要有：油份、烃类、H20、02、Ar、N2、H2、CO和CO2等。传统氨气纯化装置主要是对原料液氨进行汽化然后经过干燥装置进行干燥达到纯化氨气的目的，然而，通过上述工艺纯化后的氨气只有水含量合格，氨气中的其它杂质并没有脱除，达不到真正纯化氨气的目的，在某些特殊要求的情况下需要使用不同纯度的氨水达到所使用的效果，若是氨水中含有微量的金属与非金属杂质，会对氨水本身的质量产生影响，进一步的，对使用氨水所达到的效果也产生影响。因此，如何解决上述现有技术存在的不足，便成为本技术所要研究解决的课题。
技术实现思路
本技术提供一种新型氨气纯化装置，其目的在于解决氨气纯化过程中杂质无法完全脱除的问题。为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：一种新型氨气纯化装置，包括以管道依次连通的尘埃过滤器、活性炭过滤器、液氨汽化器、除氧器、冷却器以及干燥器，所述除氧器包括第一除氧器以及第二除氧器，所述冷却器包括第一冷却器以及第二冷却器，所述干燥器包括第一干燥器以及第二干燥器；所述尘埃过滤器、所述活性炭过滤器、所述液氨汽化器、所述除氧器以及所述冷却器上均设有进口以及出口；所述尘埃过滤器的进口连通液氨进口管道，所述尘埃过滤器的出口与所述活性炭过滤器的进口相连通，所述活性炭过滤器的出口与所述液氨汽化器的进口相连通，所述第一除氧器与所述第二除氧器的进口之间并联连通有进氨输送管道和再生输出管道，所述液氨汽化器的出口通过管道与所述进氨输送管道相连通，所述第一除氧器的出口与第二冷却器的进口相连通，第二冷却器的出口与第一干燥器的进口相连通，第二除氧器的出口与第一冷却器的进口相连通，第一冷却器的出口与第二干燥器的进口相连通，所述第一干燥器与所述第二干燥器的出口并联连通有纯氨输送管道和再生输入管道，所述纯氨输送管道连通有纯氨出口管道，所述再生输入管道上连通有再生进口管道；其中，所述进氨输送管道以及所述再生输出管道上均设有两除氧控制阀，所述液氨汽化器与所述进氨输送管道之间连通的管道位于两所述除氧控制阀之间，所述再生输出管道上的两所述除氧控制阀之间连通有再生出口管道，所述纯氨输送管道以及再生输入管道上均设有两干燥控制阀，所述纯氨出口管道位于所述纯氨输送管道的两所述干燥控制阀之间，所述再生进口管道位于所述再生输入管道的两所述干燥控制阀之间。上述技术方案中的有关内容解释如下：1．上述方案中，所述除氧器、冷却器以及干燥器均设有两个，工作时分为第一工作组以及第二工作组，第一工作组为第一除氧器的与第二冷却器连通，第二冷却器第一干燥器的连通；第二工作组为第二除氧器与第一冷却器连通，第一冷却器与第二干燥器相连通。通过两组工作组的设置，其中一工作组可用于工作纯化氨气，另一工作组用于再生。通过再生能够将干燥器吸附的水份脱除同时增强除氧器活性。2．上述方案中，能够通过控制除氧控制阀以及干燥控制阀来对第一工作组和第二工作组的工作状态进行转换。例如，将所述进氨输送管道上连通所述第一除氧器管道上的除氧控制阀开启，连通所述第二除氧器上的除氧控制阀关闭，同时将所述再生输出管道上连通所述第一除氧器管道上的除氧控制阀关闭，连通所述第二除氧器上的除氧控制阀开启；将纯氨输送管道上连通所述第一干燥器管道上的干燥控制阀开启，连通所述第二干燥器管道上的干燥控制阀关闭，同时将再生输入管道上连通所述第一干燥器管道上的干燥控制阀关闭，连通所述第二干燥器管道上的干燥控制阀开启。此时，第一工作组用于纯化氨气工作，第二工作组用于再生，反之操作，可使第一工作组与第二工作组相互转换，即第一工作组用于再生，第二工作组用于纯化氨气。3．上述方案中，所述氨气纯化装置还包括泄氨器，所述泄氨器设有排污进口、出水口以及废氨水出口，所述泄氨器的排污进口通过管道依次连通所述尘埃过滤器的排污口、所述液氨汽化器的排污口、所述再生出口管道以及所述冷却器的排污口。尘埃过滤器、所述液氨汽化器、所述再生出口管道所述冷却器将工作中产生的污水排放入所述泄氨器中，最终通过所述泄氨器的废氨水出口统一排出。4．上述方案中，所述泄氨器的出水口通过管道连通所述液氨汽化器的进水口以及所述冷却器的冷却水进口，所述泄氨器的出水口与所述冷却器的冷却水进口之间的管道上连通有冷却水进口管道。所述泄氨器还用于给所述液氨汽化器和所述冷却器进行补水。5．上述方案中，所述液氨汽化器与所述进氨输送管道之间连通的管道上设有两压力计，两所述压力计之间设有减压阀以及进氨流量计。减压阀用于对进氨输送管道进行减压，所述两压力计用于测量减压前以及减压后的管道内压力值。所述进氨流量计用于测量管道内原料氨液的流量。本技术相比于现有技术具有优点如下：1、本技术在使用时，原料液氨通过尘埃过滤器脱除机械杂质，活性炭过滤器脱除油分和硫化氢，液氨汽化器将液氨完全汽化成气态氨气，除氧器脱除氨气中的氧气，最后经干燥器脱除水分，相比于传统纯化装置氨气的纯度更高，杂质含量少，纯化后的氨气能够得到更为广泛的应用；2、本技术中的除氧器和干燥器各设两个，其中一个进行工作，另一个用于再生，通过再生管道的设置，干燥器吸附的水分以及除氧器脱除的氧气能够被脱除并且增强了干燥器以及除氧器的活性。附图说明附图1为本技术实施例的结构示意图。以上附图中：1．尘埃过滤器；2．活性炭过滤器；3．液氨汽化器；4a．第一除氧器；4b．第二除氧器；5a．第一冷却器；5b．第二冷却器；6a．第一干燥器；6b．第二干燥器；7．泄氨器；11．液氨进口管道；41．进氨输送管道；42．再生输出管道；43．除氧控制阀；61．纯氨输送管道；62．再生输入管道；63．干燥控制阀；421．再生出口管道；611．纯氨出口管道；621．再生进口管道。具体实施方式下面结合附图及实施例对本技术作进一步描述：实施例：以下将以图式及详细叙述对本案进行清楚说明，任何本领域技术人员在了解本案的实施例后，当可由本案所教示的技术，加以改变及修饰，其并不脱离本案的精神与范围。本文的用语只为描述特定实施例，而无意为本案的限制。单数形式如“一”、“这”、“此”、“本”以及“该”，如本文所用，同样也包含复数形式。关于本文中所使用的“第一”、“第二”等，并非特别指称次序或顺位的意思，亦非用以限定本案，其仅为了区别以相同技术用语描述的组件或操作。关于本文中所使用的“包含”、“包括”、“具有”等，均为开放性的用语，即意指包含但不限于。关于本文中所使用的用词（terms），除有特别注明外，通常本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型氨气纯化装置，其特征在于：所述装置包括以管道依次连通的尘埃过滤器（1）、活性炭过滤器（2）、液氨汽化器（3）、除氧器、冷却器以及干燥器，所述除氧器包括第一除氧器（4a）以及第二除氧器（4b），所述冷却器包括第一冷却器（5a）以及第二冷却器（5b），所述干燥器包括第一干燥器（6a）以及第二干燥器（6b）；/n所述尘埃过滤器（1）、所述活性炭过滤器（2）、所述液氨汽化器（3）、所述除氧器以及所述冷却器上均设有进口以及出口；/n所述尘埃过滤器（1）的进口连通液氨进口管道（11），所述尘埃过滤器（1）的出口与所述活性炭过滤器（2）的进口相连通，所述活性炭过滤器（2）的出口与所述液氨汽化器（3）的进口相连通，所述第一除氧器（4a）与所述第二除氧器（4b）的进口之间并联连通有进氨输送管道（41）和再生输出管道（42），所述液氨汽化器（3）的出口通过管道与所述进氨输送管道（41）相连通，所述第一除氧器（4a）的出口与第二冷却器（5b）的进口相连通，第二冷却器（5b）的出口与第一干燥器（6a）的进口相连通，第二除氧器（4b）的出口与第一冷却器（5a）的进口相连通，第一冷却器（5a）的出口与第二干燥器（6b）的进口相连通，所述第一干燥器（6a）与所述第二干燥器（6b）的出口并联连通有纯氨输送管道（61）和再生输入管道（62），所述纯氨输送管道（61）连通有纯氨出口管道（611），所述再生输入管道（62）上连通有再生进口管道（621）；/n其中，所述进氨输送管道（41）以及所述再生输出管道（42）上均设有两除氧控制阀（43），所述液氨汽化器（3）与所述进氨输送管道（41）之间连通的管道位于两所述除氧控制阀（43）之间，所述再生输出管道（42）上的两所述除氧控制阀（43）之间连通有再生出口管道（421），所述纯氨输送管道（61）以及再生输入管道（62）上均设有两干燥控制阀（63），所述纯氨出口管道（611）位于所述纯氨输送管道（61）的两所述干燥控制阀（63）之间，所述再生进口管道（621）位于所述再生输入管道（62）的两所述干燥控制阀（63）之间。/n...

【技术特征摘要】
1.一种新型氨气纯化装置，其特征在于：所述装置包括以管道依次连通的尘埃过滤器（1）、活性炭过滤器（2）、液氨汽化器（3）、除氧器、冷却器以及干燥器，所述除氧器包括第一除氧器（4a）以及第二除氧器（4b），所述冷却器包括第一冷却器（5a）以及第二冷却器（5b），所述干燥器包括第一干燥器（6a）以及第二干燥器（6b）；
所述尘埃过滤器（1）、所述活性炭过滤器（2）、所述液氨汽化器（3）、所述除氧器以及所述冷却器上均设有进口以及出口；
所述尘埃过滤器（1）的进口连通液氨进口管道（11），所述尘埃过滤器（1）的出口与所述活性炭过滤器（2）的进口相连通，所述活性炭过滤器（2）的出口与所述液氨汽化器（3）的进口相连通，所述第一除氧器（4a）与所述第二除氧器（4b）的进口之间并联连通有进氨输送管道（41）和再生输出管道（42），所述液氨汽化器（3）的出口通过管道与所述进氨输送管道（41）相连通，所述第一除氧器（4a）的出口与第二冷却器（5b）的进口相连通，第二冷却器（5b）的出口与第一干燥器（6a）的进口相连通，第二除氧器（4b）的出口与第一冷却器（5a）的进口相连通，第一冷却器（5a）的出口与第二干燥器（6b）的进口相连通，所述第一干燥器（6a）与所述第二干燥器（6b）的出口并联连通有纯氨输送管道（61）和再生输入管道（62），所述纯氨输送管道（61）连通有纯氨出口管道（611），所述再生输入管道（62）上连通有再生进口管道（621）；
其中，所述进氨输送管道（41）以及所述再生输出管道（42）上均设有两除氧控制阀（43），所述液氨汽化器（3）与所述进氨输送管道（41）之间连通的管道位于两所述除氧控制阀（43）之间，所述再生输出管道（42）上的两所述除氧控制阀（43）之间连通有再生...

【专利技术属性】
技术研发人员：颜庭勇，魏宏成，冀相义，赵运强，
申请(专利权)人：苏州盛福祥净化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32