【技术实现步骤摘要】
输送装置及其操作方法相关申请的交叉引用本申请要求2020年1月21日向韩国知识产权局提交的申请号为10-2020-0007827的韩国申请的优先权，其全部内容通过引用合并于此。
各种实施例总体而言可以涉及输送装置及其操作方法。
技术介绍
为了制造半导体器件，可能在单元工艺中将晶片转移到各种半导体制造装置。可以将多个晶片容纳在盒子中，例如前开式统一盒(FOUP)。可以通过利用输送装置将盒子顺序地传送至半导体制造工艺中。输送装置可以基于控制程序在无人的工作空间中顺序地传送多个盒。盒子可以放置在输送装置的传送带上。由于传送带的故障，可能需要频繁地更换新的传送带。
技术实现思路
在本公开的示例性实施例中，一种输送装置可以包括支撑板和输送模块。所述支撑板可以连接至所述输送模块，并且所述输送模块可以从所述支撑板拆卸。所述支撑板可以包括第一电力和通信端子。所述输送模块可以包括连接至所述第一电力和通信端子的第二电力和通信端子，以接收电力并进行通信连接。所述第一电力和通信端子和所述第...
【技术保护点】
1.一种输送装置，其包括：/n支撑板，其包括第一电力和通信端子；以及/n输送模块，其连接至所述支撑板，所述输送模块具有连接至所述第一电力和通信端子的第二电力和通信端子，以接收电力并进行通信连接，/n其中，所述输送模块能够从所述支撑板拆卸；以及/n其中，所述第一电力和通信端子以及所述第二电力和通信端子是能够拆卸的，并且具有彼此连接和断开的性能。/n
【技术特征摘要】
20200121 KR 10-2020-00078271.一种输送装置，其包括：
支撑板，其包括第一电力和通信端子；以及
输送模块，其连接至所述支撑板，所述输送模块具有连接至所述第一电力和通信端子的第二电力和通信端子，以接收电力并进行通信连接，
其中，所述输送模块能够从所述支撑板拆卸；以及
其中，所述第一电力和通信端子以及所述第二电力和通信端子是能够拆卸的，并且具有彼此连接和断开的性能。
2.根据权利要求1所述的输送装置，其中，所述支撑板包括：
支撑件，其沿着传送路径彼此间隔开；以及
第一固定构件，其被配置为将所述输送模块固定至所述支撑件，
其中，所述第一固定构件具有凸形或凹形。
3.根据权利要求2所述的输送装置，其中，所述输送模块包括：
主体；以及
第二固定构件，其布置在与所述第一固定构件相对应的位置处，以将所述输送模块固定至所述支撑板，所述第二固定构件具有与所述第一固定构件的凸形或凹形相对应的凸形或凹形。
4.根据权利要求2所述的输送装置，其中，所述支撑板还包括：
支撑杆，其将所述支撑件连接至顶板；以及
螺纹构件，其布置在所述支撑杆与所述支撑件之间的接触区域处，以通过拧紧和松开所述螺纹构件来调节所述顶板与所述支撑件之间的间隙。
5.根据权利要求1所述的输送装置，其中，所述输送模块包括多个输送单元模块，以及
其中，所述输送单元模块具有大致上相同的尺寸。
6.根据权利要求1所述的输送装置，其中，所述输送模块包括多个输送单元模块，
其中，所述输送单元模块中的每个连接至所述支撑板，
其中，每个输送单元模块独立地从所述支撑板拆卸，以更换为新的输送模块；以及
其中，所述输送单元模块的每个是能够拆卸的。
7.根据权利要求1所述的输送装置，其中，所述输送模块还包括入口传感器和出口传感器，所述入口传感器被配置为检测物体的进入，所述出口传感器被配置为检测所述物体的离开。
8.根据权利要求7所述的输送装置，还包括控制器，所述控制器被配置为控制如下中的至少一个：每个输送区段的所述输送模块的数量、所述输送模块在区段中的位置、所述输送模块的传送速度、所述输送模块的加速度、所述输送模块的减速度、所述输送模块的停止位置、以及所述输送模块的减速位置。
9.根据权利要求8所述的输送装置，其中，所述控制器将所述输送模块的识别信息、所述输送模块所位于的区段的识别信息、以及在所述区段中所述输送模块的布置次序进行匹配，以及
其中，所述控制器将匹配的信息存储在存储器中并进行管理。
10.根据权利要求9所述的输送装置，其中，在所述区段中所述输送模块的布置次序包括：联接至所述输送模块的所述第二电力和通信端子的所述第一电力和通信端子的识别信息。
11.根据权利要求8所述的输送装置，其中，所述控制器基于经由所述输送模块的所述入口传感器和所述出口传感器检测所述物体，来识别所述物体的当前位置和传送速度，以及
...
【专利技术属性】
技术研发人员：石东柱，
申请(专利权)人：爱思开海力士有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR
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