一种晶圆片加工用粉尘收集装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及粉尘收集技术领域，尤其是一种晶圆片加工用粉尘收集装置，包括箱体,所述箱体底部四侧均安装有支柱，所述箱体底部一侧安装有出水口，所述箱体底部中间安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端安装有往复螺杆，所述往复螺杆伸入所述箱体内部，且所述往复螺杆位于所述箱体内部的一端安装有移动座，所述移动座与所述往复螺杆之间转动连接，所述移动座沿周向均匀安装有多个连杆，所述连杆另一端固定有安装框，所述安装框为矩形框，且所述箱体内壁与所述安装框之间相抵触，所述安装框四侧顶部均开有安装槽，所述安装槽内部安装有过滤机构，本实用新型专利技术结构简单，操作方便，方便完成对粉尘的收集。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆片加工用粉尘收集装置
本技术涉及粉尘收集
，尤其涉及一种晶圆片加工用粉尘收集装置。
技术介绍
现有的晶圆片加工大多利用激光进行，在利用激光对晶圆片切割加工时，产生的晶圆片粉尘在空气中飘荡，容易影响激光射线的正常传输，从而影响晶圆片的加工效果和加工效率。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在粉尘会影响晶圆片的正常加工的缺点，而提出的一种晶圆片加工用粉尘收集装置。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：设计一种晶圆片加工用粉尘收集装置，包括箱体,所述箱体底部四侧均安装有支柱，所述箱体底部一侧安装有出水口，所述箱体底部中间安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端安装有往复螺杆，所述一种晶圆片加工用粉尘收集装置，包括箱体1,箱体1底部四侧均安装有支柱2，箱体1底部一侧安装有出水口4，箱体1底部中间安装有驱动电机3，驱动电机3的输出端安装有往复螺杆5，往复螺杆5顶部安装有限位盖6，保证装置的正常运行，往复螺杆5伸入箱体1内部，箱体1的深度大于往复螺杆5的高度，保证装置的正常工作，且往复螺杆5位于箱体1内部的一端安装有移动座7，移动座7与往复螺杆5之间转动连接，移动座7沿周向均匀安装有多个连杆8，连杆8另一端固定有安装框9，安装框9为矩形框，且箱体1内壁与安装框9之间相抵触，安装框9四侧顶部均开有安装槽10，安装槽10内部安装有过滤机构，安装框9外侧均安装有弹性垫顶部，提高装置的使用寿命，并且方便完成对粉尘的收集操作，方便晶圆片加工的正常进行。实施例2参照图1-3，作为本技术的另一优选实施例，与实施例1的区别在于，过滤机构包括限位螺栓11、过滤网12、限位孔13、安装座14、限位框15，安装座14插接在安装槽10内部，限位框15固定在安装座14顶部，过滤网12安装在限位框15内部，限位螺栓11插接在安装槽10两端，限位孔13开设在安装座14两端，限位螺栓11与限位孔13的位置相对应，且限位孔13与限位螺栓11的尺寸相匹配，方便完成对限位框15的安装与固定，提高对过滤网12的安装稳定性，便于完成对装置的调节与固定，方便完成对粉尘的过滤操作顶部安装有限位盖，所述往复螺杆伸入所述箱体内部，且所述往复螺杆位于所述箱体内部的一端安装有移动座，所述移动座与所述往复螺杆之间转动连接，所述移动座沿周向均匀安装有多个连杆，所述连杆另一端固定有安装框，所述安装框为矩形框，且所述箱体内壁与所述安装框之间相抵触，所述安装框四侧顶部均开有安装槽，所述安装槽内部安装有过滤机构。优选的，所述过滤机构包括限位螺栓、过滤网、限位孔、安装座、限位框，所述安装座插接在所述安装槽内部，所述限位框固定在所述安装座顶部，所述过滤网安装在所述限位框内部，所述限位螺栓插接在所述安装槽两端，所述限位孔开设在所述安装座两端。优选的，所述限位螺栓与所述限位孔的位置相对应，且所述限位孔与所述限位螺栓的尺寸相匹配。优选的，所述箱体的深度大于所述往复螺杆的高度。优选的，所述安装框外侧均安装有弹性垫。本技术提出的一种晶圆片加工用粉尘收集装置，有益效果在于：利用在箱体底部安装的驱动电机完成对往复螺杆的驱动，并且通过移动座完成对安装框的安装，通过安装框与箱体内部的相抵触，方便通过往复螺杆的转动带动安装框和过滤网上下移动，从而能够完成对粉尘的收集，并且通过过滤网浸入箱体内部的水中时，完成对过滤网的清洗，进一步提高过滤效果。附图说明图1为本技术提出的一种晶圆片加工用粉尘收集装置的内部结构示意图；图2为本技术提出的一种晶圆片加工用粉尘收集装置的立体结构示意图；图3为本技术提出的一种晶圆片加工用粉尘收集装置的限位框结构示意图。图中：箱体1、支柱2、驱动电机3、出水口4、往复螺杆5、限位盖6、移动座7、连杆8、安装框9、安装槽10、限位螺栓11、过滤网12、限位孔13、安装座14、限位框15。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。实施例1参照图1-3，一种晶圆片加工用粉尘收集装置，包括箱体1,箱体1底部四侧均安装有支柱2，箱体1底部一侧安装有出水口4，箱体1底部中间安装有驱动电机3，驱动电机3的输出端安装有往复螺杆5，往复螺杆5顶部安装有限位盖6，保证装置的正常运行，往复螺杆5伸入箱体1内部，箱体1的深度大于往复螺杆5的高度，保证装置的正常工作，且往复螺杆5位于箱体1内部的一端安装有移动座7，移动座7与往复螺杆5之间转动连接，移动座7沿周向均匀安装有多个连杆8，连杆8另一端固定有安装框9，安装框9为矩形框，且箱体1内壁与安装框9之间相抵触，安装框9四侧顶部均开有安装槽10，安装槽10内部安装有过滤机构，安装框9外侧均安装有弹性垫顶部，提高装置的使用寿命，并且方便完成对粉尘的收集操作，方便晶圆片加工的正常进行。实施例2参照图1-3，作为本技术的另一优选实施例，与实施例1的区别在于，过滤机构包括限位螺栓11、过滤网12、限位孔13、安装座14、限位框15，安装座14插接在安装槽10内部，限位框15固定在安装座14顶部，过滤网12安装在限位框15内部，限位螺栓11插接在安装槽10两端，限位孔13开设在安装座14两端，限位螺栓11与限位孔13的位置相对应，且限位孔13与限位螺栓11的尺寸相匹配，方便完成对限位框15的安装与固定，提高对过滤网12的安装稳定性，便于完成对装置的调节与固定，方便完成对粉尘的过滤操作。以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆片加工用粉尘收集装置，包括箱体(1),所述箱体(1)底部四侧均安装有支柱(2)，所述箱体(1)底部一侧安装有出水口(4)，其特征在于，所述箱体(1)底部中间安装有驱动电机(3)，所述驱动电机(3)的输出端安装有往复螺杆(5)，所述往复螺杆(5)顶部安装有限位盖(6)，所述往复螺杆(5)伸入所述箱体(1)内部，且所述往复螺杆(5)位于所述箱体(1)内部的一端安装有移动座(7)，所述移动座(7)与所述往复螺杆(5)之间转动连接，所述移动座(7)沿周向均匀安装有多个连杆(8)，所述连杆(8)另一端固定有安装框(9)，所述安装框(9)为矩形框，且所述箱体(1)内壁与所述安装框(9)之间相抵触，所述安装框(9)四侧顶部均开有安装槽(10)，所述安装槽(10)内部安装有过滤机构。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆片加工用粉尘收集装置，包括箱体(1),所述箱体(1)底部四侧均安装有支柱(2)，所述箱体(1)底部一侧安装有出水口(4)，其特征在于，所述箱体(1)底部中间安装有驱动电机(3)，所述驱动电机(3)的输出端安装有往复螺杆(5)，所述往复螺杆(5)顶部安装有限位盖(6)，所述往复螺杆(5)伸入所述箱体(1)内部，且所述往复螺杆(5)位于所述箱体(1)内部的一端安装有移动座(7)，所述移动座(7)与所述往复螺杆(5)之间转动连接，所述移动座(7)沿周向均匀安装有多个连杆(8)，所述连杆(8)另一端固定有安装框(9)，所述安装框(9)为矩形框，且所述箱体(1)内壁与所述安装框(9)之间相抵触，所述安装框(9)四侧顶部均开有安装槽(10)，所述安装槽(10)内部安装有过滤机构。


2.根据权利要求1所述的一种晶圆片加工用粉尘收集装置，其特征在于，所述过滤机构包...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢凯，韦胜，盛育，
申请(专利权)人：苏州百克晶电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32