【技术实现步骤摘要】
一种晶圆片边缘处理装置
本技术涉及打磨设备
,尤其涉及一种晶圆片边缘处理装置。
技术介绍
硅属于半导体材料,其自身的导电性并不是很好。然而,可以通过添加适当的掺杂剂来精确控制它的电阻率。制造半导体前,必须将硅转换为晶圆片(wafer)。这要从硅锭的生长开始。接下来硅锭被刻出一个小豁口或一个小平面,以显示晶向。一旦通过检查,就将硅锭切割成晶圆片。由于硅很硬,要用金刚石锯来准确切割晶圆片,以得到比要求尺寸要厚一些的晶片。金刚石锯也有助于减少对晶圆片的损伤、厚度不均、弯曲以及翘曲缺陷。但是切割后的晶圆片边缘存在毛刺、缺口等,需要进行打磨后才能进行下一步的使用,在晶圆片打磨的过程中,一般因为晶圆片的直径问题,导致打磨难度高。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在一般因为晶圆片的直径问题,导致打磨难度高的缺点,而提出的一种晶圆片边缘处理装置。为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:设计一种晶圆片边缘处理装置,包括底座,所述底座底部四周安装有支撑腿,所述底座底部一侧安装有电机,所述电机输出轴贯穿底座并安装有夹紧座,所述夹紧座上夹紧有晶圆片,所述底座顶部中间开设有第一凹槽,所述第一凹槽内滑动设置有滑块,所述底座顶部外侧的滑块上安装有连接块,所述连接块顶部靠近晶圆片一侧焊接有固定座,所述固定座上靠近晶圆片一侧安装打磨片,所述底座底部外侧的滑块上开设有第二凹槽,所述第二凹槽两侧的底座上均焊接有固定块,其中一个所述固定块一侧放置有转轴,所述转轴贯穿其中一个固定块、第二凹槽并 ...
【技术保护点】
1.一种晶圆片边缘处理装置,包括底座(1),所述底座(1)底部四周安装有支撑腿(2),所述底座(1)底部一侧安装有电机(3),所述电机(3)输出轴贯穿底座(1)并安装有夹紧座(4),所述夹紧座(4)上夹紧有晶圆片(5),其特征在于,所述底座(1)顶部中间开设有第一凹槽(6),所述第一凹槽(6)内滑动设置有滑块(7),所述底座(1)顶部外侧的滑块(7)上安装有连接块(8),所述连接块(8)顶部靠近晶圆片(5)一侧焊接有固定座(9),所述固定座(9)上靠近晶圆片(5)一侧安装打磨片(10),所述底座(1)底部外侧的滑块(7)上开设有第二凹槽(11),所述第二凹槽(11)两侧的底座(1)上均焊接有固定块(12),其中一个所述固定块(12)一侧放置有转轴(13),所述转轴(13)贯穿其中一个固定块(12)、第二凹槽(11)并延伸至另一个固定块(12)内,所述第二凹槽(11)内的转轴(13)上安装有齿轮(14),所述齿轮(14)两侧的第二凹槽(11)上均安装有齿条(18),两个所述齿条(18)均与齿轮(14)相啮合,所述转轴(13)一端安装有L型把手(15),所述L型把手(15)与底座(1)之间 ...
【技术特征摘要】
1.一种晶圆片边缘处理装置,包括底座(1),所述底座(1)底部四周安装有支撑腿(2),所述底座(1)底部一侧安装有电机(3),所述电机(3)输出轴贯穿底座(1)并安装有夹紧座(4),所述夹紧座(4)上夹紧有晶圆片(5),其特征在于,所述底座(1)顶部中间开设有第一凹槽(6),所述第一凹槽(6)内滑动设置有滑块(7),所述底座(1)顶部外侧的滑块(7)上安装有连接块(8),所述连接块(8)顶部靠近晶圆片(5)一侧焊接有固定座(9),所述固定座(9)上靠近晶圆片(5)一侧安装打磨片(10),所述底座(1)底部外侧的滑块(7)上开设有第二凹槽(11),所述第二凹槽(11)两侧的底座(1)上均焊接有固定块(12),其中一个所述固定块(12)一侧放置有转轴(13),所述转轴(13)贯穿其中一个固定块(12)、第二凹槽(11)并延伸至另一个固定块(12)内,所述第二凹槽(11)内的转轴(13)上安...
【专利技术属性】
技术研发人员:韦胜,卢凯,盛育,
申请(专利权)人:苏州百克晶电子科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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