一种用于多腔室处理的晶圆片传递装置制造方法及图纸

技术编号:28897546 阅读:38 留言:0更新日期:2021-06-15 23:59
本实用新型专利技术涉及晶圆片技术领域,尤其是一种用于多腔室处理的晶圆片传递装置,包括下板,所述下板正上方设置有上板,所述下板和上板之间设置有存放槽,所述存放槽一侧固定有连接板,所述下板上方安装有电机,所述电机上方连接有螺纹杆,所述螺纹杆一端穿过连接板并转动连接在上板下方,所述螺纹杆与连接板之间通过螺纹连接,所述存放槽两侧均固定有侧板,所述下板上方两侧均固定有滑杆。该晶圆片传递装置通过存放槽来对晶圆片进行存放,当需要将晶圆片取下时,只需要拉动拉板,最左侧的晶圆片便会从开口处滑落。

【技术实现步骤摘要】
一种用于多腔室处理的晶圆片传递装置
本技术涉及晶圆片
,尤其涉及一种用于多腔室处理的晶圆片传递装置。
技术介绍
晶圆片的由来,是先将二氧化矽经过纯化,融解,蒸馏之后,制成矽晶棒,晶圆厂再拿这些矽晶棒研磨,抛光和切片成为晶圆母片;由于圆形的晶圆片本身没有方向性,不适合电子的传输,因此这些晶圆还必须切出一个边,当做类似三角形的“底”,所以晶圆长得并不像家里的DVD是标准的圆,而是被切掉一个边,成为有“底”的圆。在将晶圆片传递至多腔室进行处理时,为了便于进行传递,我们通常需要使用传递装置来进行传递,但是现有的传递装置不便于使用,我们提出了一种用于多腔室处理的晶圆片传递装置。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种用于多腔室处理的晶圆片传递装置。为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:设计一种用于多腔室处理的晶圆片传递装置,包括下板,所述下板正上方设置有上板,所述下板和上板之间设置有存放槽,所述存放槽一侧固定有连接板,所述下板上方安装有电机,所述电机上方连接有螺纹杆,所述螺纹杆一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于多腔室处理的晶圆片传递装置,包括下板(2),所述下板(2)正上方设置有上板(3),所述下板(2)和上板(3)之间设置有存放槽(1),其特征在于,所述存放槽(1)一侧固定有连接板(19),所述下板(2)上方安装有电机(17),所述电机(17)上方连接有螺纹杆(18),所述螺纹杆(18)一端穿过连接板(19)并转动连接在上板(3)下方,所述螺纹杆(18)与连接板(19)之间通过螺纹连接,所述存放槽(1)两侧均固定有侧板(15),所述下板(2)上方两侧均固定有滑杆(16),且滑杆(16)一端穿过侧板(15)并固定在上板(3)下方,所述存放槽(1)内放置有多个晶圆片(4),所述存放槽(1)...

【技术特征摘要】
1.一种用于多腔室处理的晶圆片传递装置,包括下板(2),所述下板(2)正上方设置有上板(3),所述下板(2)和上板(3)之间设置有存放槽(1),其特征在于,所述存放槽(1)一侧固定有连接板(19),所述下板(2)上方安装有电机(17),所述电机(17)上方连接有螺纹杆(18),所述螺纹杆(18)一端穿过连接板(19)并转动连接在上板(3)下方,所述螺纹杆(18)与连接板(19)之间通过螺纹连接,所述存放槽(1)两侧均固定有侧板(15),所述下板(2)上方两侧均固定有滑杆(16),且滑杆(16)一端穿过侧板(15)并固定在上板(3)下方,所述存放槽(1)内放置有多个晶圆片(4),所述存放槽(1)底部一侧开设有开口(5),所述开口(5)内设置有限位机构(6),所述存放槽(1)内壁两侧均固定有套管(10),所述套管(10)内插设有插杆(12),所述插杆(12)一端穿过套管(10)并固定有内滑板(7),且内滑板(7)与晶圆片(4)相抵触,所述插杆(12)另一端固定有内弹簧(11),所述内弹簧(11)一端固定在套管(10)底部。


2.根据权利要求1所述的一种用于多腔室...

【专利技术属性】
技术研发人员:韦胜盛育卢凯
申请(专利权)人:苏州百克晶电子科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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