一种晶圆片加工用存储装置制造方法及图纸

技术编号:29184519 阅读:38 留言:0更新日期:2021-07-07 00:00
本实用新型专利技术涉及晶圆片加工技术领域,尤其是一种晶圆片加工用存储装置,包括盒体,盒体上端一侧固定连接有上盖,上盖与盒体之间固定连接有紧固机构,盒体上端另一侧铰接有侧盖,盒体内侧壁远离侧盖的一侧固定连接有套管,套管一端设置有套杆,且套杆的一端插设在套管之中,套杆的另一端延伸至套管的外侧并固定连接有推送机构,套杆的外侧套设有第一弹簧,且第一弹簧的一端固定连接在套管上,第一弹簧的另一端固定连接在推送机构上,盒体的内部放置有多个晶圆片本体,且多个晶圆片本体位于推送机构的一侧。该晶圆片加工用存储装置能够方便地对晶圆片进行存储放置和取出,操作简单,使用方便。方便。方便。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆片加工用存储装置


[0001]本技术涉及晶圆片加工
,尤其涉及一种晶圆片加工用存储装置。

技术介绍

[0002]晶圆片的由来,是先将二氧化矽经过纯化,融解,蒸馏之后,制成矽晶棒,晶圆厂再拿这些矽晶棒研磨,抛光和切片成为晶圆母片;由于圆形的晶圆片本身没有方向性,不适合电子的传输,因此这些晶圆还必须切出一个边,当做类似三角形的“底”,所以晶圆长得并不像家里的DVD是标准的圆,而是被切掉一个边,成为有“底”的圆。
[0003]在晶圆片的生产加工过程中,需要使用到晶圆片的存储装置,目前的存储装置大多都是由一个简单的放置盒组成,因此,目前的存储装置结构简单,功能单一,其只能够起到简单的存放晶圆片的作用,不仅不便于存放和取出,而且多个晶圆片存储的稳定性较差,很容易造成晶圆片的损坏。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的不仅不便于存放和取出,而且多个晶圆片存储的稳定性较差,很容易造成晶圆片的损坏的缺点,而提出的一种晶圆片加工用存储装置。
[0005]为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆片加工用存储装置,包括盒体(1),其特征在于,所述盒体(1)上端一侧固定连接有上盖(2),所述上盖(2)与所述盒体(1)之间固定连接有紧固机构(3),所述盒体(1)上端另一侧铰接有侧盖(4),且所述侧盖(4)的一端与所述上盖(2)的相对一端之间相互接触,所述盒体(1)内侧壁远离所述侧盖(4)的一侧固定连接有套管(6),所述套管(6)一端设置有套杆(7),且所述套杆(7)的一端插设在所述套管(6)之中,所述套杆(7)的另一端延伸至所述套管(6)的外侧并固定连接有推送机构(9),所述套杆(7)的外侧套设有第一弹簧(8),且所述第一弹簧(8)的一端固定连接在所述套管(6)上,所述第一弹簧(8)的另一端固定连接在所述推送机构(9)上,所述盒体(1)的内部放置有多个晶圆片本体(10),且多个所述晶圆片本体(10)位于所述推送机构(9)的一侧。2.根据权利要求1所述的一种晶圆片加工用存储装置,其特征在于,所述紧固机构(3...

【专利技术属性】
技术研发人员:卢凯韦胜盛育
申请(专利权)人:苏州百克晶电子科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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