一种晶圆片加工用存储装置制造方法及图纸

技术编号:29184519 阅读:15 留言:0更新日期:2021-07-07 00:00
本实用新型专利技术涉及晶圆片加工技术领域,尤其是一种晶圆片加工用存储装置,包括盒体,盒体上端一侧固定连接有上盖,上盖与盒体之间固定连接有紧固机构,盒体上端另一侧铰接有侧盖,盒体内侧壁远离侧盖的一侧固定连接有套管,套管一端设置有套杆,且套杆的一端插设在套管之中,套杆的另一端延伸至套管的外侧并固定连接有推送机构,套杆的外侧套设有第一弹簧,且第一弹簧的一端固定连接在套管上,第一弹簧的另一端固定连接在推送机构上,盒体的内部放置有多个晶圆片本体,且多个晶圆片本体位于推送机构的一侧。该晶圆片加工用存储装置能够方便地对晶圆片进行存储放置和取出,操作简单,使用方便。方便。方便。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆片加工用存储装置


[0001]本技术涉及晶圆片加工
,尤其涉及一种晶圆片加工用存储装置。

技术介绍

[0002]晶圆片的由来,是先将二氧化矽经过纯化,融解,蒸馏之后,制成矽晶棒,晶圆厂再拿这些矽晶棒研磨,抛光和切片成为晶圆母片;由于圆形的晶圆片本身没有方向性,不适合电子的传输,因此这些晶圆还必须切出一个边,当做类似三角形的“底”,所以晶圆长得并不像家里的DVD是标准的圆,而是被切掉一个边,成为有“底”的圆。
[0003]在晶圆片的生产加工过程中,需要使用到晶圆片的存储装置,目前的存储装置大多都是由一个简单的放置盒组成,因此,目前的存储装置结构简单,功能单一,其只能够起到简单的存放晶圆片的作用,不仅不便于存放和取出,而且多个晶圆片存储的稳定性较差,很容易造成晶圆片的损坏。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的不仅不便于存放和取出,而且多个晶圆片存储的稳定性较差,很容易造成晶圆片的损坏的缺点,而提出的一种晶圆片加工用存储装置。
[0005]为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:
[0006]设计一种晶圆片加工用存储装置,包括盒体,所述盒体上端一侧固定连接有上盖,所述上盖与所述盒体之间固定连接有紧固机构,所述盒体上端另一侧铰接有侧盖,且所述侧盖的一端与所述上盖的相对一端之间相互接触,所述盒体内侧壁远离所述侧盖的一侧固定连接有套管,所述套管一端设置有套杆,且所述套杆的一端插设在所述套管之中,所述套杆的另一端延伸至所述套管的外侧并固定连接有推送机构,所述套杆的外侧套设有第一弹簧,且所述第一弹簧的一端固定连接在所述套管上,所述第一弹簧的另一端固定连接在所述推送机构上,所述盒体的内部放置有多个晶圆片本体,且多个所述晶圆片本体位于所述推送机构的一侧。
[0007]优选的,所述紧固机构包括第一连接板和第二连接板,所述第一连接板固定连接在所述盒体一侧的顶部位置,所述第二连接板固定连接在所述上盖一侧的底部位置,所述第一连接板上表面均匀地固定连接有若干个螺纹杆,且若干个所述螺纹杆均分别贯穿所述第二连接板并通过螺母固定连接。
[0008]优选的,所述推送机构包括连接板,所述连接板固定连接在所述套杆的一端,所述连接板一侧均匀地固定连接有多个第二弹簧,多个所述第二弹簧的一端固定连接有推板。
[0009]优选的,所述推板的一侧粘接有缓冲层,且所述缓冲层为橡胶垫。
[0010]优选的,所述侧盖的上端固定连接有凸起。
[0011]本技术提出的一种晶圆片加工用存储装置,有益效果在于:该晶圆片加工用存储装置通过套管、套杆、第一弹簧以及推送机构的设置,首先,将上盖拆卸开,然后即可将
多个晶圆片本体放入到盒体中,并使得多个晶圆片本体放置于推送机构的一侧,在套管、套杆、第一弹簧以及推送机构的作用下,在其产生的弹性作用力下,能够将多个晶圆片本体稳定地卡在盒体中;其次,当需要取出晶圆片本体时,将侧盖拨开后,部分晶圆片本体就会暴露出来,工作人员即可按照需求取出相应数量的晶圆片本体,当取出部分晶圆片本体后,在套管、套杆、第一弹簧产生的弹性作用力下,推送机构就会将剩下的晶圆片本体再次往前挤压推送并且使其稳定地卡在盒体中,而且当下次需要取出晶圆片本体时,部分晶圆片本体还是会直接地位于侧盖的下方。因此,通过本设计,从而能够大大地方便了对晶圆片本体的存储过程和取出过程,而且能够使得多个晶圆片本体可以稳定地存储在盒体中,工作人员可以多次重复地使用和取出,会给工作人员的工作带来很大的方便。
附图说明
[0012]图1为本技术提出的一种晶圆片加工用存储装置的结构示意图。
[0013]图2为图1的内部结构剖视图。
[0014]图3为本技术提出的一种晶圆片加工用存储装置的结构俯视图。
[0015]图4为图2中的A部结构放大示意图。
[0016]图中:盒体1、上盖2、紧固机构3、第一连接板31、第二连接板32、螺纹杆33、侧盖4、凸起5、套管6、套杆7、第一弹簧8、推送机构9、连接板91、第二弹簧92、推板93、缓冲层94、晶圆片本体10。
具体实施方式
[0017]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。
[0018]实施例1
[0019]参照图1

4,一种晶圆片加工用存储装置,包括盒体1,盒体1上端一侧固定连接有上盖2,上盖2与盒体1之间固定连接有紧固机构3,上盖2与盒体1之间是通过紧固机构3固定连接在一起的,上盖2是可拆式的。
[0020]盒体1上端另一侧铰接有侧盖4,且侧盖4的一端与上盖2的相对一端之间相互接触,侧盖4的上端固定连接有凸起5,通过凸起5,从而能够方便地将侧盖4拨开,将侧盖4拨开后,工作人员即可方便地从盒体1中取出晶圆片。
[0021]盒体1内侧壁远离侧盖4的一侧固定连接有套管6,套管6一端设置有套杆7,且套杆7的一端插设在套管6之中,套杆7的另一端延伸至套管6的外侧并固定连接有推送机构9,套杆7的外侧套设有第一弹簧8,且第一弹簧8的一端固定连接在套管6上,第一弹簧8的另一端固定连接在推送机构9上,盒体1的内部放置有多个晶圆片本体10,且多个晶圆片本体10位于推送机构9的一侧,通过套管6、套杆7、第一弹簧8以及推送机构9的设置,首先,将上盖2拆卸开,然后即可将多个晶圆片本体10放入到盒体1中,并使得多个晶圆片本体10放置于推送机构9的一侧,在套管6、套杆7、第一弹簧8以及推送机构9的作用下,在其产生的弹性作用力下,能够将多个晶圆片本体10稳定地卡在盒体1中;其次,当需要取出晶圆片本体10时,将侧盖4拨开后,部分晶圆片本体10就会暴露出来,工作人员即可按照需求取出相应数量的晶圆
片本体10,当取出部分晶圆片本体10后,在套管6、套杆7、第一弹簧8产生的弹性作用力下,推送机构9就会将剩下的晶圆片本体10再次往前挤压推送并且使其稳定地卡在盒体1中,而且当下次需要取出晶圆片本体10时,部分晶圆片本体10还是会直接地位于侧盖4的下方。因此,通过本设计,从而能够大大地方便了对晶圆片本体10的存储过程和取出过程,而且能够使得多个晶圆片本体10可以稳定地存储在盒体1中,工作人员可以多次重复地使用和取出,会给工作人员的工作带来很大的方便。
[0022]实施例2
[0023]参照图1

3,作为本技术的另一优选实施例,与实施例1的区别在于,紧固机构3包括第一连接板31和第二连接板32,第一连接板31固定连接在盒体1一侧的顶部位置,第二连接板32固定连接在上盖2一侧的底部位置,第一连接板31上表面均匀地固定连接有若干个螺纹杆33,且若干个螺纹杆33均分别贯穿第二连接板32并通过螺母固定连接,通过第一连接板31、第二连接板32以及若干个螺纹杆33的设置,从而能够大大地方便了对上盖2的拆装本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆片加工用存储装置,包括盒体(1),其特征在于,所述盒体(1)上端一侧固定连接有上盖(2),所述上盖(2)与所述盒体(1)之间固定连接有紧固机构(3),所述盒体(1)上端另一侧铰接有侧盖(4),且所述侧盖(4)的一端与所述上盖(2)的相对一端之间相互接触,所述盒体(1)内侧壁远离所述侧盖(4)的一侧固定连接有套管(6),所述套管(6)一端设置有套杆(7),且所述套杆(7)的一端插设在所述套管(6)之中,所述套杆(7)的另一端延伸至所述套管(6)的外侧并固定连接有推送机构(9),所述套杆(7)的外侧套设有第一弹簧(8),且所述第一弹簧(8)的一端固定连接在所述套管(6)上,所述第一弹簧(8)的另一端固定连接在所述推送机构(9)上,所述盒体(1)的内部放置有多个晶圆片本体(10),且多个所述晶圆片本体(10)位于所述推送机构(9)的一侧。2.根据权利要求1所述的一种晶圆片加工用存储装置,其特征在于,所述紧固机构(3...

【专利技术属性】
技术研发人员:卢凯韦胜盛育
申请(专利权)人:苏州百克晶电子科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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