检测装置制造方法及图纸

检测装置具有：绝缘基板；多个栅极线，设置于绝缘基板，在第一方向上延伸；多个信号线，设置于绝缘基板，在与第一方向交叉的第二方向上延伸；开关元件，与多个栅极线及多个信号线连接；第一光电转换元件，具有包含非晶态硅的第一半导体层，与开关元件连接；以及第二光电转换元件，具有包含多晶硅的第二半导体层，与开关元件连接。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】检测装置
本专利技术涉及一种检测装置。
技术介绍
近年来，作为用于个人认证等的生物体传感器已知一种光学式生物体传感器。作为生物体传感器已知指纹传感器(例如参照专利文献1)和静脉传感器。专利文献1记载的指纹传感器在半导体基板上排列有多个光电二极管等光电转换元件。在光电转换元件中，输出的信号根据照射的光量而变化。现有技术文献专利文献专利文献1：美国专利申请公开第2018/0012069号说明书利用光学式传感器的生物体传感器不限于检测手指或手掌等被检测体的指纹的形状，而且需要检测被检测体的各种生物体信息。例如，在指纹检测和静脉检测中，光的波长、检测灵敏度不同。例如，在专利文献1中，由光电转换元件的特性确定具有灵敏度的波长区域。因此，有时难以通过同一检测装置良好地检测指纹或静脉等多种不同的生物体信息。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种能够通过同一设备检测各种生物体信息的检测装置。本专利技术的一种方式的检测装置具有：绝缘基板；多个栅极线，设置于所述绝缘基板，在第一方向上延伸；多个信号线本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检测装置，具有：/n绝缘基板；/n多个栅极线，设置于所述绝缘基板，在第一方向上延伸；/n多个信号线，设置于所述绝缘基板，在与所述第一方向交叉的第二方向上延伸；/n开关元件，与多个所述栅极线及多个所述信号线连接；/n第一光电转换元件，具有包含非晶态硅的第一半导体层，与所述开关元件连接；以及/n第二光电转换元件，具有包含多晶硅的第二半导体层，与所述开关元件连接。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20181221 JP 2018-2403071.一种检测装置，具有：
绝缘基板；
多个栅极线，设置于所述绝缘基板，在第一方向上延伸；
多个信号线，设置于所述绝缘基板，在与所述第一方向交叉的第二方向上延伸；
开关元件，与多个所述栅极线及多个所述信号线连接；
第一光电转换元件，具有包含非晶态硅的第一半导体层，与所述开关元件连接；以及
第二光电转换元件，具有包含多晶硅的第二半导体层，与所述开关元件连接。


2.根据权利要求1所述的检测装置，其中，
所述第一光电转换元件及所述第二光电转换元件设置于由多个所述栅极线和多个所述信号线包围的区域。


3.根据权利要求1或2所述的检测装置，其中，
所述第一光电转换元件的阴极电极及所述第二光电转换元件的阴极电极与所述开关元件连接。


4.根据权利要求1或2所述的检测装置，其中，
所述第一光电转换元件的阳极电极及所述第二光电转换元件的阳极电极与所述开关元件连接。


5.根据权利要求1至4中任一项所述的检测装置，其中，
所述第一半导体层包括p型半导体层、i型半导体层及n型半导体层，
在与所述绝缘基板垂直的方向上，所述i型半导体层设置于所述p型半导体层和所述n型半导体层之间。


6.根据权利要求1至5中任一项所述的检测装置，其中，
所述第二半导体层包括p区域、i区域及n区域，
俯视观察下，所述i区域设置于所述p区域和所述n区域之间。


7.根据权利要求1至6中任一项所述的检测装置，其中，具有：
第一层间绝缘膜，设置在多个所述第二光电转换元件的所述第二半导体层上；以及
第二层间绝缘膜，设置在所述第一层间绝缘膜上，
所述第一光电转换元件的阳极电极设置在所述第二层间绝缘膜上。


8.根据权利要求7所述的检测装置，其中，
所述检测装置具有设置在所述第一层间绝缘膜上的中继电极，
所述第二半导体层经由设置于所述第一层间绝缘膜的接触孔与所述中继电极连接，
所述第一光电转换元件的阴极电极设置在所述第一半导体层上，经由设置于所述第二层间绝缘膜的接触孔与所述中继电极连接。


9.根据权利要求7所述的检测装置，其中，
所述检测装置具有设置在所述第一层...

【专利技术属性】
技术研发人员：多田正浩，内田真，中村卓，
申请(专利权)人：株式会社日本显示器，
类型：发明
国别省市：日本;JP