切削装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供切削装置，其准确地检测切削刃的侧面的状态，切削刀具的更换时期、形成于被加工物的切槽的状态等的预知的精度优异。切削装置具有对切削刀具的切削刃进行监视的监视单元。监视单元包含：拍摄部，其对切削刀具的切削刃进行拍摄；脉冲光源，其发出脉冲光，对该拍摄部的拍摄区域进行照明；以及照相机，其捕捉该拍摄部发出的图像。拍摄部包含：第一拍摄部，其对切削刀具的切削刃的一个侧面进行拍摄；第二拍摄部，其对切削刀具的切削刃的另一个侧面进行拍摄；以及第三拍摄部，其对切削刃的外周端部进行拍摄。

【技术实现步骤摘要】
切削装置
本专利技术涉及具有监视单元的切削装置，该监视单元监视对卡盘工作台所保持的被加工物进行切削的切削刃。
技术介绍
通过具有切削刀具的切削装置将由交叉的多条分割预定线划分而在正面上形成有IC、LSI等多个器件的晶片分割成各个器件芯片，分割得到的器件芯片用于移动电话、个人计算机等电子设备。另外，本申请人提出了一种切削装置，该切削装置具有对在切削刀具的外周呈环状形成的切削刃的状态进行监视的刀具检测单元(参照专利文献1)，能够使用该刀具检测单元来检测切削刀具的切削刃的状态，从而得知切削刀具的更换时期。专利文献1：日本特开2007-042855号公报但是，在专利文献1所公开的技术中，由于采用隔着切削刃配置发光元件和照相机并利用从发光元件照射的光来监视切削刃的轮廓的结构，因此无法检测切削屑是否附着于切削刃的侧面、磨粒是否从切削刃的侧面脱落等详细的状态，不能说切削刀具的更换时期、形成于被加工物的切槽的状态、崩边(刃缺口)的状态等的预知的精度高，要求进一步改善。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于，提供一种切削装置，其准确地检测切削刃的侧面的状态，切削刀具的更换时期、形成于被加工物的切槽的状态等的预知的精度优异。根据本专利技术，提供一种切削装置，其具有：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；切削单元，其包含切削刀具，该切削刀具呈环状地配设有对该卡盘工作台所保持的该被加工物进行切削的切削刃；监视单元，其对该切削刀具的该切削刃进行监视；以及监视器，该监视单元具有：拍摄部，其对该切削刀具的该切削刃进行拍摄；脉冲光源，其发出脉冲光，对该拍摄部的拍摄区域进行照明；以及照相机，其捕捉该拍摄部发出的图像，该拍摄部包含：第一拍摄部，其对该切削刀具的该切削刃的一个侧面进行拍摄；以及第二拍摄部，其对该切削刀具的该切削刃的另一个侧面进行拍摄，该第一拍摄部包含：第一棱镜，其具有与该切削刃的一个侧面面对的一个端面；第一成像透镜，其配设于该第一棱镜的另一个端面；以及第一光纤，其传递第一图像，该第一光纤的一个端面与该第一成像透镜连结，该第二拍摄部包含：第二棱镜，其具有与该切削刃的另一个侧面面对的一个端面；第二成像透镜，其配设于该第二棱镜的另一个端面；以及第二光纤，其传递第二图像，该第二光纤的一个端面与该第二成像透镜连结，从该第一光纤的另一个端面发出的该第一图像和从该第二光纤的另一个端面发出的该第二图像被传递到该照相机并显示在该监视器上。优选的是，该拍摄部还包含第三拍摄部，该第三拍摄部包含：第三成像透镜，其与该切削刃的外周端部面对；以及第三光纤，其传递第三图像，该第三光纤的一个端面与该第三成像透镜连结，从该第三光纤的另一个端面发出的该第三图像与该第一图像和该第二图像一起被传递到该照相机并显示在该监视器上。优选的是，该监视单元还具有配设在该拍摄部与该照相机之间的分束器，该脉冲光源发出的脉冲光经由该分束器而从配设于该拍摄部的各光纤的另一个端面导入，并被引导至与该切削刀具的切削刃的拍摄区域面对的一个端面，对该拍摄区域进行照明。优选的是，该监视单元还具有一端与该脉冲光源光学结合的传递脉冲光的照明用光纤，通过该照明用光纤对该拍摄区域进行照明。优选的是，在将该切削刀具的该切削刃旋转一周时该监视单元拍摄该切削刃的次数设为X、将使该切削刀具旋转的主轴的1秒钟的转速设为Y时，脉冲光源的重复频率＝X×Y[Hz]。优选的是，该监视单元还具有：发光元件和受光元件，它们按照隔着该切削刀具的该切削刃的方式配设；以及旋转编码器，其配设于使该切削刀具旋转的主轴上，在该受光元件的受光量发生了变化时，利用该控制单元进行控制，以便按照与该旋转编码器所检测的值对应的时机从该脉冲光源发出脉冲光，将该受光元件的受光量发生了变化的区域作为由该拍摄部进行拍摄的拍摄区域来进行照明并拍摄。根据本专利技术，能够检测切削屑是否附着于切削刃的侧面、磨粒是否从切削刃的侧面脱落等状态，从而提高切削刀具的更换时期和切槽的状态的预知的精度。另外，通过配设与切削刃的外周端部面对的第三拍摄部，还能够监视切削刃的外周端部的状况，进一步提高掌握切削刀具的更换时期、切槽的状态以及崩边的状态等时的预知的精度。附图说明图1是本专利技术实施方式的切削装置的整体立体图。图2的(a)是将切削单元的一部分放大示出的立体图，图2的(b)是示出将图2的(a)所示的切削单元的刀具罩的可动部掀起的状态的立体图。图3是示出从图2的(b)所示的刀具壳体中取出了拍摄部保持块的状态的立体图。图4是示出配设于图1的切削装置的监视单元30的结构的概念图。图5是示出图1所示的监视单元的第一拍摄部、第二拍摄部以及第三拍摄部的结构的概念图。图6是用于对图4所示的发光元件和受光元件的功能进行说明的概念图。标号说明1：切削装置；1A：壳体；3：搬出搬入机构；4：盒载置区域；4A：盒；5：暂放工作台；6：搬送机构；10：保持单元；10a：卡盘工作台；11：拍摄单元；13：搬送机构；14：操作面板；20：切削单元；21：壳体；22：切削刀具；22a：切削刃；22b：固定环；24：刀具罩；241：主部；242：可动部；25：拍摄部保持块；251：升降旋钮；252：升降部件；252a：检测空间；26：切削水提供单元；30：监视单元；35：监视器；40：拍摄部；42：第一拍摄部；421：第一棱镜；421a：一个端面；421b：另一个端面；422：第一成像透镜；423：第一光纤；423a：一个端面；423b：另一个端面；44：第二拍摄部；441：第二棱镜；441a：一个端面；441b：另一个端面；442：第二成像透镜；443：第二光纤；443a：一个端面；443b：另一个端面；46：第三拍摄部；462：第三成像透镜；463：第三光纤；463a：一个端面；463b：另一个端面；47：准直透镜；48；成像透镜；49：聚光透镜；50：脉冲光源；60：照相机；70：分束器；72：反射面；100：控制单元；110：存储部；W：晶片；T：划片带；F：框架。具体实施方式以下，参照附图对本专利技术实施方式的切削装置进行详细说明。如图所示，由图1所示的切削装置1加工的被加工物例如是借助划片带T而被环状的框架F保持的半导体的晶片W。切削装置1具有：大致长方体形状的壳体1A；盒4A，其载置于壳体1A的盒载置区域4；搬出搬入机构3，其将作为被加工物的晶片W从盒4A搬出到暂放工作台5上；保持单元10，其对晶片W进行保持；搬送机构6，其具有回旋臂，该回旋臂将搬出到暂放工作台5上的晶片W搬送并载置于保持单元10的卡盘工作台10a上；拍摄单元11，其对载置并保持在卡盘工作台10a上的晶片W进行拍摄；切削单元20，其对晶片W实施切削加工；搬送机构13，其用于将实施了切削加工的晶片W从卡盘工作台10a搬送到清洗位置；监视器35，其显示各种信息；以及操作面板14，其用于供作业者设定加工条件等。此外，在切削装置1的壳体1A的内部具有使保持单元10在图中箭头X所示本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种切削装置，其中，/n该切削装置具有：/n卡盘工作台，其对被加工物进行保持；/n切削单元，其包含切削刀具，该切削刀具呈环状地配设有对该卡盘工作台所保持的该被加工物进行切削的切削刃；/n监视单元，其对该切削刀具的该切削刃进行监视；以及/n监视器，/n该监视单元具有：/n拍摄部，其对该切削刀具的该切削刃进行拍摄；/n脉冲光源，其发出脉冲光，对该拍摄部的拍摄区域进行照明；以及/n照相机，其捕捉该拍摄部发出的图像，/n该拍摄部包含：/n第一拍摄部，其对该切削刀具的该切削刃的一个侧面进行拍摄；以及/n第二拍摄部，其对该切削刀具的该切削刃的另一个侧面进行拍摄，/n该第一拍摄部包含：/n第一棱镜，其具有与该切削刃的一个侧面面对的一个端面；/n第一成像透镜，其配设于该第一棱镜的另一个端面；以及/n第一光纤，其传递第一图像，该第一光纤的一个端面与该第一成像透镜连结，/n该第二拍摄部包含：/n第二棱镜，其具有与该切削刃的另一个侧面面对的一个端面；/n第二成像透镜，其配设于该第二棱镜的另一个端面；以及/n第二光纤，其传递第二图像，该第二光纤的一个端面与该第二成像透镜连结，/n从该第一光纤的另一个端面发出的该第一图像和从该第二光纤的另一个端面发出的该第二图像被传递到该照相机并显示在该监视器上。/n...

【技术特征摘要】
20200129 JP 2020-0127131.一种切削装置，其中，
该切削装置具有：
卡盘工作台，其对被加工物进行保持；
切削单元，其包含切削刀具，该切削刀具呈环状地配设有对该卡盘工作台所保持的该被加工物进行切削的切削刃；
监视单元，其对该切削刀具的该切削刃进行监视；以及
监视器，
该监视单元具有：
拍摄部，其对该切削刀具的该切削刃进行拍摄；
脉冲光源，其发出脉冲光，对该拍摄部的拍摄区域进行照明；以及
照相机，其捕捉该拍摄部发出的图像，
该拍摄部包含：
第一拍摄部，其对该切削刀具的该切削刃的一个侧面进行拍摄；以及
第二拍摄部，其对该切削刀具的该切削刃的另一个侧面进行拍摄，
该第一拍摄部包含：
第一棱镜，其具有与该切削刃的一个侧面面对的一个端面；
第一成像透镜，其配设于该第一棱镜的另一个端面；以及
第一光纤，其传递第一图像，该第一光纤的一个端面与该第一成像透镜连结，
该第二拍摄部包含：
第二棱镜，其具有与该切削刃的另一个侧面面对的一个端面；
第二成像透镜，其配设于该第二棱镜的另一个端面；以及
第二光纤，其传递第二图像，该第二光纤的一个端面与该第二成像透镜连结，
从该第一光纤的另一个端面发出的该第一图像和从该第二光纤的另一个端面发出的该第二图像被传递到该照相机并显示在该监视器上。


2.根据权利要求1所述的切削装置，其中，
该拍摄部还包含第三拍摄部，
该第三拍摄部包含：
第三成像透镜，其与该切削刃的外周端部面对；以及
第三光纤，其传递第三...

【专利技术属性】
技术研发人员：能丸圭司，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：日本;JP