带拒水拒油层的基材、蒸镀材料及带拒水拒油层的基材的制造方法技术

提供拒水拒油层的耐磨耗性优异的带拒水拒油层的基材、蒸镀材料及带拒水拒油层的基材的制造方法。本发明专利技术的带拒水拒油层的基材为依次具有基材、基底层和拒水拒油层的带拒水拒油层的基材，拒水拒油层由具有反应性甲硅烷基的含氟化合物的缩合物形成，基底层包含氧化物，所述氧化物包含硅和选自由钛、锆及铝组成的组中的至少1种元素，基底层中的钛、锆及铝的合计摩尔浓度相对于基底层中的硅的摩尔浓度的比为0.03～0.7。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】带拒水拒油层的基材、蒸镀材料及带拒水拒油层的基材的制造方法
本专利技术涉及带拒水拒油层的基材、蒸镀材料及带拒水拒油层的基材的制造方法。
技术介绍
为了对基材的表面赋予拒水拒油性、指纹污迹去除性、润滑性(用手指接触时的滑动性)等，已知有通过使用具有聚(氧全氟亚烷基)链及水解性甲硅烷基的含氟化合物的表面处理在基材的表面形成由含氟化合物的缩合物形成的拒水拒油层。另外，对拒水拒油层要求耐磨耗性，因此为了改良基材与拒水拒油层之间的粘接性，在它们之间设置基底层。例如，专利文献1及2中公开了通过蒸镀在基材与拒水拒油层之间设置氧化硅层。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2014-218639号公报专利文献2：日本特开2012-72272号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题近年来，对拒水拒油层的要求性能变得更高，例如，要求耐磨耗性更优异的拒水拒油层。本专利技术人等对专利文献1及2中记载的具有基底层(氧化硅层)的带拒水拒油层的基材进行了评价，结果发现拒水拒油层的耐磨耗性有改善的余地。本专利技术是鉴于上述问题而作出的，其课题在于，提供拒水拒油层的耐磨耗性优异的带拒水拒油层的基材、蒸镀材料及带拒水拒油层的基材的制造方法。用于解决问题的方案本专利技术人等对上述课题进行了深入研究，结果发现：使用如下基底层时，可得到拒水拒油层的耐磨耗性优异的带拒水拒油层的基材，所述基底层含有包含硅和选自由钛、锆及铝组成的组中的至少1种元素的氧化物，且钛、锆及铝的合计摩尔浓度相对于硅的摩尔浓度的比在规定范围内。即，专利技术人等发现，通过以下的构成能够解决上述课题。[1]一种带拒水拒油层的基材，其依次具有：基材、基底层和拒水拒油层，前述拒水拒油层由具有反应性甲硅烷基的含氟化合物的缩合物形成，前述基底层包含氧化物，所述氧化物包含硅和选自由钛、锆及铝组成的组中的至少1种元素，前述基底层中的钛、锆及铝的合计摩尔浓度相对于前述基底层中的硅的摩尔浓度的比为0.03～0.7。[2]根据[1]所述的带拒水拒油层的基材，其中，前述氧化物包含硅和选自由钛及锆组成的组中的至少1种元素。[3]根据[1]所述的带拒水拒油层的基材，其中，前述氧化物包含硅和钛。[4]根据[1]～[3]中任一项所述的带拒水拒油层的基材，其中，前述氧化物还包含碱金属元素。[5]根据[4]所述的带拒水拒油层的基材，其中，前述碱金属元素的摩尔浓度相对于硅的摩尔浓度的比为1.0以下。[6]根据[1]～[5]中任一项所述的带拒水拒油层的基材，其中，前述含氟化合物为具有聚(氧氟亚烷基)链及反应性甲硅烷基的含氟醚化合物。[7]一种蒸镀材料，其用于拒水拒油层的基底层的形成，所述拒水拒油层由具有反应性甲硅烷基的含氟化合物的缩合物形成，前述蒸镀材料包含氧化物，所述氧化物包含硅和选自由钛、锆及铝组成的组中的至少1种元素，钛、锆及铝的合计摩尔浓度相对于硅的摩尔浓度的比为0.2～4。[8]根据[7]所述的蒸镀材料，其中，前述氧化物包含硅和选自由钛及锆组成的组中的至少1种元素。[9]根据[7]所述的蒸镀材料，其中，前述氧化物包含硅和钛。[10]根据[7]～[9]中任一项所述的蒸镀材料，其中，前述氧化物还包含碱金属元素。[11]根据[7]～[10]中任一项所述的蒸镀材料，其中，前述氧化物还包含选自由镍、铁、钼、及钨组成的组中的至少1种金属元素，前述金属元素的摩尔浓度相对于硅的摩尔浓度的比为0.01以下。[12]根据[7]～[11]中任一项所述的蒸镀材料，其为熔融体、烧结体或造粒体。[13]一种带拒水拒油层的基材的制造方法，所述带拒水拒油层的基材依次具有：基材、基底层和拒水拒油层，所述制造方法中，通过使用[7]～[12]中任一项所述的蒸镀材料的蒸镀法，在前述基材上形成前述基底层，前述基底层包含氧化物，所述氧化物包含硅和选自由钛、锆及铝组成的组中的至少1种元素，所述基底层中的钛、锆及铝的合计摩尔浓度相对于硅的摩尔浓度的比为0.03～0.7，接着，在前述基底层上形成前述拒水拒油层，所述拒水拒油层由具有反应性甲硅烷基的含氟化合物的缩合物形成。[14]一种带拒水拒油层的基材的制造方法，所述带拒水拒油层的基材依次具有：基材、基底层和拒水拒油层，所述制造方法中，通过使用涂布液的湿涂法，在前述基材上形成前述基底层，所述涂布液包含：选自由含有硅的化合物、含有钛的化合物、含有锆的化合物及含有铝的化合物组成的组中的至少一种化合物；和液体介质，所述基底层包含氧化物，所述氧化物包含硅和选自由钛、锆及铝组成的组中的至少1种元素，钛、锆及铝的合计摩尔浓度相对于硅的摩尔浓度的比为0.03～0.7，接着，在前述基底层上形成前述拒水拒油层，所述拒水拒油层由具有反应性甲硅烷基的含氟化合物的缩合物形成。专利技术的效果根据本专利技术，可以提供拒水拒油层的耐磨耗性优异的带拒水拒油层的基材、蒸镀材料及带拒水拒油层的基材的制造方法。附图说明图1为示意性地示出本专利技术的带拒水拒油层的基材的一例的截面图。具体实施方式本说明书中，将式(1)所示的单元记作“单元(1)”。其他式所示的单元也同样地记载。将式(2)所示的基团记作“基团(2)”。其他式所示的基团也同样地记载。将式(3)所示的化合物记作“化合物(3)”。其他式所示的化合物也同样地记载。本说明书中，对于“亚烷基可以具有A基团”这样的情况，亚烷基可以在亚烷基中的碳-碳原子间具有A基团，也可以与亚烷基-A基团-那样在末端具有A基团。本专利技术中的用语的含义如下。“2价的有机聚硅氧烷残基”为下式所示的基团。下式中的Rx为烷基(优选碳数1～10)或苯基。另外，g1为1以上的整数，优选1～9的整数、特别优选1～4的整数。“硅亚苯基骨架基团”为-Si(Ry)2PhSi(Ry)2-(其中，Ph为亚苯基，Ry为1价的有机基团。)所示的基团。作为Ry，优选烷基(优选碳数1～10)。“二烷基亚甲硅烷基”为-Si(Rz)2-(其中，Rz为烷基(优选碳数1～10)。)所示的基团。化合物的“数均分子量”通过利用1H-NMR及19F-NMR、以末端基团为基准求出氧氟亚烷基的数量(平均值)来算出。对于基底层中的各元素的含量，只要没有特别说明，则为通过基于使用离子溅射的X射线光电子能谱分析法(XPS)的深度方向分析测定的值。XPS分析中给出的各元素的含量为摩尔浓度(摩尔％)。具体而言，在XPS分析中，根据通过离子溅射得到的纵轴摩尔浓度(摩尔％)的深度方向分布，求出各元素中的基底层中的平均摩尔浓度(摩尔％)，将该值作为各元素的摩尔浓度(摩尔％)。需要说明的是，深度方向分布的测定间距采用利用膜厚已知的硅晶圆上热氧化膜(SiO2膜)的溅射速率算出的换算深度，优选1nm以下。对于蒸镀材料中的各元素的含量，只要没有特别说明，则为通过湿式分析测定的值。湿式分析中给出的各元素的含量为本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种带拒水拒油层的基材，其依次具有：基材、基底层和拒水拒油层，/n所述拒水拒油层由具有反应性甲硅烷基的含氟化合物的缩合物形成，/n所述基底层包含氧化物，所述氧化物包含硅和选自由钛、锆及铝组成的组中的至少1种元素，/n所述基底层中的钛、锆及铝的合计摩尔浓度相对于所述基底层中的硅的摩尔浓度的比为0.03～0.7。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20181113 JP 2018-213072;20181226 JP 2018-2431701.一种带拒水拒油层的基材，其依次具有：基材、基底层和拒水拒油层，
所述拒水拒油层由具有反应性甲硅烷基的含氟化合物的缩合物形成，
所述基底层包含氧化物，所述氧化物包含硅和选自由钛、锆及铝组成的组中的至少1种元素，
所述基底层中的钛、锆及铝的合计摩尔浓度相对于所述基底层中的硅的摩尔浓度的比为0.03～0.7。


2.根据权利要求1所述的带拒水拒油层的基材，其中，所述氧化物包含硅和选自由钛及锆组成的组中的至少1种元素。


3.根据权利要求1所述的带拒水拒油层的基材，其中，所述氧化物包含硅和钛。


4.根据权利要求1～3中任一项所述的带拒水拒油层的基材，其中，所述氧化物还包含碱金属元素。


5.根据权利要求4所述的带拒水拒油层的基材，其中，所述碱金属元素的摩尔浓度相对于硅的摩尔浓度的比为1.0以下。


6.根据权利要求1～5中任一项所述的带拒水拒油层的基材，其中，所述含氟化合物为具有聚(氧氟亚烷基)链及反应性甲硅烷基的含氟醚化合物。


7.一种蒸镀材料，其用于拒水拒油层的基底层的形成，所述拒水拒油层由具有反应性甲硅烷基的含氟化合物的缩合物形成，
所述蒸镀材料包含氧化物，所述氧化物包含硅和选自由钛、锆及铝组成的组中的至少1种元素，
钛、锆及铝的合计摩尔浓度相对于硅的摩尔浓度的比为0.2～4。


8.根据权利要求7所述的蒸镀材料，其中，所述氧化物包含硅和选自由钛及锆组成的组中的至少1种元素。


9.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：岩桥万江美，德永能仁，小平广和，石关健二，小林大介，穴泽阿沙子，富依勇佑，
申请(专利权)人：AGC株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP