一种掩膜板框架及掩膜板组件制造技术

本实用新型专利技术属于掩膜板技术领域，公开了一种掩膜板框架，用于支撑掩膜板，掩膜板框架包括基座和至少一组调整机构，基座上设置有窗口，掩膜板支撑于窗口处，调整机构滑动设置于基座上，并与掩膜板相连，每组调整机构均包括两组拉伸组件，两组拉伸组件均滑动设置于基座上并位于窗口的相对两侧，拉伸组件与掩膜板的对应侧相连，两组拉伸组件能够沿第一方向靠近或远离窗口，以将掩膜板拉紧或放松，通过两组拉伸组件将掩膜板拉紧，以对掩膜板的下垂形变进行拉伸调整，以提升蒸镀图形的精度，本实用新型专利技术还提供了一种掩膜板组件包括掩膜板框架以及支撑于掩膜板框架上的掩膜板，该掩膜板组件能够调整掩膜板的下垂形变，以提升蒸镀图形的精度。

【技术实现步骤摘要】
一种掩膜板框架及掩膜板组件
本技术涉及掩膜板
，尤其涉及一种掩膜板框架及掩膜板组件。
技术介绍
目前OLED(Organiclight-EmittingDiode，有机发光二极管)采用真空蒸镀技术制备有机发光层，在器件制备的过程中，有机材料通过高温蒸镀淀积在位于蒸发源上方的基板上，为使有机材料按照设计蒸镀到特定的位置上，在基板下方需使用金属掩膜板，通过金属掩膜板上留设的有效开口区域，有机材料能够沉积到背板上面，并形成预设图形，然而，由于金属掩膜板的厚度比较薄，在使用一段时间后，极易发生下垂变形，进而影响蒸镀图形的精度。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种掩膜板框架及掩膜板组件，以对掩膜板进行支撑，并能对掩膜板的下垂形变进行拉伸调整，进而提升蒸镀图形的精度。为达此目的，本技术采用以下技术方案：本技术提供一种掩膜板框架，用于支撑掩膜板，所述掩膜板框架包括基座和至少一组调整机构，所述基座上设置有窗口，所述掩膜板支撑于所述窗口处，所述调整机构滑动设置于所述基座上，并与所述掩膜板相连，每组所述调整机构均包括：两组拉伸组件，两组所述拉伸组件均滑动设置于所述基座上并位于所述窗口的相对两侧，所述拉伸组件与所述掩膜板的对应侧相连，两组所述拉伸组件能够沿第一方向靠近或远离所述窗口，以将所述掩膜板拉紧或放松。该掩膜板框架用于支撑掩膜板，掩膜板框架包括基座和至少一组调整机构，基座上设置有窗口，掩膜板支撑于窗口处，调整机构滑动设置于基座上，并与掩膜板相连，每组调整机构均包括两组拉伸组件，两组拉伸组件均滑动设置于基座上并位于窗口的相对两侧，拉伸组件与掩膜板的对应侧相连，两组拉伸组件能够沿第一方向靠近或远离窗口，以将掩膜板拉紧或放松，通过两组拉伸组件将掩膜板拉紧，以对掩膜板的下垂形变进行拉伸调整，以提升蒸镀图形的精度。作为优选，每组所述拉伸组件均对应设置有一组调节组件，每组所述调节组件与对应的所述拉伸组件传动连接，每组所述调节组件能够驱动对应的所述拉伸组件沿所述第一方向往复移动。每组调节组件与对应的拉伸组件传动连接，每组调节组件能够驱动对应的拉伸组件沿第一方向往复移动，使调节组件将掩膜板拉紧或放松，以对掩膜板的下垂形变进行拉伸调整。作为优选，每组所述拉伸组件均包括：滑动部，滑动设置于所述基座上，并与对应的所述调节组件传动连接；及连接部，连接于所述滑动部，并与所述掩膜板相连。拉伸组件通过滑动部滑动设置于基座上，该滑动部与对应的调节组件传动连接，以使调节组件能够驱动对应的拉伸组件沿第一方向往复移动，拉伸组件通过连接部与掩膜板相连，该连接部与滑动部相连，以使调节组件沿第一方向往复移动后，能够对掩膜板进行拉伸，该拉伸组件结构简单，易于制造。作为优选，每组所述调节组件包括：齿条，连接于所述滑动部，并沿所述第一方向延伸；齿轮，转动设置于所述基座内，并与所述齿条啮合连接，所述齿轮转动，以使所述齿条移动，并带动所述拉伸组件沿所述第一方向移动。齿轮齿条的传动效率和传动精度高，且齿轮齿条结构简单，易于制造，成本低。作为优选，所述基座上与每组所述滑动部均对应设置有一个凹槽，所述滑动部滑动设置于所述凹槽内。基座上的凹槽能够容置滑动部，以使基座的上表面较为平整，且美观。作为优选，每个所述凹槽的槽口上均盖设有覆盖部，所述覆盖部与对应的所述凹槽之间形成所述容置腔。凹槽的槽口上盖设的覆盖部能够与凹槽形成容置腔，以使滑动部容置于该容置腔内，该覆盖部能够将滑动部限制于凹槽，以防止滑动部滑出凹槽。作为优选，每组所述拉伸组件均对应设置有一组锁紧部，所述锁紧部能够选择性锁定所述拉伸组件。锁紧部能够对拉伸组件进行锁定，以防止调整好的掩膜板再次发生形变。作为优选，所述调整机构设置有两组，其中一组所述调整机构沿所述第一方向设置于所述基座上的相对的两侧，另一组所述调整机构沿第二方向设置于所述基座上的相对的两侧，所述第一方向与所述第二方向相垂直。从两个方向对掩膜板的下垂变形进行调整，能够提高对掩膜板的调整精度，同时还能使掩膜板受到两个方向上的拉伸力，使得掩膜板的受力更为均匀。一种掩膜板组件，包括所述掩膜板框架以及支撑于所述掩膜板框架上的掩膜板。该掩膜板组件能够调整掩膜板的下垂形变，以提升蒸镀图形的精度。作为优选，所述掩膜板上设置有开口区域，所述开口区域与所述掩膜板框架的所述窗口相对设置，所述掩膜板的位于所述开口区域的周向设置有加强结构。沿掩膜板开口区域的周向设置的加强结构，能够增强掩膜板的刚度，进而能够防止掩膜板发生下垂形变。本技术的有益效果：本技术提出的掩膜板框架用于支撑掩膜板，掩膜板框架包括基座和至少一组调整机构，基座上设置有窗口，掩膜板支撑于窗口处，调整机构滑动设置于基座上，并与掩膜板相连，每组调整机构均包括两组拉伸组件，两组拉伸组件均滑动设置于基座上并位于窗口的相对两侧，拉伸组件与掩膜板的对应侧相连，两组拉伸组件能够沿第一方向靠近或远离窗口，以将掩膜板拉紧或放松，通过两组拉伸组件将掩膜板拉紧，以对掩膜板的下垂形变进行拉伸调整，以提升蒸镀图形的精度。本技术提出的掩膜板组件包括掩膜板框架以及支撑于掩膜板框架上的掩膜板，该掩膜板组件能够调整掩膜板的下垂形变，以提升蒸镀图形的精度。附图说明图1是本技术提出的掩膜板框架支撑掩膜板的示意图一；图2是本技术提出的掩膜板框架支撑掩膜板的示意图二；图3是本技术提出的掩膜板框架支撑掩膜板时隐藏覆盖部的示意图；图4是本技术提出的基座的示意图；图5是本技术提出的拉伸组件和调节组件的结构示意图。图中：100、掩膜板框架；200、掩膜板；201、开口区域；202、加强结构；1、基座；11、窗口；12、凹槽；13、覆盖部；2、调整机构；21、拉伸组件；211、滑动部；212、连接部；22、调节组件；221、齿条；222、齿轮；23、锁紧部。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部结构。本技术提供的掩膜板框架用于支撑掩膜板，该掩膜板框架包括基座和至少一组调整机构，在本实施例中，为了能够从两个相互垂直的方向上对掩膜板进行调整，该调整机构设置了两组，如图1-图4所示，其中一组调整机构2沿第一方向(图1中箭头A的方向)设置于基座1上的相对的两侧，另一组调整机构2沿第二方向(图1中箭头B的方向)设置于基座1上的相对的两侧，第一方向与第二方向相垂直，从两个方向对掩膜板200的下垂变形进行调整，能够提高对掩膜板200的调整精度，同时还能使掩膜板200受到两个方向上的拉伸力，使得掩膜板200的受力本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掩膜板框架，其特征在于，用于支撑掩膜板(200)，所述掩膜板框架(100)包括基座(1)和至少一组调整机构(2)，所述基座(1)上设置有窗口(11)，所述掩膜板(200)支撑于所述窗口(11)处，所述调整机构(2)滑动设置于所述基座(1)上，并与所述掩膜板(200)相连，每组所述调整机构(2)均包括：/n两组拉伸组件(21)，两组所述拉伸组件(21)均滑动设置于所述基座(1)上并位于所述窗口(11)的相对两侧，所述拉伸组件(21)与所述掩膜板(200)的对应侧相连，两组所述拉伸组件(21)能够沿第一方向靠近或远离所述窗口(11)，以将所述掩膜板(200)拉紧或放松。/n

【技术特征摘要】
1.一种掩膜板框架，其特征在于，用于支撑掩膜板(200)，所述掩膜板框架(100)包括基座(1)和至少一组调整机构(2)，所述基座(1)上设置有窗口(11)，所述掩膜板(200)支撑于所述窗口(11)处，所述调整机构(2)滑动设置于所述基座(1)上，并与所述掩膜板(200)相连，每组所述调整机构(2)均包括：
两组拉伸组件(21)，两组所述拉伸组件(21)均滑动设置于所述基座(1)上并位于所述窗口(11)的相对两侧，所述拉伸组件(21)与所述掩膜板(200)的对应侧相连，两组所述拉伸组件(21)能够沿第一方向靠近或远离所述窗口(11)，以将所述掩膜板(200)拉紧或放松。


2.根据权利要求1所述的掩膜板框架，其特征在于，每组所述拉伸组件(21)均对应设置有一组调节组件(22)，每组所述调节组件(22)与对应的所述拉伸组件(21)传动连接，每组所述调节组件(22)能够驱动对应的所述拉伸组件(21)沿所述第一方向往复移动。


3.根据权利要求2所述的掩膜板框架，其特征在于，每组所述拉伸组件(21)均包括：
滑动部(211)，滑动设置于所述基座(1)上，并与对应的所述调节组件(22)传动连接；及
连接部(212)，连接于所述滑动部(211)，并与所述掩膜板(200)相连。


4.根据权利要求3所述的掩膜板框架，其特征在于，每组所述调节组件(22)包括：
齿条(221)，连接于所述滑动部(211)，并沿所述第一方向延伸；
齿轮(222)，转动设置于所述基座(1)内，并与所述齿条(221)啮合连...

【专利技术属性】
技术研发人员：高崇，梁舰，史晓波，冯敏强，
申请(专利权)人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32