一种掩膜板及其制备方法技术

本公开提供了一种掩膜板及其制备方法，该掩膜板包括：支撑架；与支撑架贴合设置的第一膜层；第二膜层，其设置在第一膜层远离支撑架的一侧，第二膜层的外边框不超出支撑架的外边框；其中，第二膜层的厚度小于第一膜层的厚度。本公开通过在第一膜层远离支撑架的一侧设置第二膜层，并且设置第二膜层的厚度小于第一膜层的厚度，通过第二膜层进行蒸镀，并且设置第二膜层的厚度小于第一膜层的厚度，此时第一膜层能够对第二膜层进行一定的支撑，以避免第二膜层因无法支撑自身重量导致第二膜层损坏，进而达到减小掩膜板的膜厚减薄区域的目的，进而实现减小显示面板的边框的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种掩膜板及其制备方法
本公开涉及掩膜板
，具体而言，涉及一种掩膜板及其制备方法。
技术介绍
在制备显示面板过程中，需要将各层有机发光材料蒸镀到基板上，蒸镀过程会使用相应的金属掩膜板，其中，公共层的掩膜板用于蒸镀公共层的有机或金属材料。为了确保能够将有机材料准确的蒸镀到基板相应的位置上，需要将掩膜板与基板完全贴合，进而传统的掩膜板制备过程中，对膜层进行张网工艺，再将张网工艺后在支撑架上处于拉伸状态的膜层焊接到支撑架上以组装成一张完整的掩膜板，详见图1。如图2所示，掩膜板的膜厚减薄区域L和H相关，具体地，为了确保蒸镀过程中蒸镀材料的利用率，需要保证θ处于一定的范围内，因此导致随着H减小，L也会相应的减小。但目前在G6H世代线(现有生产工艺线)上可实现的膜层Sheet1的厚度最薄能够达到100um，很难继续减薄，因此，受材料本身的影响，H的实现靠刻蚀工艺，最小值约20-30um，难以减小，也即L无法减小，进而导致显示面板的边框仍较大。
技术实现思路
有鉴于此，本公开的目的在于提供一种掩膜板及其制备方法，能够解决传统技术中掩膜板的膜厚减薄区域无法减小导致显示面板的边框仍较大的问题。第一方面，本公开提供了一种掩膜板，其中，包括：支撑架；与所述支撑架贴合设置的第一膜层；第二膜层，其设置在所述第一膜层远离所述支撑架的一侧，所述第二膜层的外边框不超出所述支撑架的外边框；其中，所述第二膜层的厚度小于所述第一膜层的厚度。在一种可能的实施方式中，所述第二膜层由多个第一子膜层组成，所述第一子膜层上设置有蒸镀孔，多个所述第一子膜层相互不重叠。在一种可能的实施方式中，所述第一膜层的蒸镀孔的位置与所述第二膜层的蒸镀孔的位置对应，所述第一膜层的蒸镀孔大于或等于所述第二膜层的蒸镀孔。在一种可能的实施方式中，所述第二膜层由多个第二子膜层组成，所述第二子膜层上未设置蒸镀孔，所述第二子膜层覆盖第一膜层中的非蒸镀孔区域。在一种可能的实施方式中，第一方向上的每个第二子膜层与第二方向上的每个第二子膜层均存在重叠区域，所述第一方向和所述第二方向相互垂直。在一种可能的实施方式中，所述第一子膜层设置在所述支撑架的第一焊接区域，所述第一膜层设置在所述支撑架的第二焊接区域，所述第一焊接区域和所述第二焊接区域相互独立。在一种可能的实施方式中，所述第一焊接区域的支撑架其厚度大于所述第二焊接区域的支撑架的厚度。第二方面，本公开还提供了一种掩膜板的制备方法，用于制造第一方面中任意所述的掩膜板，其包括：在支撑架的第二焊接区域上张网第一膜层；在所述第一膜层远离所述支撑架的一侧张网第二膜层，得到掩膜板，所述第二膜层的外边框不超出所述支撑架的外边框；其中，所述第二膜层的厚度小于所述第一膜层的厚度。在一种可能的实施方式中，所述在所述第一膜层远离所述支撑架的一侧张网第二膜层，包括：将多个第一子膜层分别张网至所述第一膜层远离所述支撑架的一侧，并将所述第一子膜层焊接在所述支撑架的第一焊接区域上，使得所述第一膜层的蒸镀孔的位置与所述第二膜层的蒸镀孔的位置对应；设置所述第一膜层的蒸镀孔大于或等于所述第二膜层的蒸镀孔；多个所述第二子膜层相互不重叠。在一种可能的实施方式中，所述在所述第一膜层远离所述支撑架的一侧张网第二膜层，还包括：将多个第二子膜层分别张网至所述第一膜层远离所述支撑架的一侧的非蒸镀孔区域的第一方向和第二方向上，并将所述第二子膜层焊接在所述支撑架的第一焊接区域上；所述第一方向和所述第二方向相互垂直。本公开实施例通过在第一膜层远离支撑架的一侧设置第二膜层，通过第二膜层进行蒸镀，并且设置第二膜层的厚度小于第一膜层的厚度，此时第一膜层能够对第二膜层进行一定的支撑，以避免第二膜层因无法支撑自身重量导致第二膜层损坏，进而达到减小掩膜板的膜厚减薄区域的目的，进而实现减小显示面板的边框的目的。为使本公开的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。附图说明为了更清楚地说明本公开或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1示出了传统制备方法制备掩膜板的结构示意图；图2示出了传统掩膜板的截面示意图；图3示出了本公开实施例所提供的一种掩膜板的截面图；图4示出了本公开实施例所提供的一种掩膜板中第二膜层的第一种结构的示意图；图5示出了本公开实施例所提供的一种掩膜板中第二膜层的第二种结构的示意图；图6示出了本公开实施例所提供的一种掩膜板中支撑架的示意图；图7示出了本公开实施例所提供的一种掩膜板中第一膜层的示意图；图8示出了本公开实施例所提供的一种掩膜板的制备方法的流程图；图9示出了本公开实施例所提供的一种掩膜板的制备方法中在第一膜层远离支撑架的一侧张网第二膜层的流程图；图10a-10d示出了本公开实施例在制备第一种结构的第二膜层的过程中的结构示意图；图11a-11g示出了本公开实施例在制备第二种结构的第二膜层的过程中的结构示意图。附图标记：1-支撑架；2-第一膜层；3-第二膜层；31-第一子膜层；32-第二子膜层。具体实施方式为了使得本公开的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开的附图，对本公开的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本公开的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本公开的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。为了保持本公开的以下说明清楚且简明，本公开省略了已知功能和已知部件的详细说明。本公开第一方面提供一种掩膜板，参照图3示出的截面图可知，该掩膜板包括支撑架1，通常为利用金属材料制备形成的框架；该掩膜板还包括与支撑架1贴合设置的第一膜层2，该第一膜层2的材料可以设置为不锈钢、铁镍合金等，支撑架1用于支撑第一膜层2。进一步地，本公开实施例本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掩膜板，其特征在于，包括：/n支撑架；/n与所述支撑架贴合设置的第一膜层；/n第二膜层，其设置在所述第一膜层远离所述支撑架的一侧，所述第二膜层的外边框不超出所述支撑架的外边框；/n其中，所述第二膜层的厚度小于所述第一膜层的厚度。/n

【技术特征摘要】
1.一种掩膜板，其特征在于，包括：
支撑架；
与所述支撑架贴合设置的第一膜层；
第二膜层，其设置在所述第一膜层远离所述支撑架的一侧，所述第二膜层的外边框不超出所述支撑架的外边框；
其中，所述第二膜层的厚度小于所述第一膜层的厚度。


2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第二膜层由多个第一子膜层组成，所述第一子膜层上设置有蒸镀孔，多个所述第一子膜层相互不重叠。


3.根据权利要求2所述的掩膜板，其特征在于，所述第一膜层的蒸镀孔的位置与所述第二膜层的蒸镀孔的位置对应，所述第一膜层的蒸镀孔大于或等于所述第二膜层的蒸镀孔。


4.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第二膜层由多个第二子膜层组成，所述第二子膜层上未设置蒸镀孔，所述第二子膜层覆盖第一膜层中的非蒸镀孔区域。


5.根据权利要求4所述的掩膜板，其特征在于，第一方向上的每个第二子膜层与第二方向上的每个第二子膜层均存在重叠区域，所述第一方向和所述第二方向相互垂直。


6.根据权利要求1至5中任意项所述的掩膜板，其特征在于，所述第一子膜层设置在所述支撑架的第一焊接区域，所述第一膜层设置在所述支撑架的第二焊接区域，所述第一焊接区域和所述第二焊接区域相互独立。


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【专利技术属性】
技术研发人员：刘肖楠，李军，陈颖冰，张磊，田杰，张楠，严涛，伍青峰，张文畅，安廷猎，马超，郭登俊，胡斌，陶欢，李建斌，郑安辉，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，成都京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11