一种掩膜板的张网方法技术

本发明专利技术公开了一种掩膜板的张网方法，包括：获取掩膜板框架所含各边框的边界参数；根据各边框的边界参数确定坐标原点，并根据被张网设备施加对抗力的两个边框的边界参数，确定与两个边框的中垂线夹角最小的方向为X坐标轴，与X坐标轴垂直的方向为Y坐标轴，以建立掩膜板框架的坐标系；调节掩膜板框架与张网设备的相对位置，直至掩膜板框架的坐标系与张网设备的坐标系重合，实现掩膜板框架与张网设备之间的对位；在张网设备的坐标系下，采用张网设备将掩膜板固定在掩膜板框架上。

【技术实现步骤摘要】
一种掩膜板的张网方法
本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种掩膜板的张网方法。
技术介绍
当前，普遍采用的蒸镀掩膜板(Mask)张网，蒸镀坐标建立方式是通过抓取掩膜板框架(Frame)制造厂在制作Frame时通过钻孔方式加工的四个对位孔做粗对位，调整钻孔位置到设定位置(spec)后建立坐标系，进行对抗力施加、并将对位掩膜板(Alignmask)和精细金属掩膜板(FMMmask)张网固定在Frame上。该方法存在如下问题：1、坐标系建立位置受Frame厂商钻孔定位方式，钻孔加工准确度的影响。同厂商不同批次Frame间，不同厂商之间往往坐标系建立偏差较大，导致张网参数适用性降低。Frame厂商定位加工钻孔位置，需要通过获取Frame边框若干点位在设备坐标系下的信息按照一定方法建立坐标系；获取点位数量，位置不同，设备定位精度不同，加工坐标系原点计算方法不同，加工坐标系正方向定义不同，均会对最终孔加工结果造成影响。2、该方法只能对孔进行定位，无法匹配Frame真实状态，对于加工有平行四边形或旋转定位(孔加工坐标系和Frame夹本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掩膜板的张网方法，其特征在于，包括：/n获取掩膜板框架所含各边框的边界参数；/n根据所述各边框的边界参数确定坐标原点，并根据被张网设备施加对抗力的两个边框的边界参数，确定与所述两个边框的中垂线夹角最小的方向为X坐标轴，与所述X坐标轴垂直的方向为Y坐标轴，以建立所述掩膜板框架的坐标系；/n调节所述掩膜板框架与所述张网设备的相对位置，直至所述掩膜板框架的坐标系与所述张网设备的坐标系重合，实现所述掩膜板框架与所述张网设备之间的对位；/n在所述张网设备的坐标系下，采用所述张网设备将所述掩膜板固定在所述掩膜板框架上。/n

【技术特征摘要】
1.一种掩膜板的张网方法，其特征在于，包括：
获取掩膜板框架所含各边框的边界参数；
根据所述各边框的边界参数确定坐标原点，并根据被张网设备施加对抗力的两个边框的边界参数，确定与所述两个边框的中垂线夹角最小的方向为X坐标轴，与所述X坐标轴垂直的方向为Y坐标轴，以建立所述掩膜板框架的坐标系；
调节所述掩膜板框架与所述张网设备的相对位置，直至所述掩膜板框架的坐标系与所述张网设备的坐标系重合，实现所述掩膜板框架与所述张网设备之间的对位；
在所述张网设备的坐标系下，采用所述张网设备将所述掩膜板固定在所述掩膜板框架上。


2.如权利要求1所述的张网方法，其特征在于，获取掩膜板框架所含各边框的边界参数，具体包括：
测量所述掩膜板框架所含各边框的边界在所述张网设备的坐标系下的坐标点。


3.如权利要求2所述的张网方法，其特征在于，根据所述各边框的边界参数确定坐标原点，具体包括：
分别对所述各边框的所述坐标点进行直线拟合，并将每相对设置的两条拟合线段中点所在直线的交点作为坐标原点。


4.如权利要求2所述的张网方法，其特征在于，根据被张网设备施加对抗力的两个边框的边界参数，确定与所述两个边框的中垂线夹角最小的方向为X坐标轴，具体包括：
对被张网设备施加对抗力的两个边框的边界参数进行直线拟合，并以两条拟合线段的中垂线表征所述两个边框的中垂线；
确定与所述两条拟合线段的中垂线夹角最小的方向为X坐标轴。


5.如权利要求4所述的张网方法，其特征在于，确定与所述两条拟合线段的中垂线夹角最小的方向为X坐标轴，具体包括：
所述两条拟合线段的中垂线相互平行时，确定所述两条拟合线段的中垂线的延伸方向为X坐标轴。

【专利技术属性】
技术研发人员：马超，黄世花，张文畅，李烁辉，杜志林，易烁文，韩帅，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，成都京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11