废气处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体制造技术领域，尤其涉及废气处理装置，包括反应件和溢流件，反应件的内部构造有反应腔和用于流通冷却水的冷却腔，冷却腔环绕于反应腔外侧设置，溢流件的内部构造有溢流腔，溢流件与反应件连接，以使溢流腔与反应腔连通。废气由外部设备进入反应腔中进行高温处理，半导体制造设备产生的循环水作为冷却水通入冷却腔内，降低反应件外壁的温度，使装置在处理废气时安全可靠。反应件的下端连接溢流件的上端，废气在反应腔中反应后可直接进入溢流腔内，再次进行处理，溢流腔的内壁沿周向都有水溢出，保护溢流件的内壁不被废气中携带的粉尘堵塞。

【技术实现步骤摘要】
废气处理装置
本技术涉及半导体制造
，尤其涉及废气处理装置。
技术介绍
随着半导体在生产过程中会产生半导体废气，这种气体不但对人体以及环境危害严重，且具有可燃性、爆炸性，及腐蚀性，站在保护生活环境以及永续经营的立场而言，必须使废气经过特殊处理，消除废气的有害性，才得以排放至环境中。不过由于半导体企业内部设施的限制，废气处理设备也需要满足各类需求。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种废气处理装置，废气由外部设备进入反应腔中进行高温处理，半导体制造设备产生的循环水作为冷却水通入冷却腔内，降低反应件外壁的温度，使装置在处理废气时安全可靠。反应件的下端连接溢流件的上端，废气在反应腔中反应后可直接进入溢流腔内，再次进行处理，溢流腔的内壁沿周向都有水溢出，保护溢流件的内壁不被废气中携带的粉尘堵塞。根据本技术第一方面实施例的废气处理装置，包括反应件和溢流件，所述反应件的内部构造有反应腔和用于流通冷却水的冷却腔，所述冷却腔环绕于所述反应腔外侧设置，所述溢流件的内部构造有溢流腔，所述溢流件与所述反应件连接，以使所述溢流腔与所述反应腔连通。根据本技术的一个实施例，所述溢流件在与所述反应件连接的一端的外侧套设有套环，所述套环的至少一个端部与所述溢流件的外壁之间封闭，以使所述套环的内侧与所述溢流件的外壁之间形成环槽，所述环槽与所述溢流腔连通。根据本技术的一个实施例，所述套环的下端与所述溢流件的外壁封闭连接，所述套环的上端与所述溢流件的外壁之间敞开形成开口，且所述套环的上端高于其所述环绕的所述溢流件的端部。根据本技术的一个实施例，所述反应件的内部还构造有过渡腔，所述过渡腔位于所述反应腔与所述冷却腔之间，且所述过渡腔的上端与所述冷却腔连通，所述过渡腔的下端与所述环槽的所述开口连通。根据本技术的一个实施例，所述反应件包括内筒体与外筒体，所述外筒体套设于所述内筒体的外侧，所述外筒体包括第一壳体与第二壳体，所述第一壳体套设于所述第二壳体的外侧，所述筒体的内部为所述反应腔，所述第一壳体与所述第二壳体之间形成所述冷却腔，所述第二壳体与所述内筒体之间形成所述过渡腔。根据本技术的一个实施例，所述第二壳体与所述套环连接。根据本技术的一个实施例，所述反应腔的内壁上设有保温层。根据本技术的一个实施例，所述溢流件上还有可拆卸的喷嘴，所述喷嘴伸入所述溢流腔内。根据本技术的一个实施例，所述反应件与所述溢流件通过法兰连接。根据本技术的一个实施例，所述反应腔与所述溢流腔之间设有隔板，所述隔板上具连通所述溢流腔与所述反应腔的通孔。本技术实施例中的上述一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果：本技术实施例的废气处理装置，反应件的内部构造有反应腔和冷却腔，冷却腔环绕设置在反应腔的外侧，反应腔内为高温状态，废气由外部设备进入反应腔中进行高温处理，半导体制造设备产生的循环水作为冷却水通入冷却腔内，降低反应件外壁的温度，使装置在处理废气时安全可靠。反应件的下端连接溢流件的上端，溢流件的内部具有与反应前管连通的溢流腔，废气在反应腔中反应后可直接进入溢流腔内，再次进行处理，溢流腔的内壁沿周向都有水溢出，保护溢流件的内壁不被废气中携带的粉尘堵塞。除了上面所描述的本技术解决的技术问题、构成的技术方案的技术特征以及有这些技术方案的技术特征所带来的优点之外，本技术的其他技术特征及这些技术特征带来的优点，将结合附图作出进一步说明，或通过本技术的实践了解到。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本技术实施例废气处理装置结构示意图；图2是本技术实施例废气处理装置的主视结构示意图；图3是本技术实施例废气处理装置的俯视结构示意图。附图标记：1：反应件；11：反应腔；12：冷却腔；13：过渡腔；14：内筒体；15：第一壳体；16：第二壳体；2：溢流件；21：溢流腔；3：套环；31：环槽；4：保温层；5：喷嘴；6：法兰；7：隔板；71：通孔。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不能用来限制本技术的范围。在本技术实施例的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术实施例的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术实施例中的具体含义。在本技术实施例中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本技术实施例的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。如图1和图2所示，本技术实施例提供的废气处理装置，包括反应件1和溢流件2，反应件1的内部构造有反应腔11和用于流通冷却水的冷却腔12，冷却腔12环绕于反应腔11外侧设置，溢流件2的内部构造有溢流腔21，溢流件2与反应件1连接，以使溢流腔21与反应腔本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种废气处理装置，其特征在于：包括反应件和溢流件，所述反应件的内部构造有反应腔和用于流通冷却水的冷却腔，所述冷却腔环绕于所述反应腔外侧设置，所述溢流件的内部构造有溢流腔，所述溢流件与所述反应件连接，以使所述溢流腔与所述反应腔连通。/n

【技术特征摘要】
1.一种废气处理装置，其特征在于：包括反应件和溢流件，所述反应件的内部构造有反应腔和用于流通冷却水的冷却腔，所述冷却腔环绕于所述反应腔外侧设置，所述溢流件的内部构造有溢流腔，所述溢流件与所述反应件连接，以使所述溢流腔与所述反应腔连通。


2.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于：所述溢流件在与所述反应件连接的一端的外侧套设有套环，所述套环的至少一个端部与所述溢流件的外壁之间封闭，以使所述套环的内侧与所述溢流件的外壁之间形成环槽，所述环槽与所述溢流腔连通。


3.根据权利要求2所述的废气处理装置，其特征在于：所述套环的下端与所述溢流件的外壁封闭连接，所述套环的上端与所述溢流件的外壁之间敞开形成开口，且所述套环的上端高于其所述环绕的所述溢流件的端部。


4.根据权利要求3所述的废气处理装置，其特征在于：所述反应件的内部还构造有过渡腔，所述过渡腔位于所述反应腔与所述冷却腔之间，且所述过渡腔的上端与所述冷却腔连通，所述过渡腔的下端与所述环槽的所述开口连通。
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【专利技术属性】
技术研发人员：章文军，杨春水，张坤，宁腾飞，陈彦岗，杨春涛，王继飞，闫萧，蔡传涛，席涛涛，何磊，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11