微机电麦克风及电子设备制造技术

这里公开了一种微机电麦克风及电子设备。微机电麦克风包括：上壳；基座，包括声孔，并且与上壳一起形成微机电麦克风的壳体；麦克风衬底，被设置在基座上方并包括至少两个第一开孔，所述至少两个第一开孔与所述声孔连通；以及至少两个麦克风单元，形成在衬底上并且分别与所述第一开孔相对应，其中，所述至少两个麦克风单元在声学上并联设置在所述麦克风衬底上，所述至少两个麦克风单元分别包括振膜和背极板，所述振膜和第一开孔的侧壁围成麦克风前腔的至少一部分，以及所述至少两个麦克风单元在电路上串联。在电路上串联。在电路上串联。

【技术实现步骤摘要】
微机电麦克风及电子设备


[0001]这里公开的实施例涉及微机电(MEMS)麦克风
，以及具体涉及一种微机电麦克风及电子设备。

技术介绍

[0002]微机电麦克风被广泛应用于各种电子设备，例如，智能手机、平板电脑、车载智能系统、智能音箱等。
[0003]图1示出了一个微机电麦克风的示意图。如图1所示，微机电麦克风包括上壳101和基座102。上壳101和基座102共同构成微机电麦克风的壳体。在基座102中有声孔103。在基座上设置麦克风衬底104。麦克风衬底104的开孔与与声孔103相对。在麦克风衬底104上设置麦克风单元105。麦克风单元105包括振膜和背极板。在麦克风单元105中的振膜和麦克风衬底104的开孔侧壁之前形成微机电麦克风的前腔104a。麦克风单元105通过引线106与麦克风集成电路ASIC 107连接。

技术实现思路

[0004]本公开的一个目的是提供的用于微机电麦克风的新技术方案。
[0005]根据本公开的第一方面，提供了一种微机电麦克风，包括：上壳；基座，包括声孔，并且与上壳一起形成微机电麦本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微机电麦克风，包括：上壳；基座，包括声孔，并且与上壳一起形成微机电麦克风的壳体；麦克风衬底，被设置在基座上方并包括至少两个第一开孔，所述至少两个第一开孔与所述声孔连通；以及至少两个麦克风单元，形成在衬底上并且分别与所述第一开孔相对应，其中，所述至少两个麦克风单元在声学上并联设置在所述麦克风衬底上，其中，所述至少两个麦克风单元分别包括振膜和背极板，所述振膜和第一开孔的侧壁围成麦克风前腔的至少一部分，以及其中，所述至少两个麦克风单元在电路上串联。2.根据权利要求1所述的微机电麦克风，还包括：垫高衬底，其中，所述垫高衬底位于麦克风衬底和所述基座之间，其中，所述垫高衬底包括第二开孔，以及所述至少两个第一开孔经由所述第二开孔与所述声孔连通。3.根据权利要求2所述的微机电麦克风，其中，所述第二开孔的横截面面积大于所述第一开孔的横截面的总面积。4.根据权利要求3所述的微机电麦克风，其中，所述第一开孔的横截面区域位于所述第二开孔的横截面区域的...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹泉波，邱冠勋，王喆，
申请(专利权)人：歌尔微电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：