一种MEMS麦克风结构制造技术

本实用新型专利技术提供一种MEMS麦克风结构，该MEMS麦克风结构包括基板、振膜及支架，其中，所述基板中设有在垂直方向上贯穿所述基板的空腔；所述振膜悬设于所述空腔上方，所述振膜包括折叠结构，所述折叠结构在垂直方向上来回弯折；所述支架连接于所述振膜与所述基板之间，且所述折叠结构与所述振膜的中心之间的距离小于所述支架与所述振膜的中心之间的距离。本实用新型专利技术中，振膜包括用于增加振膜柔性程度和降低振膜内应力的折叠结构，且所述折叠结构呈直角弯折，当为了达到更好的应力释放效果而增加折叠结构的数量时，相比于弧形结构，本实用新型专利技术能够有效减小折叠区域所占用的振膜面积。新型能够有效减小折叠区域所占用的振膜面积。新型能够有效减小折叠区域所占用的振膜面积。

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS麦克风结构


[0001]本技术属于麦克风
，涉及一种MEMS麦克风结构。

技术介绍

[0002]现今的智能手机和智能音箱中使用的都是用MEMS(Micro
‑
Electro
‑
Mechanical System，微机电系统)技术制造的麦克风。这种麦克风具有体积小、功耗低、性能优异、一致性好、便于装配等特点。MEMS麦克风的核心部件是一层可以往复振动的柔性振膜。振膜的柔性程度和振膜内应力均会影响麦克风的最终性能。

技术实现思路

[0003]鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种MEMS麦克风结构，用于解决现有技术中MEMS麦克风的振膜不够柔软、振膜内应力高的问题。
[0004]为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种MEMS麦克风结构，包括：
[0005]基板，所述基板中设有在垂直方向上贯穿所述基板的空腔；
[0006]振膜，悬设于所述空腔上方，所述振膜包括折叠结构，所述折叠结构在垂直方向上来回弯折；
[0007]支架，连接于所述振本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MEMS麦克风结构，其特征在于，包括：基板，所述基板中设有在垂直方向上贯穿所述基板的空腔；振膜，悬设于所述空腔上方，所述振膜包括折叠结构，所述折叠结构在垂直方向上来回弯折；支架，连接于所述振膜与所述基板之间，且所述折叠结构与所述振膜的中心之间的距离小于所述支架与所述振膜的中心之间的距离。2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风结构，其特征在于：所述折叠结构呈直角弯折。3.根据权利要求1所述的MEMS麦克风结构，其特征在于：所述折叠结构的底面低于所述振膜除所述折叠结构以外的区域的底面。4.根据权利要求1所述的MEMS麦克风结构，其特征在于：所述振膜包括在水平方向上由内而外依次设置的2
‑
10个所述折叠结构。5.根据权利要求1所述的MEMS麦克风结构，其特征在于：所述折叠结构呈连续的环状或断续的环状。6.根据权利要求5所述的MEMS麦克风结构，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：王青松，
申请(专利权)人：瑶芯微电子科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：