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本实用新型提供一种MEMS麦克风结构，该MEMS麦克风结构包括基板、振膜及支架，其中，所述基板中设有在垂直方向上贯穿所述基板的空腔；所述振膜悬设于所述空腔上方，所述振膜包括折叠结构，所述折叠结构在垂直方向上来回弯折；所述支架连接于所述振膜与...
该专利属于瑶芯微电子科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑶芯微电子科技（上海）有限公司授权不得商用。

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