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微机电麦克风及电子设备制造技术
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文档序号:29291325
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这里公开了一种微机电麦克风及电子设备。微机电麦克风包括:上壳;基座,包括声孔,并且与上壳一起形成微机电麦克风的壳体;麦克风衬底,被设置在基座上方并包括至少两个第一开孔,所述至少两个第一开孔与所述声孔连通;以及至少两个麦克风单元,形成在衬底上...
该专利属于歌尔微电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过歌尔微电子股份有限公司授权不得商用。
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