本实用新型专利技术公开了一种晶圆贴片环加工旋转装置，包括活动块，所述活动块的内部开设有容纳槽，所述活动块的顶部分别开设有滑槽和凹槽，所述容纳槽内壁的底部转动连接有驱动盘，所述驱动盘的中部开设有驱动槽，所述驱动槽的内壁活动连接有活动柱，所述活动柱的顶部通过轴承转动连接有固定杆。本实用新型专利技术通过转动驱动盘，并使得驱动盘带动驱动槽转动，通过活动柱配合固定杆和滑槽，使得驱动槽会带动活动柱和固定杆沿着滑槽的方向直线移动，从而使得当驱动盘转动时，会使得驱动槽带动三个活动柱相互靠近，并使得三个固定杆将晶圆贴片环进行固定，从而实现了便于根据不同尺寸的晶圆贴片环进行固定，以提高该装置适用性的目的。以提高该装置适用性的目的。以提高该装置适用性的目的。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆贴片环加工旋转装置
[0001]本技术涉及晶圆贴片环加工设备领域，具体为一种晶圆贴片环加工旋转装置。
技术介绍
[0002]在半导体晶圆加工中，会使用一种晶圆贴片环。该晶圆贴片环先于其中一个表面黏贴一层胶膜，以刀具切割去除多余胶膜，将晶圆贴片环以胶膜黏固着晶圆，以利后续加工作业顺利进行，该胶膜也能避免晶圆贴片环刮伤晶圆。在每次使用后，先以清洁浸润装置溶解晶圆贴片环表面的残胶，再由一刮除装置进行后续残胶刮除作业。最后以人工目视方式确认是否完全除胶、表面是否有刮伤或变形，检验合格就待下次再度使用，晶圆贴片环进行加工时需要固定晶圆贴片环并带动晶圆贴片环转动。
[0003]但是现有技术在实际使用时，不便于根据不同尺寸的晶圆贴片环进行固定，适用性较低。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种晶圆贴片环加工旋转装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：包括活动块，所述活动块的内部开设有容纳槽，所述活动块的顶部分别开设有滑槽和凹槽，所述容纳槽内壁的底部转动连接有驱动盘，所述驱动盘的中部开设有驱动槽，所述驱动槽的内壁活动连接有活动柱，所述活动柱的顶部通过轴承转动连接有固定杆，且固定杆活动连接在滑槽的内壁，所述固定杆的表面固定连接有传动轮，所述传动轮的表面传动连接有传动带，所述传动带远离传动轮位置的一端传动连接有调节辊，所述调节辊的顶部和底部均分别固定连接有固定座，两个所述固定座相对面的一端固定连接有连接板，且连接板远离调节辊位置的一端固定连接有第一伸缩杆，且第一伸缩杆固定连接在容纳槽的内壁，所述第一伸缩杆的表面固定连接有第一阻尼弹簧。
[0006]优选的，所述滑槽和凹槽的内部相连通，且凹槽为锥形结构，其中一个所述活动柱的内部固定嵌入有驱动电机，且驱动电机的输出轴固定连接在固定杆的底部。
[0007]优选的，所述驱动槽为等边三角形结构，所述活动柱的数量为三个，且三个活动柱圆心之间的连线为等边三角形。
[0008]优选的，所述驱动盘的表面啮合有蜗杆，所述活动块相对应蜗杆位置的表面开设有活动槽，且活动槽的内壁与蜗杆的表面转动连接，所述活动槽的内部与容纳槽的内部相连通。
[0009]优选的，所述活动块相对应活动槽位置的一端固定连接有连接座，且蜗杆通过轴承转动连接在连接座的内部。
[0010]优选的，所述蜗杆远离连接座位置的一端固定连接有正反电机，且正反电机固定
连接在活动块的表面。
[0011]优选的，所述固定杆的表面固定连接有挤压辊，所述固定杆的中部通过轴承转动连接有第二阻尼弹簧，且第二阻尼弹簧固定连接在滑槽的内壁。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]1、本技术通过转动驱动盘，并使得驱动盘带动驱动槽转动，通过活动柱配合固定杆和滑槽，使得驱动槽会带动活动柱和固定杆沿着滑槽的方向直线移动，从而使得当驱动盘转动时，会使得驱动槽带动三个活动柱相互靠近，并使得三个固定杆将晶圆贴片环进行固定，从而实现了便于根据不同尺寸的晶圆贴片环进行固定，以提高该装置适用性的目的；
[0014]2、本技术同时还通过正反电机通电带动蜗杆转动，使得蜗杆带动驱动盘转动，从而为驱动盘带动驱动槽转动提供动力，且通过设置挤压辊使得挤压辊可以对晶圆贴片环起到保护作用，通过设置第二阻尼弹簧，使得当驱动槽不再驱动活动柱移动时，通过第二阻尼弹簧复位收缩的作用下，会使得第二阻尼弹簧通过固定杆带动活动柱恢复至初始状态，以便可以持续工作。
附图说明
[0015]图1为本技术一种晶圆贴片环加工旋转装置整体结构俯视图；
[0016]图2为本技术一种晶圆贴片环加工旋转装置整体结构俯剖图；
[0017]图3为本技术一种晶圆贴片环加工旋转装置活动柱结构侧剖图。
[0018]图中：1、活动块；2、容纳槽；3、滑槽；4、凹槽；5、驱动盘；6、驱动槽；7、活动柱；8、固定杆；9、传动轮；10、传动带；11、调节辊；12、固定座；13、连接板；14、第一伸缩杆；15、第一阻尼弹簧；16、蜗杆；17、活动槽；18、连接座；19、正反电机；20、挤压辊；21、第二阻尼弹簧；22、驱动电机。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]请参阅图1
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3，本技术提供一种技术方案：包括活动块1，活动块1的内部开设有容纳槽2，活动块1的顶部分别开设有滑槽3和凹槽4，容纳槽2内壁的底部转动连接有驱动盘5，驱动盘5的中部开设有驱动槽6，驱动槽6的内壁活动连接有活动柱7，活动柱7的顶部通过轴承转动连接有固定杆8，且固定杆8活动连接在滑槽3的内壁，固定杆8的表面固定安装有传动轮9，传动轮9的表面传动连接有传动带10，传动带10远离传动轮9位置的一端传动连接有调节辊11，调节辊11的顶部和底部均分别固定安装有固定座12，两个固定座12相对面的一端固定安装有连接板13，且连接板13远离调节辊11位置的一端固定安装有第一伸缩杆14，且第一伸缩杆14固定安装在容纳槽2的内壁，第一伸缩杆14的表面固定安装有第一阻尼弹簧15。
[0021]滑槽3和凹槽4的内部相连通，且凹槽4为锥形结构，其中一个活动柱7的内部固定
嵌入有驱动电机22，且驱动电机22的输出轴固定安装在固定杆8的底部。
[0022]驱动槽6为等边三角形结构，活动柱7的数量为三个，且三个活动柱7圆心之间的连线为等边三角形。
[0023]驱动盘5的表面啮合有蜗杆16，活动块1相对应蜗杆16位置的表面开设有活动槽17，且活动槽17的内壁与蜗杆16的表面转动连接，活动槽17的内部与容纳槽2的内部相连通。
[0024]活动块1相对应活动槽17位置的一端固定安装有连接座18，且蜗杆16通过轴承转动连接在连接座18的内部。
[0025]蜗杆16远离连接座18位置的一端固定安装有正反电机19，且正反电机19固定安装在活动块1的表面。
[0026]固定杆8的表面固定安装有挤压辊20，固定杆8的中部通过轴承转动连接有第二阻尼弹簧21，且第二阻尼弹簧21固定安装在滑槽3的内壁，通过正反电机19通电带动蜗杆16转动，使得蜗杆16带动驱动盘5转动，从而为驱动盘5带动驱动槽6转动提供动力，且通过设置挤压辊20使得挤压辊20可以对晶圆贴片环起到保护作用，通过设置第二阻尼弹簧21，使得当驱动槽6不再驱动活动柱7移动时，通过第二阻尼弹簧21复位收缩的作用下，会使得第二阻尼弹簧21通过固定杆8带动活动柱7恢复至初始状态，以便可以持续工作，通过驱动电机22配合固定杆8可以带动晶圆贴片转动。<本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆贴片环加工旋转装置，包括活动块（1），其特征在于：所述活动块（1）的内部开设有容纳槽（2），所述活动块（1）的顶部分别开设有滑槽（3）和凹槽（4），所述容纳槽（2）内壁的底部转动连接有驱动盘（5），所述驱动盘（5）的中部开设有驱动槽（6），所述驱动槽（6）的内壁活动连接有活动柱（7），所述活动柱（7）的顶部通过轴承转动连接有固定杆（8），且固定杆（8）活动连接在滑槽（3）的内壁，所述固定杆（8）的表面固定连接有传动轮（9），所述传动轮（9）的表面传动连接有传动带（10），所述传动带（10）远离传动轮（9）位置的一端传动连接有调节辊（11），所述调节辊（11）的顶部和底部均分别固定连接有固定座（12），两个所述固定座（12）相对面的一端固定连接有连接板（13），且连接板（13）远离调节辊（11）位置的一端固定连接有第一伸缩杆（14），且第一伸缩杆（14）固定连接在容纳槽（2）的内壁，所述第一伸缩杆（14）的表面固定连接有第一阻尼弹簧（15）。2.根据权利要求1所述的一种晶圆贴片环加工旋转装置，其特征在于：所述滑槽（3）和凹槽（4）的内部相连通，且凹槽（4）为锥形结构，其中一个所述活动柱（7）的内部固定嵌入有驱动电机（22），且驱动电机（22）的输出轴固定连接...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐青龙，
申请(专利权)人：无锡派菲特机械制造有限公司，
类型：新型
国别省市：
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