一种适用于六英寸晶圆的贴片环制造技术

本发明专利技术公开了一种适用于六英寸晶圆的贴片环，包括外夹层，所述外夹层的内表面固定连接有连接杆，所述连接杆远离外夹层的一端固定连接有内夹层，所述内夹层的内表面固定连接有固定块，所述固定块远离内夹层的一端固定连接有弧形夹条，所述弧形夹条的端点处固定连接有密封波纹管。本发明专利技术当晶圆片放入到弧形夹条的内壁，通过弧形夹条的本身特质对晶圆进行保护，通过弧形夹条表面的凹槽将晶圆卡住，当晶圆与应力感应块之间的应力过大，通过传导将应力传递到连接块，连接块传递到第一弹簧，通过第一弹簧将应力信息传递给压力感应器，通过观察压力显示器及时的调整弧形夹条与晶圆之间的接触，防止晶圆体遭受到破坏。防止晶圆体遭受到破坏。防止晶圆体遭受到破坏。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于六英寸晶圆的贴片环


[0001]本专利技术涉及晶圆贴片环激
，具体为一种适用于六英寸晶圆的贴片环。

技术介绍

[0002]芯片的封装过程包括贴膜工序，在该工序中，用贴片膜把晶圆贴在贴片环上，从而在划片以及其它工序中将晶圆保持稳固的位置。
[0003]但是现有技术在实际使用时，现有的晶圆在放入贴片环的同时容易操作不当对晶圆的本体发生破坏。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种适用于六英寸晶圆的贴片环，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种适用于六英寸晶圆的贴片环，包括外夹层，所述外夹层的内表面固定连接有连接杆，所述连接杆远离外夹层的一端固定连接有内夹层，所述内夹层的内表面固定连接有固定块，所述固定块远离内夹层的一端固定连接有弧形夹条，所述弧形夹条的端点处固定连接有密封波纹管，所述密封波纹管的内壁固定连接有第二弹簧，所述密封波纹管远离弧形夹条的一端固定连接有应力感应块，所述第二弹簧的端点处与弧形夹条和应力感应块固定连接，所述应力感应块的外表面固定连接有连接块，所述连接块远离应力感应块的一端固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧远离连接块的一端固定连接有压力感应器，所述压力感应器远离第一弹簧的一端固定连接有压力显示器，所述压力感应器贯穿外夹层并延伸到外夹层的外表面，所述内夹层的内部开设有通孔第一通孔，所述连接块在第一通孔的内部，所述外夹层的内部固定连接有螺纹套，所述螺纹套的内壁螺纹连接有螺纹杆，所述内夹层的内部开设有第二通孔，所述螺纹杆在第二通孔的内部，所述螺纹杆远离螺纹套的一端与弧形夹条的外表面固定连接。
[0006]优选的，所述外夹层的形状为圆形与矩形的八边形结构，所述外夹层的外表面设有卡槽。
[0007]优选的，所述应力感应块、连接块、第一通孔、第一弹簧、压力感应器和压力显示器的数量均为三个，所述三个应力感应块、连接块、第一通孔、第一弹簧、压力感应器和压力显示器两两之间的相差角度为120
°
。
[0008]优选的，所述压力感应器与整体装置之间为电性连接，所述压力感应器与压力显示器之间为电性连接。
[0009]优选的，所述弧形夹条的表面设有与晶圆相对应的凹槽。
[0010]优选的，所述密封波纹管的外表面为软性橡胶材料。
[0011]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：1、本专利技术当晶圆片放入到弧形夹条的内壁，通过弧形夹条的本身特质对晶圆进行保护，通过弧形夹条表面的凹槽将晶圆卡住，同时还通过应力感应块对晶圆与弧形夹条之
间的应力进行检测，当晶圆与应力感应块之间的应力过大，通过传导将应力传递到连接块，连接块传递到第一弹簧，通过第一弹簧将应力信息传递给压力感应器，通过观察压力显示器及时的调整弧形夹条与晶圆之间的接触，防止晶圆体遭受到破坏；2、本专利技术同时还通过弧形夹条与密封波纹管之间的连接，使得晶圆片始终处在弧形夹条的凹槽中，防止晶圆从弧形夹条的凹槽内脱落，进一步地加深贴片环的基本功能。
附图说明
[0012]图1为本专利技术一种适用于六英寸晶圆的贴片环整体结构正剖图；图2为本专利技术一种适用于六英寸晶圆的贴片环密封波纹管处结构示意图；图3为本专利技术一种适用于六英寸晶圆的贴片环压力感应器与外夹层位置关系示意图；
[0013]图中：1、外夹层；2、内夹层；3、应力感应块；4、连接块；5、第一通孔；6、第一弹簧；7、压力感应器；8、压力显示器；9、连接杆；10、弧形夹条；11、固定块；12、螺纹套；13、第二通孔；14、螺纹杆；15、密封波纹管；16、第二弹簧。
具体实施方式
[0014]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0015]请参阅图1
‑
3，本专利技术提供一种技术方案：一种适用于六英寸晶圆的贴片环，包括外夹层1，外夹层1的内表面固定安装有连接杆9，连接杆9远离外夹层1的一端固定安装有内夹层2，内夹层2的内表面固定安装有固定块11，固定块11远离内夹层2的一端固定安装有弧形夹条10，弧形夹条10的端点处固定安装有密封波纹管15，密封波纹管15的内壁固定安装有第二弹簧16，密封波纹管15远离弧形夹条10的一端固定安装有应力感应块3，第二弹簧16的端点处与弧形夹条10和应力感应块3固定安装，应力感应块3的外表面固定安装有连接块4，连接块4远离应力感应块3的一端固定安装有第一弹簧6，第一弹簧6远离连接块4的一端固定安装有压力感应器7，压力感应器7远离第一弹簧6的一端固定安装有压力显示器8，压力感应器7贯穿外夹层1并延伸到外夹层1的外表面，内夹层2的内部开设有通孔第一通孔5，连接块4在第一通孔5的内部，外夹层1的内部固定安装有螺纹套 12，螺纹套12的内壁螺纹连接有螺纹杆14，内夹层2的内部开设有第二通孔13，螺纹杆 14在第二通孔13的内部，螺纹杆14远离螺纹套12的一端与弧形夹条10的外表面固定安装。
[0016]外夹层1的形状为圆形与矩形的八边形结构，外夹层1的外表面设有卡槽。
[0017]应力感应块3、连接块4、第一通孔5、第一弹簧6、压力感应器7和压力显示器8 的数量均为三个，三个应力感应块3、连接块4、第一通孔5、第一弹簧6、压力感应器7和压力显示器8两两之间的相差角度为120
°
。
[0018]压力感应器7与整体装置之间为电性连接，压力感应器7与压力显示器8之间为电性连接。
[0019]弧形夹条10的表面设有与晶圆相对应的凹槽。
[0020]密封波纹管15的外表面为软性橡胶材料。
[0021]工作原理：在使用时，该专利技术当晶圆片放入到弧形夹条10的内壁，通过弧形夹条10 的本身特质对晶圆进行保护，通过弧形夹条10表面的凹槽将晶圆卡住，同时还通过应力感应块3对晶圆与弧形夹条10之间的应力进行检测，当晶圆与应力感应块3之间的应力过大，通过传导将应力传递到连接块4，连接块4传递到第一弹簧6，通过第一弹簧6将应力信息传递给压力感应器7，通过观察压力显示器8及时的调整弧形夹条10与晶圆之间的接触，防止晶圆体遭受到破坏，该专利技术同时还通过弧形夹条10与密封波纹管15之间的连接，使得晶圆片始终处在弧形夹条10的凹槽中，防止晶圆从弧形夹条10的凹槽内脱落，进一步地加深贴片环的基本功能。
[0022]需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于六英寸晶圆的贴片环，包括外夹层（1），其特征在于：所述外夹层（1）的内表面固定连接有连接杆（9），所述连接杆（9）远离外夹层（1）的一端固定连接有内夹层（2），所述内夹层（2）的内表面固定连接有固定块（11），所述固定块（11）远离内夹层（2）的一端固定连接有弧形夹条（10），所述弧形夹条（10）的端点处固定连接有密封波纹管（15），所述密封波纹管（15）的内壁固定连接有第二弹簧（16），所述密封波纹管（15）远离弧形夹条（10）的一端固定连接有应力感应块（3），所述第二弹簧（16）的端点处与弧形夹条（10）和应力感应块（3）固定连接，所述应力感应块（3）的外表面固定连接有连接块（4），所述连接块（4）远离应力感应块（3）的一端固定连接有第一弹簧（6），所述第一弹簧（6）远离连接块（4）的一端固定连接有压力感应器（7），所述压力感应器（7）远离第一弹簧（6）的一端固定连接有压力显示器（8），所述压力感应器（7）贯穿外夹层（1）并延伸到外夹层（1）的外表面，所述内夹层（2）的内部开设有通孔第一通孔（5），所述连接块（4）在第一通孔（5）的内部，所述外夹层（1）的内部固定连接有螺纹套（12），所述螺纹套（12）的内壁螺纹连接有螺纹杆（14），所...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐青龙，
申请(专利权)人：无锡派菲特机械制造有限公司，
类型：发明
国别省市：