【技术实现步骤摘要】
带有检测功能的圆筒导热装置
本专利技术涉及镀膜导热装置
，具体为带有检测功能的圆筒导热装置。
技术介绍
生的热量传递称为热传导,简称导热，由于流体流动而造成的传热方式，在镀膜工艺中，通常用圆筒导热装置，在成膜过程中，需要对靶材持续进行冷却，因为靶材寿命有限，靶材在使用设定的次数后，需要进行更换，于是需要人工记录靶材使用的次数，这样的方式工作繁琐，且容易出错，此外现有的冷却管，没有温度监测，易导致冷却管温度不稳定到，为此，我们提出带有检测功能的圆筒导热装置。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供带有检测功能的圆筒导热装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：带有检测功能的圆筒导热装置，包括圆筒本体，所述圆筒本体呈中空状，所述圆筒本体端面均匀设有通孔，所述通孔延伸至圆筒本体右侧，所述圆筒本体中部外壁套接有冷却装置，所述冷却装置外表面缠绕有冷却水管，所述冷却水管的进水端上部设有过滤装置，所述过滤装置上部设有进水管，所述冷却水管的出水端固定连接有出水管，所述...
【技术保护点】
1.带有检测功能的圆筒导热装置，包括圆筒本体(1)，所述圆筒本体(1)呈中空状，其特征在于：所述圆筒本体(1)端面均匀设有通孔(10)，所述通孔(10)延伸至圆筒本体(1)右侧，所述圆筒本体(1)中部外壁套接有冷却装置(6)，所述冷却装置(10)外表面缠绕有冷却水管(7)，所述冷却水管(7)的进水端上部设有过滤装置，所述过滤装置上部设有进水管(5)，所述冷却水管(7)的出水端固定连接有出水管(11)，所述圆筒本体(1)内腔内壁左侧设有第一温度传感器(2)，所述第一温度传感器(2)右侧设有热流传感器(3)，所述圆筒本体(1)外壁左侧设有第一温度显示装置(4)，所述圆筒本体(1...
【技术特征摘要】
1.带有检测功能的圆筒导热装置，包括圆筒本体(1)，所述圆筒本体(1)呈中空状，其特征在于：所述圆筒本体(1)端面均匀设有通孔(10)，所述通孔(10)延伸至圆筒本体(1)右侧，所述圆筒本体(1)中部外壁套接有冷却装置(6)，所述冷却装置(10)外表面缠绕有冷却水管(7)，所述冷却水管(7)的进水端上部设有过滤装置，所述过滤装置上部设有进水管(5)，所述冷却水管(7)的出水端固定连接有出水管(11)，所述圆筒本体(1)内腔内壁左侧设有第一温度传感器(2)，所述第一温度传感器(2)右侧设有热流传感器(3)，所述圆筒本体(1)外壁左侧设有第一温度显示装置(4)，所述圆筒本体(1)内腔内壁右侧设有第二温度传感器(9)，所述圆筒本体(1)外壁右侧设有第二温度显示装置(8)。
2.根据权利要求1所述的带有检测功能的圆筒导热装置，其特征在于：所述冷却装置(6)包括连接块(61)、半圆连接环(62)、弧形凹槽(63)、制冷片(64)、螺栓(65)和螺母(66)，所述圆筒本体(1)的前后两侧均设有半圆连接环(62)，两组所述半圆连接环(62)的开口相对应，所述半圆连接环(62)的连接处中部均设有连接块(61)，所述连接块(61)从左到右贯穿设置有螺栓(65)，所述螺栓(65)右侧外壁设有螺母(66)，所述半圆连接环(62)内腔内壁均匀设有弧形凹槽(63)，所述弧形凹槽(63)内腔均设有制冷片(64)。
3.根据权利要求2所述的带有检测功能的圆筒导热装置，其特征在于：所述制冷片(64)为弧形状，所述制冷片(64)的宽度与半圆连接环(62)的宽度相等，且制冷片(...
【专利技术属性】
技术研发人员：松本光裕，
申请(专利权)人：京浜乐梦金属科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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