一种真空电浆成型腔体设备制造技术

本发明专利技术涉及镀膜设备技术领域，公开了一种真空电浆成型腔体设备，包括内部中空的腔体、与腔体连通的进气管道、用于在进气管道内的空气进入腔体前依次进行过滤的滤板，以及设置在腔体内的放电装置和工件；所述滤板至少有三个且每个滤板上均设置有滤孔；在沿空气流动的方向上，滤板的滤孔数量逐渐增多，且滤孔的孔径逐渐减小。

【技术实现步骤摘要】
一种真空电浆成型腔体设备
本专利技术涉及镀膜设备
，具体涉及一种真空电浆成型腔体设备。
技术介绍
电浆，也称为等离子体，已广泛应用于半导体集成电路领域，不同材料薄膜的成长及电路的蚀刻普通通过电浆技术实现。在半导体封装及纺织工业方面，使用电浆来清洁及改变材料表面，以达到特殊的功能和效果；在环保方面，电浆火炬可以安全固化焚化炉所产生的高污染灰渣；在医疗、科研方面也具有重要作用。本专利技术提供一种利用电浆技术为工件镀膜的设备。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本专利技术提供一种真空电浆成型腔体设备。为解决上述技术问题，本专利技术采用如下技术方案：一种真空电浆成型腔体设备，包括内部中空的腔体、与腔体连通的进气管道、用于在进气管道内的空气进入腔体前依次进行过滤的滤板，以及设置在腔体内的放电装置和工件；所述滤板至少有三个且每个滤板上均设置有滤孔；在沿空气流动的方向上，滤板的滤孔数量逐渐增多，且滤孔的孔径逐渐减小。进一步地，包括设置在腔体内部的过滤箱体；所述进气管道贯穿腔体和过滤箱体的上壁进入过滤箱体内部；所述滤板从上到下依次水平设置在箱体内，最上层滤板位于进气管道的下部，最下层滤板的滤孔与腔体连通。进一步地，包括设置在腔体下部的冷却板、布置在冷却板内且内部流动有冷却水的冷却管道、设置在腔体外且与冷却管道连通的水循环装置；所述工件放置在冷却板上。进一步地，包括与腔体连通的抽真空装置和气体监控仪。进一步地，所述腔体的侧边设置有透视窗。与现有技术相比，本专利技术的有益技术效果是：1.经过初步过滤的压缩空气从进气管道进入腔体，为了保证镀膜效果，进入腔体前，本专利技术利用多层滤板对空气进行进一步地过滤；本专利技术采用多层分级过滤方式，滤板的数量逐渐增多、孔径逐渐减少，可以兼顾过滤效率和过滤效果，避免空气中的杂质进入腔体。2.通过抽真空装置抽取腔体内的气体，并通过气体监测仪监测腔体内的气体剩余量，在腔体内的惰性气体达到设定值时，暂停抽真空装置，使腔体内保留适量的惰性气体，以保证后续的镀膜效果。附图说明图1为本专利技术的剖视图；图2为本专利技术的顶视图；图3为本专利技术的工作原理图。具体实施方式下面结合附图对本专利技术的一种优选实施方式作详细的说明。如图1-2所示，一种真空电浆成型腔体设备，包括内部中空的腔体3、与腔体连通的进气管道1-1、用于在进气管道内的空气进入腔体前依次进行过滤的滤板11，以及设置在腔体内的放电装置和工件6；所述滤板至少有三个且每个滤板上均设置有滤孔；在沿空气流动的方向上，滤板的滤孔数量逐渐增多，且滤孔的孔径逐渐减小。包括设置在腔体内部的过滤箱体；所述进气管道贯穿腔体和过滤箱体的上壁进入过滤箱体内部；所述滤板从上到下依次水平设置在箱体内，最上层滤板位于进气管道的下部，最下层滤板的滤孔与腔体连通。本实施例中，所述滤板共有三个，最上层滤板的孔径为3.4mm，最下层滤板的孔径为0.4mm；大孔径的滤孔用于过滤空气中的大颗粒杂质，并让空气以及小颗粒杂质迅速通过；小孔径滤孔用于过滤空气中的小颗粒杂质，用于将空气中的小颗粒杂质最终过滤掉；这种分级过滤方式，能够提高空气的进入速度，并保证空气过滤的效果，提高工件镀膜质量。进气管道设置在进气轴1中，进气轴通过连接杆10与腔体的外壁连接，进气轴贯穿腔体的上壁进入腔体，进气轴的底部通过连接盘2与过滤箱体连接，进气管道的底部位于最高的滤板之上，最下层的滤板作为过滤箱体的底板。如图1所示，包括设置在腔体下部的冷却板8、布置在冷却板内且内部流动有冷却水的冷却管道7-1、设置在腔体外且与冷却管道连通的水循环装置；所述工件放置在冷却板上。冷却管道设置在进水轴7中，进水轴贯穿腔体的下壁进入腔体；对工件进行镀膜时，腔体以及工件的温度上升，而镀膜时的工件和腔体内的气体需要保持在一定的温度范围内，本专利技术通过水循环装置将冷却水通入冷却管道，并通过冷却板与工件、腔体内的气体发生热交换，控制工件和腔体内气体的温度。如图2所示，包括与腔体连通的抽真空装置4和气体监控仪5。考虑到有些电子或离子必须被改变路径从而产生转换效果，故在离子转换改变过程中使用低于大气压的压力，利用离子化气体产生0.1Torr到0.2Torr之间的真空压力，让电浆在真空压力的环境中进行离子转换改变。如图3所示，抽真空装置4将腔体空气中的无效气体元素抽离，并通过气体监控仪控制腔体内保留适量的惰性气体，通过放电装置激活等离子体发生撞击，使得这些等离子体产生高速运动并附着在工件6表面，一段时间后在工件表面形成一层均匀镀层。如图1所示，所述腔体的侧边设置有透视窗9。透视窗方便作业人员对腔体内部的情况进行观察，通过蚀刻原理动态观察真空状态下的离子转换的情况、目标工件表面的镀膜情况，便于对镀膜效果进行控制。对于本领域技术人员而言，显然本专利技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本专利技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本专利技术。因此无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本专利技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本专利技术内，不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为了清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空电浆成型腔体设备，其特征在于：包括内部中空的腔体、与腔体连通的进气管道、用于在进气管道内的空气进入腔体前依次进行过滤的滤板，以及设置在腔体内的放电装置和工件；所述滤板至少有三个且每个滤板上均设置有滤孔；在沿空气流动的方向上，滤板的滤孔数量逐渐增多，且滤孔的孔径逐渐减小。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空电浆成型腔体设备，其特征在于：包括内部中空的腔体、与腔体连通的进气管道、用于在进气管道内的空气进入腔体前依次进行过滤的滤板，以及设置在腔体内的放电装置和工件；所述滤板至少有三个且每个滤板上均设置有滤孔；在沿空气流动的方向上，滤板的滤孔数量逐渐增多，且滤孔的孔径逐渐减小。


2.根据权利要求1所述的真空电浆成型腔体设备，其特征在于：包括设置在腔体内部的过滤箱体；所述进气管道贯穿腔体和过滤箱体的上壁进入过滤箱体内部；所述滤板从上到下依次水平设置在箱体内，最上层滤板位...

【专利技术属性】
技术研发人员：裴孝怀，钟智敏，刘伟，陈波，
申请(专利权)人：上海新科乾物联技术有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31