一种等离子体化学气相沉积法制备光纤预制棒的装置和方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及光纤及光电子器件技术领域，公开了一种等离子体化学气相沉积法制备光纤预制棒的装置和方法，通过在石英管组件的中心设置中心靶棒，使该装置可以用来进行常规的等离子体化学气相沉积(常规PCVD工艺)，也可以同时相对于中心的石英棒进行等离子体外沉积，特别适合生产带低折射率包层的预制棒。同时，相比常规的PCVD工艺，在制备低折射率包层的预制棒时不需要用掺氟石英管，降低了沉积失败的风险。险。险。

【技术实现步骤摘要】
一种等离子体化学气相沉积法制备光纤预制棒的装置和方法


[0001]本专利技术涉及光纤及光电子器件
，尤其涉及一种等离子体化学气相沉积法制备光纤预制棒的装置和方法。

技术介绍

[0002]等离子体化学气相沉积(PCVD)是制备光纤预制棒的主要工艺之一。由于微波等离子体具有能量大、活性强、激发的等离子体密度高、工作稳定、无电极污染等优点，非常适合光纤预制棒的沉积。在低压状态下，由于高频率的微波的作用，进入反应管的原料气体(主要为SiCl4，GeCl4，BCl3，POCl3，O2，C2F6等)部分被电离成活化的等离子体状态，这些活性离子能快速地发生反应，反应产物以玻璃态沉积在管壁内表面上。因其微波谐振腔可快速移动，单层的沉积厚度薄，因而易于制造精细而复杂的折射率剖面。
[0003]在现有等离子体化学气相沉积工艺(PCVD)中，将石英管作为衬底管(或称为反应管)，在石英管内沉积，然后在熔缩车床上烧结成实心芯棒，或者石英管内沉积后冷却用于加工成套管。用现有的常规PCVD工艺难以用来生产低折射率包层的预制棒；另外，若采用低折射率掺氟石英管作为本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种等离子体化学气相沉积法制备光纤预制棒的装置，其特征在于，包括加热炉，所述加热炉内设有石英管组件，还包括夹持旋转机构，所述夹持旋转机构夹持所述石英管组件，使所述石英管组件绕其轴线旋转；所述石英管组件外还套设有微波腔体，所述微波腔体连接有波导装置；所述微波腔体和所述波导装置在牵引装置的带动下沿着所述石英管组件的外侧面做水平往复运动；所述加热炉内还设有多条环绕所述石英管组件设置的加热棒；所述微波腔体也安装于所述多条加热棒的内侧；还包括用于控制所述夹持旋转机构的第一控制组件和用于控制所述牵引装置的第二控制组件。2.根据权利要求1所述的一种等离子体化学气相沉积法制备光纤预制棒的装置，其特征在于，所述石英管组件包括石英管、位于所述石英管中心的中心靶棒以及连接所述石英管和所述中心靶棒的支撑件，中心靶棒的两端分别熔接有低纯度石英棒。3.根据权利要求2所述的一种等离子体化学气相沉积法制备光纤预制棒的装置，其特征在于，所述支撑件呈圆环装，且至少设有两组，相互平行的设置于所述石英管内，每一组支撑件的侧面都开设有多个供反应气体或者反应产物排出的通孔。4.根据权利要求1所述的一种等离子体化学气相沉积法制备光纤预制棒的装置，其特征在于，所述加热炉水平设置，其两端的炉壁上相对的设置有多组安装孔，所述多...

【专利技术属性】
技术研发人员：康志文，
申请(专利权)人：武汉友美科自动化有限公司，
类型：发明
国别省市：