下载一种等离子体化学气相沉积法制备光纤预制棒的装置和方法的技术资料

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本发明涉及光纤及光电子器件技术领域,公开了一种等离子体化学气相沉积法制备光纤预制棒的装置和方法,通过在石英管组件的中心设置中心靶棒,使该装置可以用来进行常规的等离子体化学气相沉积(常规PCVD工艺),也可以同时相对于中心的石英棒进行等离子体...
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