电子枪装置和蒸镀装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种高可靠性、提高了扫描性的电子枪装置。电子枪装置中，磁轭板具有：第一主面，上述第一主面相反侧的第二主面，和与从第一主面朝向第二主面的方向正交的中心线。电子束源位于磁轭板的第一主面侧，能从磁轭板的上述第一主面侧向磁轭板的第二主面侧射出电子束。磁场产生源设在磁轭板的第二主面，并具有：在中心线的两侧的一侧配置的第一磁体，和在两侧的另一侧配置的第二磁体。第一磁体的第一极和第二极与第二磁体的第一极和第二极互为相反朝向并在上述方向排列。磁场产生源在磁轭板的第二主面侧利用第一磁体的第二极和第二磁体的第一极形成的磁场将电子束的轨道偏转。第一磁体的第一极和第二磁体的第二极形成的磁场被封闭在磁轭板。场被封闭在磁轭板。场被封闭在磁轭板。

【技术实现步骤摘要】
电子枪装置和蒸镀装置


[0001]本专利技术涉及电子枪装置和蒸镀装置。

技术介绍

[0002]在具有电子枪装置和坩埚的蒸镀装置中，向在坩埚中收容的蒸镀材料照射从电子枪装置射出的电子束并加热蒸镀材料，使蒸镀材料从坩埚蒸发从而在基板形成蒸镀膜。
[0003]在这样的装置中，由于在照射蒸镀材料之前需要会聚电子束，因此有将被称为磁极片的凸起状构件应用于电子枪装置的情况(例如参照专利文献1)。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：国际公开2013/153604号公报。
[0007]专利技术要解决的问题
[0008]然而，在将磁极片应用于电子枪装置时，例如，在蒸镀中蒸镀材料沉积在磁极片的情况下，当从磁极片脱落的蒸镀材料掉落于坩埚时，掉落的蒸镀材料的成分有可能再次蒸发。这引起蒸镀膜的污染。此外，由于磁极片为凸起状，因此，例如有可能在其维护前后，或者根据蒸镀中的热履历而使磁极片的效果发生改变。
[0009]在这种情况下，由磁极片形成的磁场根据每次维护等微妙地改变，电子束的会聚性变得不稳定。此外，在磁极片的温度由于热履历而发生变化的情况下，也有其磁导率发生改变的情况。由此，也要考虑由磁极片形成的磁场変化，电子束的位置发生偏移的情况。
[0010]进而，在具有磁极片的电子枪装置中，由于在一对磁极片之间形成局部的强磁场，因此维持电子束会聚的电子束的扫描范围达到所谓的极限。

技术实现思路

[0011]鉴于上述这样的情况，本专利技术的目的在于提供一种可靠性高、提高了扫描性的电子枪装置，以及具有该电子枪装置的蒸镀装置。
[0012]用于解决问题的方案
[0013]为达成上述目的，本专利技术的一种方式涉及的电子枪装置具有：磁轭板、电子束源以及磁场产生源。
[0014]上述磁轭板，其包含磁性材料，具有：第一主面，上述第一主面相反侧的第二主面，以及与从上述第一主面朝向上述第二主面的方向正交的中心线。
[0015]上述电子束源，其位于上述磁轭板的上述第一主面侧，能够从上述磁轭板的上述第一主面侧向上述磁轭板的上述第二主面侧射出电子束。
[0016]上述磁场产生源，其设置在上述磁轭板的上述第二主面，具有：在上述中心线的两侧中的一侧配置的第一磁体，以及在上述两侧中的另一侧配置的第二磁体。上述第一磁体的第一极和第二极与上述第二磁体的第一极和第二极互为相反朝向并在上述方向排列。在上述磁场产生源中，在上述磁轭板的上述第二主面侧利用由上述第一磁体的第二极和上述
第二磁体的第一极形成的磁场将上述电子束的轨道偏转。上述第一磁体的第一极和上述第二磁体的第二极形成的磁场被封闭在上述磁轭板。
[0017]根据这样的电子枪装置，因为磁轭板的第一主面侧被磁轭板磁屏蔽，并且偏转用磁场在磁轭板的第二主面侧形成，从而提供一种可靠性高、提高了扫描性的电子枪装置。
[0018]为达成上述目的，本专利技术的一种方式所涉及的电子枪装置具有：支承板、电子束源以及磁场产生源。
[0019]上述支承板，其具有第一主面，上述第一主面相反侧的第二主面，以及与从上述第一主面向上述第二主面的方向正交的中心线。
[0020]上述电子束源，其位于上述支承板的上述第一主面侧，能够从上述支承板的上述第一主面侧向上述支承板的上述第二主面侧射出电子束。
[0021]上述磁场产生源，其设置在上述支承板的上述第二主面，具有：在上述中心线的两侧中的一侧配置的第一磁体，以及在上述两侧中的另一侧配置的第二磁体。上述第一磁体的第一极和第二极与上述第二磁体的第一极和第二极互为相反朝向并在上述方向排列。在上述磁场产生源中，在上述支承板的上述第二主面侧利用上述第一磁体的第二极和上述第二磁体的第一极形成的磁场将上述电子束的轨道偏转。
[0022]上述辅助磁体，其在上述方向能够反转从第一极向第二极的朝向，在上述方向上述辅助磁体至少一部分从上述支承板露出，在从上述方向观察上述支承板时在上述中心线延伸的方向与上述电子束源排列。
[0023]在上述第一磁体的第二极和上述第二磁体的第一极形成的磁场，能够叠加上述第一磁体的第二极和上述辅助磁体的第一极形成的磁场、或者上述第二磁体的第一极和上述辅助磁体的第二极形成的磁场。
[0024]根据这样的电子枪装置，因为在支承板的第二主面侧形成偏转用磁场，在偏转用磁场叠加由辅助磁体形成的磁场，从而提供一种可靠性高、提高了扫描性的电子枪装置。
[0025]在上述的电子枪装置中，也可以为，在上述磁轭板，设置有从上述第一主面向上述第二主面贯通的孔或切口状的开口，上述开口与上述中心线重叠，上述电子束源经由上述开口从上述磁轭板的上述第一主面侧向上述磁轭板的上述第二主面侧射出上述电子束。
[0026]根据这样的电子枪装置，因为经由在磁轭板形成的开口从磁轭板的第一主面侧向第二主面侧射出电子束，从而提供一种可靠性高、提高了扫描性的电子枪装置。
[0027]在上述的电子枪装置中，还具有辅助磁体，其在上述方向能够反转从第一极向第二极的朝向。上述辅助磁体至少一部分在上述方向从上述磁轭板露出，在上述辅助磁体中，在从上述方向观察上述磁轭板时在上述中心线延伸的方向与上述电子束源排列，在由上述第二磁体的第一极和上述第一磁体的第二极形成的磁场，能够叠加由上述辅助磁体的第一极和上述第一磁体的第二极形成的磁场，或者由上述第二磁体的第一极和上述辅助磁体的第二极形成的磁场。
[0028]根据这样的电子枪装置，因为在磁轭板的第二主面侧形成偏转用磁场，并在偏转用磁场叠加由辅助磁体形成的磁场，从而提供一种可靠性高、提高了扫描性的电子枪装置。
[0029]在上述的电子枪装置中，也可以为，上述电子束源具有：发出电子束的灯丝，以及会聚上述电子束的会聚线圈，被上述会聚线圈会聚的上述电子束从上述磁轭板的上述第一主面侧经由上述开口通过上述磁轭板的上述第二主面侧。
[0030]根据这样的电子枪装置，因为会聚性优异的电子束经由开口从磁轭板的第一主面侧通过第二主面侧，从而提供一种可靠性高、提高了扫描性的电子枪装置。
[0031]在上述的电子枪装置中，其还具有外壳，该外壳包含非磁性材料，并覆盖上述电子束源、上述磁轭板以及上述磁场产生源。在上述外壳中，也可以设置有使上述电子束通过的开口。
[0032]根据这样的电子枪装置，由于电子束源、磁轭板以及磁场产生源由外壳覆盖，因此电子枪装置变得易于维护。
[0033]在上述的电子枪装置中，上述电子束源所包含的灯丝在上述方向可以与上述外壳的一部分重叠。
[0034]根据这样的电子枪装置，因为电子束源所包含的灯丝与外壳的一部分重叠，从而防止异物对灯丝的附着。
[0035]在上述的电子枪装置中，在上述磁轭板的上述第一主面或上述第二主面可以形成冷却回路。
[0036]根据这样的电子枪装置，由于在磁轭板形成冷却回路，因此在磁轭板设置的磁体的磁导率维持在大致恒定。
[0037本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子枪装置，其具有：磁轭板，其包含磁性材料，具有：第一主面，所述第一主面相反侧的第二主面，以及与从所述第一主面朝向所述第二主面的方向正交的中心线，电子束源，其位于所述磁轭板的所述第一主面侧，能够从所述磁轭板的所述第一主面侧向所述磁轭板的所述第二主面侧射出电子束，磁场产生源，其设置在所述磁轭板的所述第二主面，具有：在所述中心线的两侧中的一侧配置的第一磁体，以及在所述两侧中的另一侧配置的第二磁体，所述第一磁体的第一极和第二极与所述第二磁体的第一极和第二极互为相反朝向并在所述方向排列，在所述磁轭板的所述第二主面侧利用所述第一磁体的第二极和所述第二磁体的第一极形成的磁场将所述电子束的轨道偏转，所述第一磁体的第一极和所述第二磁体的第二极形成的磁场被封闭在所述磁轭板，辅助磁体，其在所述方向能够反转从第一极向第二极的朝向，在所述方向所述辅助磁体至少一部分从所述磁轭板露出，在从所述方向观察所述磁轭板时在所述中心线延伸的方向与所述电子束源排列，在所述第二磁体的第一极和所述第一磁体的第二极形成的磁场中，能够叠加所述辅助磁体的第一极和所述第一磁体的第二极形成的磁场、或者所述第二磁体的第一极和所述辅助磁体的第二极形成的磁场。2.根据权利要求1所述的电子枪装置，其中，在所述磁轭板中，设置有从所述第一主面向所述第二主面贯通的孔或切口状的开口，所述开口与所述中心线重叠，所述电子束源经由所述开口从所述磁轭板的所述第一主面侧向所述磁轭板的所述第二主面侧射出所述电子束。3.根据权利要求2所述的电子枪装置，其中，所述电子束源具有：发出电子束的灯丝，以及会聚所述电子束的会聚线圈，被所述会聚线圈会聚的所述电子束从所述磁轭板的所述第一主面侧经由所述开口通过所述磁轭板的所述第二主面侧。4.根据权利要求1至3中任一项所述的电子枪装置，其中，还具有外壳，所述外壳包含非磁性材料，并覆盖所述电子束源、所述磁轭板以及所述磁场产生源，在所述外壳，设置有使所述电子束通过的开口。5.根据权利要求4所述的电子枪装置，其中，所述电子束源所包含的灯丝在所述方向与所述外壳的一部分重叠。6.根据权利要求1或2所述的电子枪装置，其中，在所述磁轭板的所述第一主面或所述第二主面形成有冷却回路。7.一种电子枪装置，其具有：支承板，其具有第一主面，所述第一主面相反侧的第二主面，以及与从所述第一主面向所述第二主面的方向正交的中心线，电子束源，其位于所述支承板的所述第一主面侧，能够从所述支承板的所述第一主面侧向所述支承板的所述第二主面射出电子束，
磁场产生源，其设置在所述支承板的所述第二主面，具有：在所述中心线的两侧中的一侧配置的第一磁体，以及在所述两侧中的另一侧配置的第二磁体，所述第一磁体的第一极和第二极与所述第二磁体的第一极和第二极互为相反朝向并在所述方向排列，在所述支承板的所述第二主面侧利用所述第一磁体的第二极和所述第二磁体的第一极形成的磁场将所述电子束的轨道偏转，辅助磁体，其在所述方向能够反转从第一极向第二极的朝向，在所述方向所述辅助磁体至少一部分从所述支承板露出，在从所述方向观察所述支承板时在所述中心线延伸的方向与所述电子束源排列，在所述第一磁体的第二极和所述第二磁体的第一极形成的磁场，能够叠...

【专利技术属性】
技术研发人员：后田以诚，矶野坚一，大桥童吾，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：发明
国别省市：