一种具有双面镀膜功能的电子枪蒸镀装置制造方法及图纸

技术编号:28179902 阅读:34 留言:0更新日期:2021-04-22 01:58
本实用新型专利技术涉及蒸镀装置技术领域,尤其为一种具有双面镀膜功能的电子枪蒸镀装置,包括机体,所述机体的内侧转动连接有动力转杆,所述动力转杆的外端面固定连接有放置架,所述放置架的内侧可拆卸连接有伞具,所述伞具的内侧转动连接有卡具,所述伞具的内侧转动连接有主动转杆,靠近伞具内侧的卡具固定连接,所述主动转杆的另一端固定连接有第一动力齿轮,所述机体的内侧固定连接有第一齿条,所述第一齿条与第一动力齿轮啮合,本实用新型专利技术中,通过设置的动力转杆、伞具、第一齿条、卡具等构件,可以在伞具的转动时实现卡具的翻转,通过卡具的翻转,使镀件在镀膜时可以进行双面镀膜,增加镀膜效果,加快镀膜效率。加快镀膜效率。加快镀膜效率。

【技术实现步骤摘要】
一种具有双面镀膜功能的电子枪蒸镀装置


[0001]本技术涉及蒸镀装置
,具体为一种具有双面镀膜功能的电子枪蒸镀装置。

技术介绍

[0002]真空蒸镀,简称蒸镀,是指在真空条件下,采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料并使之气化,粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法,蒸镀是使用较早、用途较广泛的气相沉积技术,具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点。
[0003]现有的真正度装置在使用时无法较好的将卡具翻转,镀件无法在一次蒸镀过程中实现双面镀膜,影响镀膜的效率,且卡具对镀件进行放置时,无法较好的将镀件取出,增加镀件的更换时长,从而影响蒸镀加工的工作效率。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种具有双面镀膜功能的电子枪蒸镀装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:
[0006]一种具有双面镀膜功能的电子枪蒸镀装置,包括机体,所述机体的前端面设置有控制面板,所述机体的前端面转动连接有腔门,所述机体的内侧转动连接有动力转杆,所述动力转杆本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有双面镀膜功能的电子枪蒸镀装置,包括机体(1),其特征在于:所述机体(1)的前端面设置有控制面板(2),所述机体(1)的前端面转动连接有腔门(3),所述机体(1)的内侧转动连接有动力转杆(4),所述动力转杆(4)的外端面固定连接有放置架(6),所述放置架(6)的内侧可拆卸连接有伞具(7),所述伞具(7)的下方设置有蒸镀电子枪(5),所述蒸镀电子枪(5)固定连接于机体(1)的内侧,所述伞具(7)的内侧转动连接有卡具(9),所述卡具(9)的外端面设置有限位块(10),所述限位块(10)固定连接于伞具(7)的内侧,所述卡具(9)的内侧设置有第一定位爪(16)与第二定位爪(17)。2.根据权利要求1所述的一种具有双面镀膜功能的电子枪蒸镀装置,其特征在于:所述放置架(6)的数量为9个,所述伞具(7)的数量为27个,所述放置架(6)从上至下依次设置在动力转杆(4)的外端面,位于上下两侧相邻的所述伞具(7)之间相互交错设置。3.根据权利要求1所述的一种具有双面镀膜功能的电子枪蒸镀装置,其特征在于:所述卡具(9)的呈三角对称设置在伞具(7)的内侧,所述伞具(7)的内侧转动连接有主动转杆(11),所述主动转杆(11)的一端与靠近伞具(7)内侧的卡具(9)固定连接,所述主动转杆(11)的另一端固定连接有第一动力...

【专利技术属性】
技术研发人员:乔建栋黄坚常洪兴徐胜
申请(专利权)人:杰莱特苏州精密仪器有限公司
类型:新型
国别省市:

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