下载电子枪装置和蒸镀装置的技术资料

文档序号:29039554

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本发明提供一种高可靠性、提高了扫描性的电子枪装置。电子枪装置中,磁轭板具有:第一主面,上述第一主面相反侧的第二主面,和与从第一主面朝向第二主面的方向正交的中心线。电子束源位于磁轭板的第一主面侧,能从磁轭板的上述第一主面侧向磁轭板的第二主面侧...
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