一种靶材组件喷砂防护工具制造技术

本实用新型专利技术提供了一种靶材组件喷砂防护工具，所述靶材组件喷砂防护工具包括依次层叠设置的防护层、缓冲层、定型层与基底层；所述基底层与背板的非喷沙区域接触；所述防护层、缓冲层、定型层以及基底层分别独立地设置有供固定螺栓穿过的至少两个螺纹孔；所述靶材组件喷砂防护工具中各层螺纹孔的位置一一对应。所述靶材组件喷砂防护工具适用于对长方形靶材组件喷砂时的防护，且结构简单，安装方便，能够重复使用，避免了现有技术中遮蔽工具安装繁琐且无法重复利用导致的资源浪费缺陷。

【技术实现步骤摘要】
一种靶材组件喷砂防护工具
本技术属于半导体制造
，涉及一种靶材的制造工具，尤其涉及一种靶材组件喷砂防护工具。
技术介绍
磁控溅射为半导体制造领域的常用工艺之一，磁控溅射的溅射质量直接影响溅射成膜的质量。在溅射靶材制造领域中，靶材组件由符合溅射性能的靶坯以及与靶坯通过焊接相结的背板构成。在溅射过程中，靶材组件的背板一侧通过一定压力的冷却水进行强冷，而靶坯一侧则处于高温真空环境，因此靶材组件的相对两侧形成巨大的压力差；靶坯一侧受到高压电场和强磁场中各种粒子的轰击，产生大量热量。在恶劣的磁控溅射环境下，为了确保薄膜质量的稳定性以及靶材组件的质量，对靶坯和背板的质量以及焊接结合率的要求越来越高；而对背板以及靶材的非喷砂区域进行喷砂处理，有利于提高靶材组件的质量。喷砂处理是一种以压缩空气为动力，通过形成高速喷射束将喷料高速喷射到需处理工件的表面，使工件表面获得一定的清洁度和不同的粗糙度，使工件表面的机械性能得到改善，从而提高了工件的抗疲劳性。然而对工件进行喷砂处理容易产生有机物的残留，且喷砂的范围难以准确的控制，从而增加了后续生产的难度。为了避免喷砂造成的有机物残留影响非喷砂面的表面性质，实际生产中需要对非喷砂区进行适当的遮挡。在对靶材组件进行喷砂处理之前，需要使用胶带将靶材组件的非喷砂面进行处理，以实现对非喷砂面的遮蔽。或者通过放置布料材料或有机盖板材料并通过胶带固定，实现对靶材组件非喷砂面的遮蔽。但上述这比方法耗费时间较长，而且所述套具无法重复使用，不利于资源的节约。CN111378936A公开了一种靶材组件的制作方法，所述靶材组件包括靶材与背板，所述靶材与背板连接；将靶材放入套具内，然后对背板进行喷砂处理。通过将靶材表面包裹于套具中，在喷砂过程中，套具将入射到靶材表面上的砂粒完全阻隔在靶材表面外；且通过在靶材与背板的结合处设置魔术贴，利用魔术贴的贴合进一步对砂粒进行阻隔，使靶材与背板的结合处也不会进砂粒；而且魔术贴方便贴合与拆卸，方便套具与靶材之间的贴合。然后，设置魔术贴的过程难免会对背板以及靶材的机械性能产生影响，所述制作方法在实际生产过程中难以有效实施。CN104369113A公开了一种靶材喷砂夹具和靶材喷砂方法，所述靶材喷砂夹具包括靶材卡盘，所述靶材卡盘设置有第一凹槽，所述第一凹槽用于容纳靶材；盖板，所述盖板位于所述靶材的溅射区上，用于保护溅射区；连接件，所述连接件的个数大于或等于两个，每个连接件包括第一端和第二端，所述第一端能够固定在所述第一凹槽外的靶材卡盘上，所述第二端能够固定在所述盖板上。所述靶材喷砂夹具通过对靶材的溅射区进行保护，实现了对靶材喷砂区进行精准喷砂，保证了喷砂区的尺寸与精度符合要求。但所述靶材喷砂夹具仅能够对具有固定形状与尺寸的靶材组件进行处理，且长期使用容易使靶材喷砂夹具的结构发生变化，不利于长期使用。对此，需要提供一种结构简单，且能够对靶材组件非喷砂区进行有效遮蔽的靶材喷砂防护工具，能够减少遮蔽材料的浪费，且提高遮蔽效率，提高靶材组件的加工效率。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供一种靶材组件喷砂防护工具，尤其提供一种适用于长方形靶材组件的靶材喷砂防护工具；所述靶材喷砂防护工具的结构简单，且安装方便，能够在喷砂处理时进行多次使用，避免了现有技术中遮蔽工具安装繁琐且无法重复利用导致的资源浪费缺陷。为达此目的，本技术采用以下技术方案：本技术提供了一种靶材组件喷砂防护工具，所述靶材组件喷砂防护工具包括依次层叠设置的防护层、缓冲层、定型层与基底层；所述基底层与背板的非喷沙区域接触。所述防护层、缓冲层、定型层以及基底层分别独立地设置有供固定螺栓穿过的至少两个螺纹孔；所述靶材组件喷砂防护工具中各层螺纹孔的位置一一对应。本技术通过基底层的设置，使所述靶材组件喷砂防护工具能够与背板的非喷砂区紧密连接，避免喷砂时的颗粒进入非喷砂区，而对非喷砂区的溅射性能产生不利影响；本技术通过定型层的设置为所述靶材组件喷砂防护工具提供一定的长度，避免柔性较高带来的不易定位的问题；所述缓冲层的设置能够起到喷砂处理时进行缓冲的作用，避免喷砂时的冲撞带来的形变问题；所述防护层的设置避免喷砂处理时的砂粒对缓冲层的污染。应用本技术提供的靶材组件喷砂防护工具时，可以预先在背板开设螺纹孔，通过使本申请所述靶材组件喷砂防护工具的螺纹孔与背板螺纹孔对应，将靶材组件喷砂防护工具与背板的非喷沙区域进行固定。本技术所述靶材组件喷砂防护工具中各层螺纹孔的位置一一对应是指靶材组件喷砂防护工具中防护层、缓冲层、定型层以及基底层中设置的螺纹孔的数量相同，且对应螺纹孔的中心轴线重合。优选地，所述靶材组件喷砂防护工具为长方体形靶材组件喷砂防护工具。优选地，所述靶材组件喷砂防护工具的长为280-320mm，例如可以是280mm、290mm、300mm、310mm或320mm，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用；宽为240-260mm，例如可以是240mm、245mm、250mm、255mm或260mm，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用；厚度为24-28mm，例如可以是24mm、24.5mm、25mm、25.5mm、26mm、26.5mm、27mm、27.5mm或28mm，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。本技术使靶材组件喷砂防护工具的长为280-320mm，宽为240-260mm，使所述靶材组件喷砂防护工具能够适用于本领域常规长方形靶材组件的喷砂处理防护。优选地，所述防护层为不锈钢防护层或铝防护层。所述防护层的厚度为1-2mm，例如可以是1mm、1.2mm、1.4mm、1.5mm、1.6mm、1.8mm或2mm，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。优选地，所述缓冲层为厚度10-12mm的橡胶缓冲层；所述橡胶缓冲层的厚度为10-12mm，例如可以是10mm、10.5mm、11mm、11.5mm或12mm，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。优选地，所述定型层为不锈钢定型层或铝定型层。所述定型层的厚度为1-2mm，例如可以是1mm、1.2mm、1.4mm、1.5mm、1.6mm、1.8mm或2mm，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。优选地，所述基底层为厚度10-12mm的橡胶基底层；所述橡胶基底层的厚度为10-12mm，例如可以是10mm、10.5mm、11mm、11.5mm或12mm，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。优选地，所述基底层设置有与长方形背板配套的通槽；所述通槽的深度为4-6mm，例如可以是4mm、4.5mm、5mm、5.5mm或6mm，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。作为本技术优选的技术方案，本技术通过在基底层的底部设置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种靶材组件喷砂防护工具，其特征在于，所述靶材组件喷砂防护工具包括依次层叠设置的防护层、缓冲层、定型层与基底层；所述基底层与背板的非喷沙区域接触；/n所述防护层、缓冲层、定型层以及基底层分别独立地设置有供固定螺栓穿过的至少两个螺纹孔；所述靶材组件喷砂防护工具中各层螺纹孔的位置一一对应。/n

【技术特征摘要】
1.一种靶材组件喷砂防护工具，其特征在于，所述靶材组件喷砂防护工具包括依次层叠设置的防护层、缓冲层、定型层与基底层；所述基底层与背板的非喷沙区域接触；
所述防护层、缓冲层、定型层以及基底层分别独立地设置有供固定螺栓穿过的至少两个螺纹孔；所述靶材组件喷砂防护工具中各层螺纹孔的位置一一对应。


2.根据权利要求1所述的靶材组件喷砂防护工具，其特征在于，所述靶材组件喷砂防护工具为长方体形靶材组件喷砂防护工具。


3.根据权利要求2所述的靶材组件喷砂防护工具，其特征在于，所述靶材组件喷砂防护工具的长为280-320mm，宽为240-260mm，厚度为24-28mm。


4.根据权利要求3所述的靶材组件喷砂防护工具，其特征在于，所述防护层为不锈钢防护层或铝防护层；
所述防护层的厚度为1-2mm。


5.根据权利要求3或4所述的靶材组件喷砂防护工...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，窦兴贤，王学泽，王青松，朱雪明，
申请(专利权)人：合肥江丰电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34