本实用新型专利技术提供一种UV膜解胶装置，涉及解胶装置领域。该UV膜解胶装置，包括固定箱，所述固定箱内壁两侧固定连接有两个滑轨，所述固定箱一侧设有进料板，所述进料板与其中一个滑轨滑动连接，所述固定箱另一侧设有固定板，所述固定板与另一个滑轨滑动连接，所述进料板顶部设有推动组件，所述推动组件包括固定杆，所述进料板顶部开设有圆槽。该UV膜解胶装置，同时在紫外线灯外侧设有转动板，转动转动板使伸缩杆在连接弹簧的作用下将紫外线灯进行固定，有利于使紫外线灯进行快速固定，便于后期维护处理，同时卡板推动晶圆片上升，有利于使晶圆片快速脱离加快解胶速率。
【技术实现步骤摘要】
一种UV膜解胶装置
本技术涉及解胶装置领域，具体为一种UV膜解胶装置。
技术介绍
在半导体芯片生产工艺中，在半导体芯片划片之前，要将晶圆片用划片胶膜固定在框架上，在划片工艺完成后，再用UV光源对划片固定胶膜进行照射，以降低划片固定胶膜的粘性，方便晶圆片的剥离，从而便于后续封装工序的顺利生产。专利申请号公布号为CN210489585U的专利公开一种UV膜解胶装置，包括安装壳体，安装在安装壳体上且用于晶圆片进出料的第一抽拉装置，第一抽拉装置上设有用于安装晶圆片的安装部，UV膜解胶装置还包括安装在安装壳体上的第二抽拉装置，第二抽拉装置设有散热板，且散热板上安装UV灯源板，在解胶时，UV灯源板向安装部上的晶圆片进行紫外照射用于UV膜解胶；本技术操作便捷，有效提高了解胶效率，同时便于维护更换零部件。但是在晶圆片进行照射时，需要对晶圆片进行放置于板上的凹槽，凹槽与晶圆片往往贴合，使当解胶之后，操作人员将晶圆片取出时，没有拿取的缝隙，使晶圆片拿取不便，影响晶圆片的剥离效率。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足，本技术提供了一种UV膜解胶装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。(二)技术方案为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种UV膜解胶装置，包括固定箱，所述固定箱内壁两侧固定连接有两个滑轨，所述固定箱一侧设有进料板，所述进料板与其中一个滑轨滑动连接，所述固定箱另一侧设有固定板，所述固定板与另一个滑轨滑动连接，所述进料板顶部设有推动组件；所述推动组件包括固定杆，所述进料板顶部开设有圆槽，所述进料板顶部绕圆槽外侧开设有两个限位槽，所述固定杆设置于限位槽内部，所述固定杆与限位槽内壁固定连接，所述固定杆外侧套设有棘轮，所述棘轮和固定杆之间固定连接有扭簧，所述棘轮一侧固定连接有卡板，所述卡板一侧设有棘爪，所述棘爪与卡板相接触，所述固定杆内壁固定连接有第二弹簧，所述第二弹簧贯穿棘爪并与棘爪转动连接，所述棘爪顶部固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧一端与限位槽内部底端固定连接，所述棘爪顶部设有推动杆，所述推动杆与棘爪相接触，所述推动杆贯穿进料板顶部并与进料板滑动连接，所述推动杆外侧套设有第二弹簧，所述第二弹簧一端与进料板固定连接。优选的，所述固定板顶部开设凹槽，所述固定板顶部设有紫外线灯，所述凹槽与紫外线灯相匹配。优选的，所述固定板顶部固定连接有四个连接杆，四个所述连接杆绕紫外线灯外侧环形分布，所述连接杆顶部转动连接有转动板。优选的，所述转动板顶部固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆底部固定连接有压板，所述压板与紫外线灯相接触。优选的，所述伸缩杆外侧套设有连接弹簧，所述连接弹簧一端与压板固定连接，所述连接弹簧另一端与转动板固定连接。优选的，所述进料板和紫外线灯一侧均固定连接有压板，所述压板一侧固定连接拉板。优选的，所述紫外线灯顶部设有固定板，所述磁块固定连接于其中一个压板顶部，所述固定箱顶部固定连接有铁槽，所述铁槽与磁块相匹配。优选的，所述固定箱顶部固定连接有观察窗，所述观察窗设置为透明材料。本技术提供了一种UV膜解胶装置，其具备的有益效果如下：1、该UV膜解胶装置，此时在扭簧作用下，棘轮反转，卡板推动晶圆片上升，有利于使晶圆片快速脱离加快解胶速率，避免人为拿取晶圆片时没有间隙，导致拿取晶圆片力量过大晶圆片损。2、该UV膜解胶装置，同时在紫外线灯外侧设有转动板，转动转动板使伸缩杆在连接弹簧的作用下将紫外线灯进行固定，有利于使紫外线灯进行快速固定，便于后期维护处理。附图说明图1为本技术的整体结构示意图；图2为本技术图1的A部结构放大图；图3为本技术推动组件结构示意图；图4为本技术图1的B部结构放大图。图中：1、固定箱；2、滑轨；3、进料板；4、固定板；5、紫外线灯；6、限位槽；7、固定杆；8、扭簧；9、棘轮；10、卡板；11、棘爪；12、第一弹簧；13、推动杆；14、第二弹簧；15、连接杆；16、转动板；17、伸缩杆；18、压板；19、拉板；20、磁块；21、铁槽；22、观察窗。具体实施方式本技术实施例提供一种UV膜解胶装置，如图1-4所示，包括固定箱1，固定箱1内壁两侧固定连接有两个滑轨2，固定箱1一侧设有进料板3，进料板3与其中一个滑轨2滑动连接，固定箱1顶部固定连接有观察窗22，观察窗22设置为透明材料，有利于便于对固定箱1内部进行观察，固定箱1另一侧设有固定板4，固定板4与另一个滑轨2滑动连接，进料板3顶部设有推动组件；推动组件包括固定杆7，进料板3顶部开设有圆槽，进料板3顶部绕圆槽外侧开设有两个限位槽6，固定杆7设置于限位槽6内部，固定杆7与限位槽6内壁固定连接，固定杆7外侧套设有棘轮9，棘轮9和固定杆7之间固定连接有扭簧8，棘轮9一侧固定连接有卡板10，卡板10一侧设有棘爪11，棘爪11与卡板10相接触，固定杆7内壁固定连接有第二弹簧14，第二弹簧14贯穿棘爪11并与棘爪11转动连接，棘爪11顶部固定连接有第一弹簧12，第一弹簧12一端与限位槽6内部底端固定连接，棘爪11顶部设有推动杆13，推动杆13与棘爪11相接触，推动杆13贯穿进料板3顶部并与进料板3滑动连接，推动杆13外侧套设有第二弹簧14，第二弹簧14一端与进料板3固定连接。固定板4顶部开设凹槽，固定板4顶部设有紫外线灯5，凹槽与紫外线灯5相匹配，有利于对紫外线灯5进行放置，固定板4顶部固定连接有四个连接杆15，四个连接杆15绕紫外线灯5外侧环形分布，连接杆15顶部转动连接有转动板16转动板16顶部固定连接有伸缩杆17，伸缩杆17外侧套设有连接弹簧，连接弹簧一端与压板18固定连接，连接弹簧另一端与转动板16固定连接，伸缩杆17底部固定连接有压板18，压板18与紫外线灯5相接触，有利于将对紫外线灯5进行快速拆卸，便于对紫外线灯5进行更换和维护。进料板3和紫外线灯5一侧均固定连接有压板18，压板18一侧固定连接拉板19，有利于便于将进料板3和紫外线灯5进行抽取，紫外线灯5顶部设有固定板4，磁块20固定连接于其中一个压板18顶部，固定箱1顶部固定连接有铁槽21，铁槽21与磁块20相匹配，有利于使紫外线灯5滑入固定箱1时保持稳定，避免松动。实施方式具体为：当拉动进料板3一侧的拉板19使进料板3拉出，将晶圆片放置于固定板4顶部，通过按压使卡板10进行转动，卡板10转动将带动棘轮9转动，棘轮9转动使棘爪11在第一弹簧12作用下，对棘轮9进行锁定，避免棘轮9内部的扭簧8带动棘轮9反转，当解胶结束后通过按压推动杆13，推动杆13推动棘爪11一端进行转动，棘爪11接触对棘轮9锁定，此时在扭簧8作用下，棘轮9反转，卡板10推动晶圆片上升，有利于使晶圆片快速脱离加快解胶速率，避免人工拿取晶圆片时没有间隙，拿取晶圆片力量过大时导致晶圆片损坏。同时当进料板3推入固定箱1后，在固定箱1另一侧固定板4推入固定箱1本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种UV膜解胶装置，包括固定箱(1)，其特征在于：所述固定箱(1)内壁两侧固定连接有两个滑轨(2)，所述固定箱(1)一侧设有进料板(3)，所述进料板(3)与其中一个滑轨(2)滑动连接，所述固定箱(1)另一侧设有固定板(4)，所述固定板(4)与另一个滑轨(2)滑动连接，所述进料板(3)顶部设有推动组件；/n所述推动组件包括固定杆(7)，所述进料板(3)顶部开设有圆槽，所述进料板(3)顶部绕圆槽外侧开设有两个限位槽(6)，所述固定杆(7)设置于限位槽(6)内部，所述固定杆(7)与限位槽(6)内壁固定连接，所述固定杆(7)外侧套设有棘轮(9)，所述棘轮(9)和固定杆(7)之间固定连接有扭簧(8)，所述棘轮(9)一侧固定连接有卡板(10)，所述卡板(10)一侧设有棘爪(11)，所述棘爪(11)与卡板(10)相接触，所述固定杆(7)内壁固定连接有第二弹簧(14)，所述第二弹簧(14)贯穿棘爪(11)并与棘爪(11)转动连接，所述棘爪(11)顶部固定连接有第一弹簧(12)，所述第一弹簧(12)一端与限位槽(6)内部底端固定连接，所述棘爪(11)顶部设有推动杆(13)，所述推动杆(13)与棘爪(11)相接触，所述推动杆(13)贯穿进料板(3)顶部并与进料板(3)滑动连接，所述推动杆(13)外侧套设有第二弹簧(14)，所述第二弹簧(14)一端与进料板(3)固定连接。/n...
【技术特征摘要】
1.一种UV膜解胶装置，包括固定箱(1)，其特征在于：所述固定箱(1)内壁两侧固定连接有两个滑轨(2)，所述固定箱(1)一侧设有进料板(3)，所述进料板(3)与其中一个滑轨(2)滑动连接，所述固定箱(1)另一侧设有固定板(4)，所述固定板(4)与另一个滑轨(2)滑动连接，所述进料板(3)顶部设有推动组件；
所述推动组件包括固定杆(7)，所述进料板(3)顶部开设有圆槽，所述进料板(3)顶部绕圆槽外侧开设有两个限位槽(6)，所述固定杆(7)设置于限位槽(6)内部，所述固定杆(7)与限位槽(6)内壁固定连接，所述固定杆(7)外侧套设有棘轮(9)，所述棘轮(9)和固定杆(7)之间固定连接有扭簧(8)，所述棘轮(9)一侧固定连接有卡板(10)，所述卡板(10)一侧设有棘爪(11)，所述棘爪(11)与卡板(10)相接触，所述固定杆(7)内壁固定连接有第二弹簧(14)，所述第二弹簧(14)贯穿棘爪(11)并与棘爪(11)转动连接，所述棘爪(11)顶部固定连接有第一弹簧(12)，所述第一弹簧(12)一端与限位槽(6)内部底端固定连接，所述棘爪(11)顶部设有推动杆(13)，所述推动杆(13)与棘爪(11)相接触，所述推动杆(13)贯穿进料板(3)顶部并与进料板(3)滑动连接，所述推动杆(13)外侧套设有第二弹簧(14)，所述第二弹簧(14)一端与进料板(3)固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种UV膜解胶装置，其特征在于：所述固定板(4)顶部开设凹槽，所述固定板(4...
【专利技术属性】
技术研发人员：秦可勇，徐鲲鹏，
申请(专利权)人：江苏海亿胜科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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