【技术实现步骤摘要】
刻蚀机反应腔顶盖的冷却管成型工装
本技术涉及刻蚀机的领域，尤其涉及一种刻蚀机反应腔顶盖的冷却管成型工装。
技术介绍
在半导体芯片刻蚀工艺中反应腔常用强迫液体冷却的冷却装置来控制热点温度，水冷板由导热系数高的铜或铝制成，将水循环系统嵌入冷板内部，电子组件直接固定在冷板上，利用循环系统内流动的水来排散电子组件发出的热量，为了更高效更全面的排散热量，通常铜管都设计成覆盖铝板大部分区域；现有的技术需要等铝板加工结束后才能弯管，弯管时通常采用人工折弯铜管直接埋入开好槽的铝板内，由于铜管的材质比铝板材质硬度大，弯制铜管及镶入铜管的过程中容易磕伤划伤铝板，造成外观不良，严重将导致报废，工作效率低；因此需要设计一种弯管的成型工装。
技术实现思路
本技术目的是提供一种刻蚀机反应腔顶盖的冷却管成型工装，结构简单，使用方便，弯管效率高，成型的冷却管冷却效果好；解决了以上技术问题。为了实现上述技术目的，达到上述的技术要求，本技术所采用的技术方案是：刻蚀机反应腔顶盖的冷却管成型工装，其特征在于：包括工装本体，工装本体上设置...
【技术保护点】
1.刻蚀机反应腔顶盖的冷却管成型工装，其特征在于：包括工装本体（1），工装本体（1）上设置有异形槽（2），异形槽（2）的初始端（2-1）与末端（2-2）设置为互相平行；所述的工装本体（1）还设置有转向工装a（3）和转向工装b（4），转向工装a（3）与异形槽（2）的初始端（2-1）相配合，转向工装b（4）与异形槽（2）的末端（2-2）相配合；所述的异形槽（2）的深度及宽度均大于冷却管的直径。/n
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.刻蚀机反应腔顶盖的冷却管成型工装，其特征在于：包括工装本体（1），工装本体（1）上设置有异形槽（2），异形槽（2）的初始端（2-1）与末端（2-2）设置为互相平行；所述的工装本体（1）还设置有转向工装a（3）和转向工装b（4），转向工装a（3）与异形槽（2）的初始端（2-1）相配合，转向工装b（4）与异形槽（2）的末端（2-2）相配合；所述的异形槽（2）的深度及宽度均大于冷却管的直径。
2.根据权利要求1所述的刻蚀机反应腔顶盖的冷却管成型工装，其特征在于：所述的异形槽（2）包括若干个腰形结构（2-3），相邻的腰形结构（2-3）之间通过圆弧（2-4）相连接。
技术研发人员：贾昆良，
申请(专利权)人：靖江先锋半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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