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本实用新型公开了刻蚀机反应腔顶盖的冷却管成型工装，其特点是包括工装本体，工装本体上设置有异形槽，异形槽的初始端与末端设置为互相平行；所述的工装本体还设置有转向工装a和转向工装b，转向工装a与异形槽的初始端相配合，转向工装b与异形槽的末端相配...
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