一种封闭式半导体零部件清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种封闭式半导体零部件清洗装置，包括工作箱体、导轨、丝杠及电机，工作箱体的顶端通过合页铰接设有箱盖，箱盖的内部设有喷枪，喷枪连通冷源，箱体的底面铺设有电热管；导轨及丝杠垂直设于箱体的内部，三根导轨分别固定设于箱体的三个转角处，导轨上滑动设有滑块，丝杠位于箱体剩余的转角处，丝杠上滑动设有滚珠滑台，三个滑块与滚珠滑台间通过横梁依次连接并构成矩形框体，矩形框体内铺设滤网；驱动电机位于工作箱体外，且带动丝杠旋转。本实用新型专利技术属于半导体清洗技术领域，与现有技术相比的优点在于：结构简单、骤冷骤热效果好。

【技术实现步骤摘要】
一种封闭式半导体零部件清洗装置
本技术涉及半导体清洗装置
，具体是指一种封闭式半导体零部件清洗装置。
技术介绍
半导体
使用的零部件，往往对清洁度、表面均匀度、工艺稳定性的要求较高，微小的杂质和尘埃，不均匀的颗粒大小都会影响半导体的性能。现发现高温低温交替作用后可以使半导体表面的有机污染物脱落，比如低温液氮极冷后回复至常温或者热气加热，可以骤冷骤热促使杂物结块，从而达到清洗效果，相对于溶液清洗，效果更好，更为环保。中国专利公开号CN209918487U，公开日2020年01月10日，专利技术创造的名称为“一种半导体零部件的干冷清洗装置”，此技术包括机体壳，所述机体壳的顶部安装有制冷剂储存箱与风机，所述机体壳的外部通过合页安装有机门与护板，所述机体壳的一侧外壁上安装有电机，所述机体壳的壳体内安装有电热管，所述电机的输出端上安装的转轴a一端穿过并延伸至机体壳的内部通过安装侧架安装有半导体零件安装板，所述转轴a下方位于机体壳的壳体内安装有转轴b，所述风机的输出端安装有出风管。此设计可以实现半导体零件的干冷清洗，但是其加热和制冷环节布置不合理，不仅需要交替开启，而且容易产生温度干扰，会导致骤冷与骤热的效果大大折扣，而且会导致电热管受损。因此有必要予以改进。因此有必要予以改进。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服以上技术缺陷，提供一种结构简单、使用方便、骤冷骤热效果好的封闭式半导体零部件清洗装置。为了实现上述目的，本技术所采用的技术方案是：本设计封闭式半导体零部件清洗装置，包括箱体、导轨、丝杠及电机，所述箱体的顶端通过合页铰接设有箱盖，所述箱盖的内部设有喷枪，所述喷枪连通冷源，且所述喷枪的喷嘴朝向箱体的内部设置，所述箱体的底面铺设有电热管；所述导轨及丝杠垂直设于所述箱体的内部，三根所述导轨分别固定设于所述箱体的三个转角处，所述导轨上滑动设有滑块，所述丝杠通过轴座连接所述箱体，且位于所述箱体剩余的转角处，所述丝杠上滑动设有滚珠滑台，三个所述滑块与所述滑台间通过横梁依次连接并构成矩形框体，所述矩形框体内铺设滤网；所述电机位于所述箱体外，所述电机的输出轴上固定设有第一锥齿轮，所述丝杠的顶端同轴固定设有第二锥齿轮，所述第一锥齿轮与所述第二锥齿轮啮合。进一步地，所述导轨的上部及下部均设有限位块。进一步地，所述导轨上部的所述限位块距离所述喷枪的距离为10cm，所述导轨下部的所述限位块距离所述电热管的距离为10cm。进一步地，所述滤网为刚性不锈钢网。采用上述结构后，本技术和现有技术相比所具有的优点是：本技术的利用冷热交替对半导体零件进行干冷清洗；通过喷枪及电热管进行制冷及加热，半导体零件放置在滤网上并通过丝杠及滚珠滑台驱动矩形框体在导轨上进行上下运动，使半导体零件接触冷源及热源，从而达到骤冷或骤热的目的；只需利用电机进行驱动，结构较为简单、使用方便；并且无需关闭冷源和热源，骤冷骤热效率及效果较好。附图说明图1是本技术一种封闭式半导体零部件清洗装置的结构示意图。图2是本技术一种封闭式半导体零部件清洗装置的顶面剖视图。如图所示：1、箱体，2、导轨，3、丝杠，4、电机，5、箱盖，6、喷枪，7、电热管，8、滑块，9、滚珠滑台，10、矩形框体，11、滤网，12、第一锥齿轮，13、第二锥齿轮，14、限位块。具体实施方式以下所述仅为本技术的较佳实施例，并不因此而限定本技术的保护范围，下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。实施例，见图1-2所示：本技术，一种封闭式半导体零部件清洗装置，包括箱体1、导轨2、丝杠3及电机4，所述箱体1的顶端通过合页铰接设有箱盖5，所述箱盖5的内部设有喷枪6，所述喷枪6连通冷源，且所述喷枪6的喷嘴朝向箱体1的内部设置，所述箱体1的底面铺设有电热管7；所述导轨2及丝杠3垂直设于所述箱体1的内部，三根所述导轨2分别固定设于所述箱体1的三个转角处，所述导轨2上滑动设有滑块8，所述丝杠3通过轴座连接所述箱体1，且位于所述箱体1剩余的转角处，所述丝杠3上滑动设有滚珠滑台9，三个所述滑块8与所述滚珠滑台9间通过横梁依次连接并构成矩形框体10，所述矩形框体10内铺设滤网11；所述电机4位于所述箱体1外，所述电机4的输出轴上固定设有第一锥齿轮12，所述丝杠3的顶端同轴固定设有第二锥齿轮13，所述第一锥齿轮12与所述第二锥齿轮13啮合。其中，所述导轨2的上部及下部均设有限位块14，所述导轨2上部的所述限位块14距离所述喷枪6的距离为10cm，所述导轨2下部的所述限位块14距离所述电热管7的距离为10cm，所述滤网11为刚性不锈钢网。电机4的正反转控制通过PLC控制系统通过程序进行控制，电机4的正反转控制为自动控制领域常用技术，其冷源为液氮。具体使用时，首先打开箱盖5，将半导体零件放置在滤网11上；之后关上箱盖5，即可在封闭环境下进行清洗。启动喷枪6和电热管7，喷枪6喷射液氮营造冷源，电热管7发热为热源；电机4通过控制系统进行控制，进行周期性正反转，电机4旋转带动锥齿轮一旋转，锥齿轮一与锥齿轮二传动并旋转丝杠3，丝杠3可使滚珠滑台9上下直线运动，并带动滑块8在导轨2上同步运动，因此矩形框体10会带动半导体零件接近冷源及热源，达到骤冷或骤热，其限位块14可保护半导体零件使其不直接接触冷源或热源。以上对本技术及其实施方式进行了描述，这种描述没有限制性，附图中所示的也只是本技术的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。总而言之如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本技术创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种封闭式半导体零部件清洗装置，其特征在于：包括箱体(1)、导轨(2)、丝杠(3)及电机(4)，所述箱体(1)的顶端通过合页铰接设有箱盖(5)，所述箱盖(5)的内部设有喷枪(6)，所述喷枪(6)连通冷源，且所述喷枪(6)的喷嘴朝向箱体(1)的内部设置，所述箱体(1)的底面铺设有电热管(7)；/n所述导轨(2)及丝杠(3)垂直设于所述箱体(1)的内部，三根所述导轨(2)分别固定设于所述箱体(1)的三个转角处，所述导轨(2)上滑动设有滑块(8)，所述丝杠(3)通过轴座连接所述箱体(1)，且位于所述箱体(1)剩余的转角处，所述丝杠(3)上滑动设有滚珠滑台(9)，三个所述滑块(8)与所述滚珠滑台(9)间通过横梁依次连接并构成矩形框体(10)，所述矩形框体(10)内铺设滤网(11)；/n所述电机(4)位于所述箱体(1)外，所述电机(4)的输出轴上固定设有第一锥齿轮(12)，所述丝杠(3)的顶端同轴固定设有第二锥齿轮(13)，所述第一锥齿轮(12)与所述第二锥齿轮(13)啮合。/n

【技术特征摘要】
1.一种封闭式半导体零部件清洗装置，其特征在于：包括箱体(1)、导轨(2)、丝杠(3)及电机(4)，所述箱体(1)的顶端通过合页铰接设有箱盖(5)，所述箱盖(5)的内部设有喷枪(6)，所述喷枪(6)连通冷源，且所述喷枪(6)的喷嘴朝向箱体(1)的内部设置，所述箱体(1)的底面铺设有电热管(7)；
所述导轨(2)及丝杠(3)垂直设于所述箱体(1)的内部，三根所述导轨(2)分别固定设于所述箱体(1)的三个转角处，所述导轨(2)上滑动设有滑块(8)，所述丝杠(3)通过轴座连接所述箱体(1)，且位于所述箱体(1)剩余的转角处，所述丝杠(3)上滑动设有滚珠滑台(9)，三个所述滑块(8)与所述滚珠滑台(9)间通过横梁依次连接并构成矩形框体(10)，所述矩形框体(10)内铺设滤网(11)；
...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈如明，陈彩丽，卜庆磊，
申请(专利权)人：英迪那米徐州半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32