一种硅晶棒取料系统技术方案

技术编号:28924985 阅读:14 留言:0更新日期:2021-06-18 21:20
本发明专利技术涉及一种硅晶棒取料系统,包括工作台、盛料装置、支撑装置和取料装置,所述的盛料装置包括矩形空心架、盛料板、一号电动推杆、第一推板、水平板、二号电动推杆、第二推板和隔离架,本发明专利技术通过设置的工作台、盛料装置、支撑装置和取料装置的配合,首先将需要进行取料的硅晶棒放置到盛料装置中,盛料装置可以根据不同的直径对硅晶棒进行有序排列,从而提高了机械的适用性,此时在通过设置的支撑装置对不同长度的硅晶棒进行限位,使得硅晶棒位于取料装置的正中心位置,最后通过取料装置将硅晶棒进行取料,设置的取料装置使得再对硅晶棒进行取料时不会发生倾斜现象。

【技术实现步骤摘要】
一种硅晶棒取料系统
本专利技术涉及硅晶棒取料领域,具体的说是一种硅晶棒取料系统。
技术介绍
硅晶(英文Monocrystalinesilicon),是硅的晶体,包括多晶硅和单晶硅,不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料。单晶硅具有基本完整的点阵结构的晶体,多晶硅,是单质硅的一种形态。单晶硅具有金刚石晶格,晶体硬而脆,具有金属光泽,能导电,但导电率不及金属,且随着温度升高而增加,具有半导体性质,单晶硅是重要的半导体材料。多晶硅可作拉制单晶硅的原料,具有较大的化学活泼性,能与几乎任何材料作用。具有半导体性质,是极为重要的优良半导体材料,但微量的杂质即可大大影响其导电性,硅晶可以制作成硅晶棒。在对硅晶棒进行取料的过程中,由于硅晶棒的结构限制,导致在实际操作过程中,存在以下问题:1传统的硅晶棒在进行取料的过程中,不能够根据硅晶棒的直径不同和长度不同进行取料,从而大大降低了机械在取料时的适用性。2传统的硅晶棒在进行取料的过程中,由于硅晶棒长度的不同,无法保证在抓取时是硅晶棒的正中心位置,导致在对硅晶棒进行取料时会发生倾斜现象,从而影响下一步对硅晶棒的加工。
技术实现思路
为了弥补现有技术的不足,本专利技术提供了一种硅晶棒取料系统。本专利技术所要解决其技术问题所采用以下技术方案来实现:一种硅晶棒取料系统,包括工作台、盛料装置、支撑装置和取料装置,所述的工作台的顶部由左至右依次设置有盛料装置、支撑装置和取料装置;所述的盛料装置包括矩形空心架、盛料板、一号电动推杆、第一推板、水平板、二号电动推杆、第二推板和隔离架,所述的工作台顶部左侧固定安装有矩形空心架,所述的矩形空心架的内壁下端固定安装有盛料板,所述的盛料板为倾斜状,且矩形空心架的左侧内壁且位于盛料板的上方开设有固定槽,固定槽内固定安装有一号电动推杆,一号电动推杆的移动端固定安装有第一推板,第一推板的底部和盛料板的顶部相接触,矩形空心架的右侧内壁且位于盛料板的上方开设有一号矩形通槽,且所述的矩形空心架的内壁且位于盛料板的正上方固定安装有水平板,水平板的左侧顶部由前至后开设有二号矩形通槽,矩形空心架的右侧内壁且位于水平板的上方开设有移动槽,移动槽内固定安装有二号电动推杆,二号电动推杆的移动端固定安装有第二推板,所述的矩形空心架的左端内壁且位于水平板的上方设置有隔离架;所述的支撑装置包括支座、一号弧形凹槽、挡板、滑移槽、滑动块、限位板、垂直立板和伸缩支架杆,所述的工作台的顶部且位于矩形空心架的右侧固定安装有支座,支座的顶部由前至后开设有一号弧形凹槽,所述的支座的左右两端固定安装有挡板,挡板的高度和一号矩形通槽的底部相平齐,且左侧的挡板和矩形空心架相接触,两组挡板的顶部前后对称开设有滑移槽,滑移槽内安装有滑动块,两组滑动块之间通过限位板相连接,所述的工作台的顶部且位于支座的前后两侧对称固定安装有垂直立板,两组垂直立板的相对面开设有限位槽,限位槽内安装有伸缩支架杆,伸缩支架杆的移动端和限位板的一端固定连接;所述的取料装置包括圆柱杆、伸缩板、移动板、电动气缸、转动杆、矩形板、电动滑块、一号夹紧架、二号夹紧架和移动架,所述的工作台的顶部且位于支撑装置的右侧通过轴承安装有圆柱杆,圆柱杆的顶部固定安装有伸缩板,伸缩板的右端底部安装有加重块,伸缩板的左端固定安装有移动板,移动板的底部开设有一号圆形凹槽,一号圆形凹槽内安装有电动气缸,电动气缸的移动端固定安装有转动杆,转动杆的底部固定安装有矩形板,矩形板的底部前后两侧对称开设有滑动槽,滑动槽内设置有电动滑块,且滑动槽内还设置有一号夹紧架,电动滑块和一号夹紧架固定连接,且矩形板的底部中间位置固定安装有二号夹紧架,且工作台顶部且位于圆柱杆的位置设置有移动架。作为本专利技术的一种优选技术方案,所述的隔离架包括三号矩形通槽、隔离板、圆形杆和L形定位杆,所述的矩形空心架的左端内壁且位于水平板的上方由下至上均匀开设有三号矩形通槽,三号矩形通槽内设置有隔离板,隔离板的一端由上至下开设有定位孔,且矩形空心架的顶部左端中心位置开设有二号圆形凹槽,二号圆形凹槽内设置有圆形杆,圆形杆的左侧壁固定安装有L形定位杆,L形定位杆的竖直段位于定位孔内。作为本专利技术的一种优选技术方案,所述的水平板的顶部左侧由前至后开设有一号矩形凹槽,一号矩形凹槽内均匀设置有压缩弹簧,压缩弹簧的顶部固定安装有梯形板。作为本专利技术的一种优选技术方案,所述的一号弧形凹槽的上端面均匀设置有多组小弹簧,小弹簧的顶部固定安装有一号弧形板,一号弧形板上安装有橡胶垫。作为本专利技术的一种优选技术方案,所述的一号夹紧架包括伸出板、弧形夹紧板、伸缩弹簧杆、环形板和伸缩杆,滑动槽内设置有伸出板,伸出板的前后两端面左右两侧对称通过销轴安装有两组弧形夹紧板,两组弧形夹紧板之间通过伸缩弹簧杆相连接,且两组弧形夹紧板外套设有环形板,所述的伸出板的底部且位于两组弧形夹紧板的左右两侧对称固定安装有伸缩杆,伸缩杆的末端和环形板的上端面固定连接。作为本专利技术的一种优选技术方案,所述的二号夹紧架和一号夹紧架的结构相同。作为本专利技术的一种优选技术方案,所述的移动架包括从动齿轮、驱动电机和不完全齿轮,所述的圆柱杆的下端固定安装有从动齿轮,所述的工作台的顶部开设有放置槽,放置槽内安装有驱动电机,驱动电机的输出轴安装有不完全齿轮,不完全齿轮和从动齿轮啮合传动。与现有技术相比,本专利技术具有以下优点:1.本专利技术通过设置的工作台、盛料装置、支撑装置和取料装置的配合,首先将需要进行取料的硅晶棒放置到盛料装置中,盛料装置可以根据不同的直径对硅晶棒进行有序排列,从而提高了机械的适用性,此时在通过设置的支撑装置对不同长度的硅晶棒进行限位,使得硅晶棒位于取料装置的正中心位置,最后通过取料装置将硅晶棒进行取料,设置的取料装置使得再对硅晶棒进行取料时不会发生倾斜现象。2.本专利技术通过设置的隔离架,当需要进行取料时的硅晶棒的直径不同时,此时将隔离板放入到合适的三号矩形通槽内,放入之后,此时将圆形杆放入到二号圆形凹槽内,圆形杆使得L形定位杆位于隔离板上的定位孔内,L形定位杆对隔离板进行限位固定,从而保证在推料时硅晶棒不会发生重叠现象。3.本专利技术通过设置的支撑装置,当盛料装置将硅晶棒运输到支座上时,此时硅晶棒刚好掉落到一号弧形凹槽内,此时可以根据硅晶棒不同的长度对硅晶棒的位置进行调节,此时启动伸缩支架杆,两组伸缩支架杆相向运动,从而推动两组限位板进行相向运动,限位板使得硅晶棒位于一号弧形凹槽的正中心位置,从而使得取料装置方便取料。附图说明下面结合附图和实施例对本专利技术进一步说明。图1是本专利技术的立体结构示意图;图2是本专利技术的主视结构示意图;图3是本专利技术的俯视结构示意图;图4是本专利技术的右视结构示意图;图5是本专利技术电动滑块、一号夹紧架、二号夹紧架、伸出板、弧形夹紧板、环形板和伸缩杆的结构示意图;图6是本专利技术支座、一号弧形凹槽、挡板、滑移槽、滑动块和限位板的结构示意图;图7是本专利技术图2的M向局部放大图;本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅晶棒取料系统,包括工作台(1)、盛料装置(2)、支撑装置(3)和取料装置(4),其特征在于:所述的工作台(1)的顶部由左至右依次设置有盛料装置(2)、支撑装置(3)和取料装置(4);/n所述的盛料装置(2)包括矩形空心架(20)、盛料板(21)、一号电动推杆(22)、第一推板(23)、水平板(24)、二号电动推杆(25)、第二推板(26)和隔离架(27),所述的工作台(1)顶部左侧固定安装有矩形空心架(20),所述的矩形空心架(20)的内壁下端固定安装有盛料板(21),所述的盛料板(21)为倾斜状,且矩形空心架(20)的左侧内壁且位于盛料板(21)的上方开设有固定槽,固定槽内固定安装有一号电动推杆(22),一号电动推杆(22)的移动端固定安装有第一推板(23),第一推板(23)的底部和盛料板(21)的顶部相接触,矩形空心架(20)的右侧内壁且位于盛料板(21)的上方开设有一号矩形通槽,且所述的矩形空心架(20)的内壁且位于盛料板(21)的正上方固定安装有水平板(24),水平板(24)的左侧顶部由前至后开设有二号矩形通槽,矩形空心架(20)的右侧内壁且位于水平板(24)的上方开设有移动槽,移动槽内固定安装有二号电动推杆(25),二号电动推杆(25)的移动端固定安装有第二推板(26),所述的矩形空心架(20)的左端内壁且位于水平板(24)的上方设置有隔离架(27);/n所述的支撑装置(3)包括支座(30)、一号弧形凹槽(31)、挡板(32)、滑移槽(33)、滑动块(34)、限位板(35)、垂直立板(36)和伸缩支架杆(37),所述的工作台(1)的顶部且位于矩形空心架(20)的右侧固定安装有支座(30),支座(30)的顶部由前至后开设有一号弧形凹槽(31),所述的支座(30)的左右两端固定安装有挡板(32),挡板(32)的高度和一号矩形通槽的底部相平齐,且左侧的挡板(32)和矩形空心架(20)相接触,两组挡板(32)的顶部前后对称开设有滑移槽(33),滑移槽(33)内安装有滑动块(34),两组滑动块(34)之间通过限位板(35)相连接,所述的工作台(1)的顶部且位于支座(30)的前后两侧对称固定安装有垂直立板(36),两组垂直立板(36)的相对面开设有限位槽,限位槽内安装有伸缩支架杆(37),伸缩支架杆(37)的移动端和限位板(35)的一端固定连接;/n所述的取料装置(4)包括圆柱杆(40)、伸缩板(41)、移动板(42)、电动气缸(43)、转动杆(44)、矩形板(45)、电动滑块(46)、一号夹紧架(47)、二号夹紧架(48)和移动架(49),所述的工作台(1)的顶部且位于支撑装置(3)的右侧通过轴承安装有圆柱杆(40),圆柱杆(40)的顶部固定安装有伸缩板(41),伸缩板(41)的右端底部安装有加重块,伸缩板(41)的左端固定安装有移动板(42),移动板(42)的底部开设有一号圆形凹槽,一号圆形凹槽内安装有电动气缸(43),电动气缸(43)的移动端固定安装有转动杆(44),转动杆(44)的底部固定安装有矩形板(45),矩形板(45)的底部前后两侧对称开设有滑动槽,滑动槽内设置有电动滑块(46),且滑动槽内还设置有一号夹紧架(47),电动滑块(46)和一号夹紧架(47)固定连接,且矩形板(45)的底部中间位置固定安装有二号夹紧架(48),且工作台(1)顶部且位于圆柱杆(40)的位置设置有移动架(49)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种硅晶棒取料系统,包括工作台(1)、盛料装置(2)、支撑装置(3)和取料装置(4),其特征在于:所述的工作台(1)的顶部由左至右依次设置有盛料装置(2)、支撑装置(3)和取料装置(4);
所述的盛料装置(2)包括矩形空心架(20)、盛料板(21)、一号电动推杆(22)、第一推板(23)、水平板(24)、二号电动推杆(25)、第二推板(26)和隔离架(27),所述的工作台(1)顶部左侧固定安装有矩形空心架(20),所述的矩形空心架(20)的内壁下端固定安装有盛料板(21),所述的盛料板(21)为倾斜状,且矩形空心架(20)的左侧内壁且位于盛料板(21)的上方开设有固定槽,固定槽内固定安装有一号电动推杆(22),一号电动推杆(22)的移动端固定安装有第一推板(23),第一推板(23)的底部和盛料板(21)的顶部相接触,矩形空心架(20)的右侧内壁且位于盛料板(21)的上方开设有一号矩形通槽,且所述的矩形空心架(20)的内壁且位于盛料板(21)的正上方固定安装有水平板(24),水平板(24)的左侧顶部由前至后开设有二号矩形通槽,矩形空心架(20)的右侧内壁且位于水平板(24)的上方开设有移动槽,移动槽内固定安装有二号电动推杆(25),二号电动推杆(25)的移动端固定安装有第二推板(26),所述的矩形空心架(20)的左端内壁且位于水平板(24)的上方设置有隔离架(27);
所述的支撑装置(3)包括支座(30)、一号弧形凹槽(31)、挡板(32)、滑移槽(33)、滑动块(34)、限位板(35)、垂直立板(36)和伸缩支架杆(37),所述的工作台(1)的顶部且位于矩形空心架(20)的右侧固定安装有支座(30),支座(30)的顶部由前至后开设有一号弧形凹槽(31),所述的支座(30)的左右两端固定安装有挡板(32),挡板(32)的高度和一号矩形通槽的底部相平齐,且左侧的挡板(32)和矩形空心架(20)相接触,两组挡板(32)的顶部前后对称开设有滑移槽(33),滑移槽(33)内安装有滑动块(34),两组滑动块(34)之间通过限位板(35)相连接,所述的工作台(1)的顶部且位于支座(30)的前后两侧对称固定安装有垂直立板(36),两组垂直立板(36)的相对面开设有限位槽,限位槽内安装有伸缩支架杆(37),伸缩支架杆(37)的移动端和限位板(35)的一端固定连接;
所述的取料装置(4)包括圆柱杆(40)、伸缩板(41)、移动板(42)、电动气缸(43)、转动杆(44)、矩形板(45)、电动滑块(46)、一号夹紧架(47)、二号夹紧架(48)和移动架(49),所述的工作台(1)的顶部且位于支撑装置(3)的右侧通过轴承安装有圆柱杆(40),圆柱杆(40)的顶部固定安装有伸缩板(41),伸缩板(41)的右端底部安装有加重块,伸缩板(41)的左端固定安装有移动板(42),移动板(42)的底部开设有一号圆形凹槽,一号圆形凹槽内安装有电动气缸(43),电动气缸(43)的移动端固定安...

【专利技术属性】
技术研发人员:不公告发明人
申请(专利权)人:新一代半导体研究所深圳有限公司
类型:发明
国别省市:广东;44

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