【技术实现步骤摘要】
一种多腔体等离子处理自动上下料系统
本专利技术涉及等离子体对材料的处理领域,更具体地,涉及到一种多腔体等离子处理自动上下料系统。
技术介绍
当前业界普遍使用的等离子体处理设备为单腔多片处理系统,需要人工干预上下料,我们了解等离子处理基板的上板程序是等离子处理流程中重要程序,而且有着严格的工艺要求。在进行上板工艺处理时,因为设备的限制,往往需要人力将每一块基板定位安装到台车上,然后将上了基板的台车人工送至等离子处理系统中进行加工处理。这种单腔体处理系统,需要工作人员比较多,基本要需要一个员工负责一台台车的上板工作,还需要一个员工负责接送等离子真空处理腔体内的基板,需要支付的人工费用比较多,工作效率低下。
技术实现思路
为了克服上述缺陷,本专利技术提供了一种多腔体等离子处理自动上下料系统,这种系统的优点是设备组合结构简单,成本低廉,操作简便,可以广泛地应用在等离子体对材料的处理领域。本专利技术为了解决其技术问题所采用的技术方案是:一种多腔体等离子处理自动上下料系统,包括两个等离子真空处理腔体,每个等离子真空处理腔体的前端对应设有上下两层输送腔体组成的送料区,每个输送腔体内可容置至少一辆台车,所述两个送料区之间设有供台车转接的转接区,所述转接区同样由上下两层输送腔体组成,所述等离子真空处理腔体设置在送料区的上层输送腔体后方,由上层输送腔体内的台车推入或拉出等离子真空处理腔体;所述两个送料区和一个转接区的六个输送腔体内设有五台台车,送料区和转接区的上下两层输送腔体之间的台车通过升降机进行传送,同一 ...
【技术保护点】
1.一种多腔体等离子处理自动上下料系统,包括两个等离子真空处理腔体(1),其特征在于:每个等离子真空处理腔体(1)的前端对应设有上下两层输送腔体(2)组成的送料区(3),每个输送腔体(2)内可容置至少一辆台车(4),所述两个送料区(3)之间设有供台车转接的转接区(5),所述转接区(5)同样由上下两层输送腔体(2)组成,所述等离子真空处理腔体(1)设置在送料区(3)的上层输送腔体(2)后方,由上层输送腔体(2)内的台车推入或拉出等离子真空处理腔体(1);所述两个送料区(3)和一个转接区(5)的六个输送腔体(2)内设有五台台车(4),送料区(3)和转接区(5)的上下两层输送腔体(2)之间的台车(4)通过升降机进行传送,同一水平层的输送腔体(2)之间的台车(4)通过导辊或输送带进行传输,在其中一送料区(3)的下层输送腔体(2)一侧设置单槽夹具上下板区(6)。/n
【技术特征摘要】
1.一种多腔体等离子处理自动上下料系统,包括两个等离子真空处理腔体(1),其特征在于:每个等离子真空处理腔体(1)的前端对应设有上下两层输送腔体(2)组成的送料区(3),每个输送腔体(2)内可容置至少一辆台车(4),所述两个送料区(3)之间设有供台车转接的转接区(5),所述转接区(5)同样由上下两层输送腔体(2)组成,所述等离子真空处理腔体(1)设置在送料区(3)的上层输送腔体(2)后方,由上层输送腔体(2)内的台车推入或拉出等离子真空处理腔体(1);所述两个送料区(3)和一个转接区(5)的六个输送腔体(2)内设有五台台车(4),送料区(3)和转接区(5)的上下两层输送腔体(2)之间的台车(4)通过升降机进行传送,同一水平层的输送...
【专利技术属性】
技术研发人员:张明德,汤家云,刘庆峰,
申请(专利权)人:扬州国兴技术有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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