一种用于晶圆加工的轴心定位装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及晶圆加工技术领域，公开了一种用于晶圆加工的轴心定位装置，包括载片台，载片台上开设有以载片台的中轴线为阵列中心呈环形阵列设置的至少三条滑槽，滑槽内均滑动连接有滑块，滑块的顶部上均设有定位块；载片台内部设有以载片台的中轴线为阵列中心呈环形阵列设置的第一锥齿轮，第一锥齿轮的齿座部均接有呈水平设置的丝杠，丝杠一端与第一锥齿轮的齿座部固接在一起，另一端与载片台的内侧壁转动连接在一起，丝杠上均设有丝杠螺母和连接块，连接块的顶部与其所在丝杠对应的滑槽内接有的滑块的底部固接在一起，第一锥齿轮上均接有用于带动所有第一锥齿轮运动的传动组件；本实用新型专利技术具有定位准确、花费时间短、工作效率高的特点。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆加工的轴心定位装置
本技术晶圆加工涉及
，具体涉及一种用于晶圆加工的轴心定位装置。
技术介绍
光刻涂胶工艺是晶圆加工中的一项工艺步骤，其需要将晶圆中心与光刻涂胶机的载片台中心保持高度重合，从而确保晶圆在加工过程中晶圆表面的光刻胶厚度均匀一致，不会出现晕圈慧尾等现象。目前，在对6寸及6寸以上直径的晶圆进行加工时，光刻涂胶机均设计为全自动涂胶，主要通过坐标或红外检测等技术手段，由机械手臂完成晶圆中心和载片台中心的对准，在作业2寸、3寸、4寸直径晶圆时，出于成本考虑，光刻涂胶机均设计为手动操作，晶圆中心和载片台中心需要手动进行对准；而手动方式很难保证两个中心的完全重合，从而对涂覆的光刻胶厚度的均匀性造成影响，存在有成品效果较差的问题，并且在手动对准的过程中需要反复调整晶圆位置，存在有花费的时间较久，工作效率低下的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供一种用于晶圆加工的轴心定位装置。为了解决上述技术问题，本技术的技术方案是：一种用于晶圆加工的轴心定位装置，包括载片台，所述载片台上开设有以载片台的中轴本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于晶圆加工的轴心定位装置，包括载片台(1)，其特征在于：所述载片台(1)上开设有以载片台(1)的中轴线为阵列中心呈环形阵列设置的至少三条滑槽(2)，滑槽(2)内均滑动连接有滑块(3)，滑块(3)的顶部上均设有位于载片台(1)顶面上的用于对晶圆本体(m)定位的定位块(4)；载片台(1)内部设有以载片台(1)的中轴线为阵列中心呈环形阵列设置的第一锥齿轮(5)，第一锥齿轮(5)的数量与滑槽(2)的数量相同，第一锥齿轮(5)均呈竖直设置，第一锥齿轮(5)的齿座部均接有呈水平设置的丝杠(6)，丝杠(6)的位置设置与滑槽(2)一一对应，丝杠(6)一端与第一锥齿轮(5)的齿座部固接在一起，另一端与...

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆加工的轴心定位装置，包括载片台(1)，其特征在于：所述载片台(1)上开设有以载片台(1)的中轴线为阵列中心呈环形阵列设置的至少三条滑槽(2)，滑槽(2)内均滑动连接有滑块(3)，滑块(3)的顶部上均设有位于载片台(1)顶面上的用于对晶圆本体(m)定位的定位块(4)；载片台(1)内部设有以载片台(1)的中轴线为阵列中心呈环形阵列设置的第一锥齿轮(5)，第一锥齿轮(5)的数量与滑槽(2)的数量相同，第一锥齿轮(5)均呈竖直设置，第一锥齿轮(5)的齿座部均接有呈水平设置的丝杠(6)，丝杠(6)的位置设置与滑槽(2)一一对应，丝杠(6)一端与第一锥齿轮(5)的齿座部固接在一起，另一端与载片台(1)的内侧壁转动连接在一起，丝杠(6)上均设有丝杠螺母(7)和连接块(8)，其中，丝杠螺母(7)与丝杠(6)螺接在一起，连接块(8)与丝杠(6)滑动连接在一起，且连接块(8)与丝杠螺母(7)固接在一起，连接块(8)的顶部与其所在丝杠(6)对应的滑槽(2)内接有的滑块(3)的底部固接在一起；第一锥齿轮(5)上均接有用于带动所有第一锥齿轮(5)同时进行运动的传动组件。


2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆加工的轴心定位装置，其特征在于：所述滑槽(2)的数量为4条。


3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆加工的轴心定位装置，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘加美，曹芳，刘俊呈，
申请(专利权)人：南京禅生半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32