【技术实现步骤摘要】
一种气浮硅片传输机构
本技术涉及硅片传输设备领域，涉及一种气浮硅片传输机构。
技术介绍
在硅片加工和生产的过程中，为了满足不同的应用需要，需要根据具体的工序要求将硅片进行各种化学处理。随着加工生产的自动化程度逐渐提高，硅片在各个工序之间一般都是通过流水线进行运输。现有技术中，硅片在运输的过程中一般是利用滚轮传动等传动方式，但是现有的传送放置在输送的过程中容易因操作不当极易导致硅片表面磨损或污染，从而影响了硅片的正常使用。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种避免硅片上下表面与其他部件接触，减小硅片表面的磨损的气浮硅片传输机构。为了解决上述技术问题，本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种气浮硅片传输机构，包括机架、气浮组件以及传输组件，所述气浮组件、传输组件均设置在所述机架上，所述传输组件包括传输架以及两皮带单元，两皮带单元设置在所述传输架上，所述传输架设置在所述机架上，所述气浮组件设置在两皮带单元之间，所述皮带单元上设置有挡料部件，驱动单元，所述驱动单元与两皮带单元驱动连接，通...
【技术保护点】
1.一种气浮硅片传输机构，其特征在于，包括机架、气浮组件以及传输组件，所述气浮组件、传输组件均设置在所述机架上，所述传输组件包括传输架以及两皮带单元，两皮带单元设置在所述传输架上，所述传输架设置在所述机架上，所述气浮组件设置在两皮带单元之间，所述皮带单元上设置有挡料部件，驱动单元，所述驱动单元与两皮带单元驱动连接，通过所述驱动单元驱动皮带单元转动带动挡料部件上的硅片移动。/n
【技术特征摘要】
1.一种气浮硅片传输机构，其特征在于，包括机架、气浮组件以及传输组件，所述气浮组件、传输组件均设置在所述机架上，所述传输组件包括传输架以及两皮带单元，两皮带单元设置在所述传输架上，所述传输架设置在所述机架上，所述气浮组件设置在两皮带单元之间，所述皮带单元上设置有挡料部件，驱动单元，所述驱动单元与两皮带单元驱动连接，通过所述驱动单元驱动皮带单元转动带动挡料部件上的硅片移动。
2.如权利要求1所述的气浮硅片传输机构，其特征在于，所述气浮组件包括气浮平台以及气浮支架，所述气浮支架设置在所述机架上，所述气浮平台设置在所述气浮支架上，所述气浮平台上设置有出气孔。
3.如权利要求1所述的气浮硅片传输机构，其特征在于，所述皮带单元包括传输皮带、皮带架，所述皮带架两端设置有驱动架，所述驱动架上设置有驱动轮，两驱动轮通过传输皮带连接。
4.如权利要求3所述的气浮硅片传输机构，其特征在于，所述驱动单元包括驱动支架以及驱动电机，所述驱动电机与减速机连接，所述减速机设置在所述驱动支架上，所述驱动支架设置在所述机架上，所述减速机输出轴通过联轴器与驱动轴连接，所述驱动轴穿设在两皮带单元的驱动轮上，通过驱动电机驱动驱动轴转动带动两皮带单元上的驱动轮同步转动。
5.如权利要求3所述的气...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴廷斌，张学强，张建伟，罗银兵，刘三利，
申请(专利权)人：罗博特科智能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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