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本实用新型涉及硅片传输设备领域，涉及一种气浮硅片传输机构。本实用新型通过两皮带单元上的挡料部件对硅片进行支撑，通过驱动单元驱动皮带单元转动带动挡料部件上的硅片移动来实现硅片的运输；避免硅片上下表面与其他部件接触，从而减小了运输过程中硅片表面...
该专利属于罗博特科智能科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗博特科智能科技股份有限公司授权不得商用。

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