基板输送装置、基板处理装置以及基板处理方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及基板输送装置、基板处理装置和基板处理方法，能够缩短基板输送时间。作为实施方式的基板输送装置发挥功能的第2输送机器人(14)具备：第1把持板(21)；第1爪部(21b)，被该第1把持板支撑，相对于第1把持板的表面在上下具有与基板(W)的外周面抵接的抵接面；第2把持板(22)，被设置成与第1把持板重叠；第2爪部(22b)，被该第2把持板支撑，相对于第1把持板的表面在上下具有与基板的外周面抵接的抵接面；和把持部(23)，以使第1爪部以及第2爪部在与基板的外周面相交的方向上接近或分离的方式，使第1把持板以及第2把持板相对移动。

【技术实现步骤摘要】
基板输送装置、基板处理装置以及基板处理方法本申请是申请日为2017年3月31日、申请号为201710206582.2、专利技术名称为《基板输送装置、基板处理装置以及基板处理方法》的分案申请。
本专利技术的实施方式涉及基板输送装置、基板处理装置以及基板处理方法。
技术介绍
基板处理装置是在半导体、液晶面板等的制造工序中，对晶片、液晶基板等的基板表面供给处理液(例如，抗蚀剂剥离液、漂洗(rinse)液、清洗液等)来对基板表面进行处理的装置。在该基板处理装置中，从均匀性、再现性的角度出发，采用了将基板在专用的处理室逐张进行处理的单张处理方式。另外，为了实现基板输送系统的共用化，基板被收纳于共用的专用箱(例如FOUP等)而进行输送。在该专用箱中，基板以规定间隔层叠而被收纳。在基板处理装置中，使用输送机器人等基板输送装置，从专用箱取出基板并输送至处理室，然后，处理完毕的基板被收纳于专用箱。此时，基板处理的种类并不限定于一个种类，也存在多种处理工序(例如，抗蚀剂剥离工序、漂洗工序、清洗工序等)在每个种类的专用的处理室中进行、之后基板被返回到本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板输送装置，其特征在于，具备：/n第1把持板；/n第1爪部，被上述第1把持板支撑，相对于上述第1把持板的表面，在上下具有与基板的外周面抵接的抵接面；/n第2把持板，被设置成与上述第1把持板重叠；/n第2爪部，被上述第2把持板支撑，相对于上述第1把持板的表面，在上下具有与上述基板的外周面抵接的抵接面；以及/n把持部，具有单一的驱动源，上述单一的驱动源以使上述第1爪部以及上述第2爪部这两个爪部在与上述基板的外周面相交的方向上接近或远离、由此通过上述第1爪部以及上述第2爪部把持上述基板或将上述基板解放的方式，使上述第1把持板以及上述第2把持板这两个把持板移动，/n上述把持部，在载置第1基板...

【技术特征摘要】
20160331 JP 2016-0730921.一种基板输送装置，其特征在于，具备：
第1把持板；
第1爪部，被上述第1把持板支撑，相对于上述第1把持板的表面，在上下具有与基板的外周面抵接的抵接面；
第2把持板，被设置成与上述第1把持板重叠；
第2爪部，被上述第2把持板支撑，相对于上述第1把持板的表面，在上下具有与上述基板的外周面抵接的抵接面；以及
把持部，具有单一的驱动源，上述单一的驱动源以使上述第1爪部以及上述第2爪部这两个爪部在与上述基板的外周面相交的方向上接近或远离、由此通过上述第1爪部以及上述第2爪部把持上述基板或将上述基板解放的方式，使上述第1把持板以及上述第2把持板这两个把持板移动，
上述把持部，在载置第1基板的第1高度位置，使上述第1基板成为从通过上述第1爪部和上述第2爪部把持的状态解放的状态，在把持位于上述第1基板的上方或下方的位置的第2基板的第2高度位置，使上述第2基板成为通过上述第1爪部和上述第2爪部把持的状态。


2.如权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于，
上述把持部具有：
支撑板；
线性引导件，被上述支撑板支撑，沿上述第1把持板及上述第2把持板移动的方向延伸；
第1直动块，被固定于上述第1把持板，沿上述线性引导件移动；
第2直动块，被固定于上述第2把持板，沿上述线性引导件移动；
气缸，与上述第1把持板及上述第2把持板中的一个把持板连接，使上述一个把持板沿上述第1把持板及上述第2把持板移动的方向移动；以及
摆动销机构，使由上述气缸带来的上述一个把持板的移动转换为与上述一个把持板的移动方向相反方向的移动，并相对于上述第1把持板及第2把持板中的另一个把持板进行传达。


3.如权利要求2所述的基板输送装置，其特征在于，
在上述第2把持板设有第1贯通孔和开口尺寸比上述第1贯通孔大的第2贯通孔，
在上述第1把持板设有第3贯通孔和开口尺寸比上述第3贯通孔大的第4贯通孔，
上述摆动销机构具有：
旋转体，设于上述支撑板，能够以该旋转体的中心为旋转轴进行旋转；以及
第1摆动销和第2摆动销，设于上述旋转体，并被定位于将旋转轴夹于中间而对置的位置，
上述第1摆动销将上述第1贯通孔和上述第3贯通孔贯通，上述第2摆动销将上述第2贯通孔和上述第4贯通孔贯通。


4.如权利要求1～3中任一项所述的基板输送装置，其特征在于，
上述第1爪部具...

【专利技术属性】
技术研发人员：古矢正明，
申请(专利权)人：芝浦机械电子株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP