一种对准标记选择方法、装置、设备、光刻系统及介质制造方法及图纸

本申请实施例公开了一种对准标记选择方法、装置、设备、光刻系统及介质。该方法包括：将基板中设置的设定数量的对准标记作为染色体，并构建包含多个染色体的种群；根据种群中各染色体中的对准标记的实际位置信息与理论位置信息，分别确定种群中各染色体的适应度；根据所述种群中各染色体的适应度，从所述种群中选择目标染色体，并将目标染色体包括的对准标记作为对准标记组，用于对所述基板进行处理。上述技术方案通过基于基板中的对准标记作为染色体构建种群，并通过对准标记的位置信息对种群中的染色体进行筛选，从而确定后续对基板进行处理的对准标记组，减少了对准标记选择的数据运算量，同时提高了对准标记组的选择效率。

【技术实现步骤摘要】
一种对准标记选择方法、装置、设备、光刻系统及介质
本申请实施例涉及集成电路
，尤其涉及一种对准标记选择方法、装置、设备、光刻系统及介质。
技术介绍
投影扫描式光刻机通常用于将掩模上的图像清晰、正确地成像在涂有光刻胶的硅片或基板上。为了满足套刻的要求，通常需要在裸片上制定对准标记，后续工艺层会根据标记进行对准，因此对准标记的选择直接影响着套刻的效果。现有技术中，通常采用全局搜索的方式进行对准标记的选择。然而，当裸片上预先制定的对准标记数量较多时，进行对准标记选择的数据运算量较大，将会占用较大的内存资源，同时运算时间较长，严重降低了运算效率。
技术实现思路
本申请提供一种对准标记选择方法、装置、设备、光刻系统及介质，以减少对准标记选择的数据运算量，提高选择效率。第一方面，本申请实施例提供了一种对准标记选择方法，包括：将基板中设置的设定数量的对准标记作为染色体，并构建包含多个染色体的种群；根据种群中各染色体中的对准标记的实际位置信息与理论位置信息，分别确定种群中各染色体的适应度；根据所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种对准标记选择方法，其特征在于，包括：/n将基板中设置的设定数量的对准标记作为染色体，并构建包含多个染色体的种群；/n根据种群中各染色体中的对准标记的实际位置信息与理论位置信息，分别确定种群中各染色体的适应度；/n根据所述种群中各染色体的适应度，从所述种群中选择目标染色体，并将目标染色体包括的对准标记作为对准标记组，用于对所述基板进行处理。/n

【技术特征摘要】
1.一种对准标记选择方法，其特征在于，包括：
将基板中设置的设定数量的对准标记作为染色体，并构建包含多个染色体的种群；
根据种群中各染色体中的对准标记的实际位置信息与理论位置信息，分别确定种群中各染色体的适应度；
根据所述种群中各染色体的适应度，从所述种群中选择目标染色体，并将目标染色体包括的对准标记作为对准标记组，用于对所述基板进行处理。


2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，构建包含多个染色体的种群，包括：
基于多个染色体构建种群；
对所述种群进行基因突变，以更新种群；其中，更新前的种群和更新后的种群中染色体数量一致。


3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，对所述种群进行基因突变，以更新种群，包括：
根据种群中各染色体的对准标记的实际位置信息与理论位置信息，分别确定所述种群中各染色体的适应度；
根据所述种群中各染色体的适应度，对所述种群中所包含的染色体进行筛选；
对筛选后的染色体进行基因突变，并采用突变后的染色体更新种群。


4.根据权利要求2或3所述的方法，其特征在于，在构建种群，或更新种群之前，所述方法还包括：
根据所述染色体中各对准标记的理论位置信息，确定所述染色体的位置离散度和相关系数；
根据所述位置离散度和所述相关系数，对所述染色体进行筛选。


5.根据权利要求1或3所述的方法，其特征在于，根据种群中各染色体中对准标记的实际位置信息与理论位置信息，分别确定种群中各染色体的适应度，包括：
针对种群中的每个染色体，根据所述染色体中各对准标记的实际位置信息与...

【专利技术属性】
技术研发人员：马琳琳，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31