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本申请实施例公开了一种对准标记选择方法、装置、设备、光刻系统及介质。该方法包括：将基板中设置的设定数量的对准标记作为染色体，并构建包含多个染色体的种群；根据种群中各染色体中的对准标记的实际位置信息与理论位置信息，分别确定种群中各染色体的适应...
该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。

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