一种电化学沉积装置制造方法及图纸

技术编号:28823907 阅读:22 留言:0更新日期:2021-06-11 23:17
本发明专利技术涉及电化学沉积技术领域,尤其涉及一种电化学沉积装置,其包括下壳体、喷盘、板架、阳极网和输送管路,其中,下壳体内容置有电化学沉积所需的药液,喷盘竖直设置在下壳体内,喷盘内设置有药液腔以容置药液,板架设置在下壳体内,玻璃可拆卸设置在板架上,玻璃浸没在下壳体内的药液内,玻璃的表层能够连通电源负极,喷盘能够向玻璃的表面喷药液,阳极网设置在下壳体内,阳极网设置在喷盘未设置板架的一侧,阳极网能够连通电源正极以与玻璃之间形成电化学沉积所需的电场,输送管路能够抽取下壳体内的药液到药液腔内。该电化学沉积装置能够改善沉积层不均匀的现象,并且一定程度上保证玻璃的沉积工艺质量。

【技术实现步骤摘要】
一种电化学沉积装置
本专利技术涉及电化学沉积
,尤其涉及一种电化学沉积装置。
技术介绍
目前,在液晶显示行业中,玻璃表面化学沉积的方法多采用水平沉积或单面悬挂沉积,通过输送滚轮外加喷嘴喷洒,以达到玻璃表面电化学沉积的目的。但是这种常规的沉积方法有极大的弊端,使用这种方法的玻璃表面的沉积层厚薄不均匀,差异较大,即存在滚轮压痕和喷洒不均的区域,致使玻璃表面沉积层差,从而导致玻璃面板报废。因此,亟需一种电化学沉积装置来解决玻璃表面的沉积层厚薄不均匀的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种电化学沉积装置,能够改善沉积层不均匀的现象,从而保证玻璃沉积质量。为达此目的,本专利技术采用以下技术方案:一种电化学沉积装置,包括:下壳体,所述下壳体内容置有电化学沉积所需的药液;喷盘,所述喷盘竖直设置在所述下壳体内,所述喷盘内设置有药液腔以容置所述药液;板架,所述板架设置在所述下壳体内,玻璃可拆卸设置在所述板架上,所述玻璃浸没在所述下壳体内的所述药液内,所述玻璃的表层能够连通电源负极,所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电化学沉积装置,其特征在于,包括:/n下壳体(11),所述下壳体(11)内容置有电化学沉积所需的药液;/n喷盘(2),所述喷盘(2)竖直设置在所述下壳体(11)内,所述喷盘(2)内设置有药液腔以容置所述药液;/n板架(3),所述板架(3)设置在所述下壳体(11)内,玻璃可拆卸设置在所述板架(3)上,所述玻璃浸没在所述下壳体(11)内的所述药液内,所述玻璃的表层能够连通电源负极,所述喷盘(2)能够向所述玻璃的表面喷所述药液;/n阳极网(4),所述阳极网(4)设置在所述下壳体(11)内,所述阳极网(4)设置在所述喷盘(2)未设置所述板架(3)的一侧,所述阳极网(4)能够连通电源正极以与所述...

【技术特征摘要】
1.一种电化学沉积装置,其特征在于,包括:
下壳体(11),所述下壳体(11)内容置有电化学沉积所需的药液;
喷盘(2),所述喷盘(2)竖直设置在所述下壳体(11)内,所述喷盘(2)内设置有药液腔以容置所述药液;
板架(3),所述板架(3)设置在所述下壳体(11)内,玻璃可拆卸设置在所述板架(3)上,所述玻璃浸没在所述下壳体(11)内的所述药液内,所述玻璃的表层能够连通电源负极,所述喷盘(2)能够向所述玻璃的表面喷所述药液;
阳极网(4),所述阳极网(4)设置在所述下壳体(11)内,所述阳极网(4)设置在所述喷盘(2)未设置所述板架(3)的一侧,所述阳极网(4)能够连通电源正极以与所述玻璃之间形成所述电化学沉积所需的电场;
输送管路(5),所述输送管路(5)能够抽取下壳体(11)内的所述药液到所述药液腔内。


2.根据权利要求1所述的电化学沉积装置,其特征在于,所述喷盘(2)设置有两个,两个所述喷盘(2)将所述下壳体(11)分为相互连通的第一腔(111)、第二腔(112)和第三腔(113),两个所述喷盘(2)之间的区域为所述第一腔(111),所述板架(3)设置在所述第一腔(111)内,所述阳极网(4)设置有两个,且分别设置在所述第二腔(112)和所述第三腔(113)内,所述输送管路(5)能够抽取所述第二腔(112)和/或所述第三腔(113)内的所述药液到所述药液腔内;所述板架(3)能够放置两块所述玻璃,两个所述喷盘(2)能够分别向两块所述玻璃的相背离的表面上喷所述药液。


3.根据权利要求2所述的电化学沉积装置,其特征在于,所述输送管路(5)能够抽取所述第二腔(112)内的所述药液到围设所述第三腔(113)的所述喷盘(2)内,所述输送管路(5)还能够抽取所述第三腔(113)内的所述药液到围设所述第二腔(112)内的所述喷盘(2)内。


4.根据权利要求3所述的电化学沉积装置,其特征在于,所述输送管路(5)设置有两个,每个所述输送管路(5)包括一组间隔设置的输出支路(51),每组所述输出支路(51)设置有多个;
一个所述输送管路(5)的多个所述输出支路(51)的一端...

【专利技术属性】
技术研发人员:蒋新张军施利君陈书良
申请(专利权)人:苏州晶洲装备科技有限公司
类型:发明
国别省市:江苏;32

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