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一种电化学沉积装置制造方法及图纸
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文档序号:28823907
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本发明涉及电化学沉积技术领域,尤其涉及一种电化学沉积装置,其包括下壳体、喷盘、板架、阳极网和输送管路,其中,下壳体内容置有电化学沉积所需的药液,喷盘竖直设置在下壳体内,喷盘内设置有药液腔以容置药液,板架设置在下壳体内,玻璃可拆卸设置在板架上...
该专利属于苏州晶洲装备科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州晶洲装备科技有限公司授权不得商用。
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